적층형 압전소자 document_id 1020130112206

[청구항 1] 복수의 압전층; 상기 복수의 압전층 사이에 개재되어 양극과 음극이 교호로 적층된 내부전극 을 포함하고, 상기 압전층 두께가 15㎛ 이상 내지 100㎛ 이하로 형성된 적층형 압전소자 [청구항 2] 제1항에 있어서,상기 적층형 압전소자는, 상기 압전소자 전체 두께에 대한 상기 내부전극들 두께의 합의 비율미만인적층형 압전소자. [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 복수의 압전층과 내부전극 사이의 계면에는 비압전상의 비압전 계면층이 형성되고, 상기 내부전극과 비압전 계면층이 비압전층형성된적층형 압전소자. [청구항 4] 제3항에 있어서,상기 내부전극들과 비압전 계면층들의 두께의 합을 비압전층의 두께라고 할 때, 상기 적층형 압전소자의 전체 두께에 대한 상기 비압전층의 두께의 비율미만인적층형 압전소자. [청구항 5] 제4항에 있어서,상기 적층형 압전소자의 전체 두께에 대한 상기 비압전층의 두께의 비율을 비압전층의 비율이라고 할 때,상기비압전층의비율수학식에의해결정되는적층형 압전소자.수학식 [청구항 6] 제1항에 있어서,상기 적층형 압전소자의 전체 두께는 1.5㎜이하인적층형 압전소자. [청구항 7] 제6항에 있어서,상기 복수의 압전층의 층수는 3층 내지100층인적층형 압전소자. [청구항 8] 제1항에 있어서,상기 압전층의 그레인 크기는, 그레인 경계 길이이 확장시, 상기 압전층의 상대 변위 특성이 90% 이상을 만족하는 전하 이동 경로형성되는적층형 압전소자. [청구항 9] 제8항에 있어서,상기 그레인 크기는, 하기의 수학식에 의해서 결정되는 적층형 압전소자.수학식여기서, gmax는 압전층을 수직 방향절단한단면의 수직선(h) 상에 위치한 그레인 중 가장 큰 그레인의 장축 길이이고, t는 압전층 두께임 [청구항 10] 제9항에 있어서,상기 그레인의 장축 길이(gmax)는 1㎛ 내지인적층형 압전소자. [청구항 11] 제9항에 있어서,상기 압전층 두께가 40㎛ 이상일 때, 상기 그레인의 장축 길이(gmax)는 1㎛ 내지인적층형 압전소자. [청구항 12] 제9항에 있어서,상기 압전층 두께가 60㎛ 이상 내지 100㎛ 이하일 때, 상기 그레인의 장축 길이(gmax)는 1㎛ 내지인적층형 압전소자. [청구항 14] 제13항에 있어서,상기 그레인 크기는, 하기의 수학식에 의해서 결정되는 적층형 압전소자.수학식여기서, gmax는 압전층을 수직 방향절단한단면의 수직선(h) 상에 위치한 그레인 중 가장 큰 그레인의 장축 길이이고, t는 압전층 두께임 [청구항 15] 제13항에 있어서,상기 내부전극들 두께의 합이 상기 압전소자 전체 두께미만인적층형 압전소자. [청구항 16] 제13항에 있어서,상기 내부전극들의 두께와 비압전 계면층들의 두께의 합인 비압전층들의 두께의 합이 상기 압전소자 전체 두께미만인적층형 압전소자. [청구항 17] 제16항에 있어서,상기 적층형 압전소자의 전체 두께에 대한 상기 비압전층의 두께의 비율을 비압전층의 비율이라고 할 때,상기비압전층의비율수학식에의해결정되는적층형 압전소자.수학식 [청구항 18] 제14항에 있어서,상기 그레인 크기는, 상기 압전층의 준비 재료인 세라믹 분말의 미립 정도와, 상기 세라믹 분말을 이용한세라믹소결체의소성온도와소성시간에의해조절되는적층형 압전소자. [청구항 19] 제13항에 있어서,상기 적층형 압전소자의 전체 두께는 100㎛ 이상이하인적층형 압전소자.