문맥 (context)
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 센서부는상기로봇 핸드의프레임마련되는것을특징으로 하는기판 반송 로봇.
[청구항 3]
제 2 항에 있어서,상기 로봇 핸드의 회전력은 해당 로봇 핸드의 회전축에 연결된 회전력 전달 기구를 거쳐서상기센서부전달되는것을특징으로 하는기판 반송 로봇.
[청구항 4]
제 3 항에 있어서,상기 회전력 전달 기구는상기프레임내장되는것을특징으로 하는기판 반송 로봇.
[청구항 5]
제 4 항에 있어서,상기 회전력 전달 기구는 상기 로봇 핸드의 회전축에 연결된풀리및벨트구성되는것을특징으로 하는기판 반송 로봇.
[청구항 6]
제 5 항에 있어서,상기 센서부는 기단부가 상기 프레임에 대하여 회전 가능하게 연결되고, 상기 센서부의 회전축에는 상기 로봇 핸드의 회전축에 연결된 상기 풀리에 대하여 소정의 풀리비를 가지는 종동 풀리가 마련되어 있고, 상기 센서부는 상기 벨트을 거쳐서 전달되는 회전력을 상기 종동 풀리에서 받는 것에 의해, 상기 로봇 핸드가 상기 신축 아암부에 대하여 회전했을 때에 상기 로봇 핸드의 회전에종동회전하는것을특징으로 하는기판 반송 로봇.
[청구항 7]
제 6 항에 있어서,상기 센서부는 상기 신축 아암부가 신장 위치로 신장할 때에는, 해당 센서부의 선단부를 상기 로봇 핸드의 기단부측에 회피시키고, 상기 신축 아암부가 수축 위치로 수축할 때에는, 해당 센서부의 선단부를 상기 기판의 측단부와 교차시키도록,원호 형상회전하는것을특징으로 하는기판 반송 로봇.
[청구항 8]
제 6 항에 있어서,상기 센서부는 상기 신축 아암부가 신장 위치로 신장할 때에는, 해당 센서부의 선단부를 상기 기판의 전방의 측단부와 교차시키고, 상기 신축 아암부가 수축 위치로 수축할 때에는, 해당 센서부의 선단부를 상기 기판의 우측 또는 좌측의 측단부와 교차시키도록,원호 형상회전하는것을특징으로 하는기판 반송 로봇.
[청구항 9]
제 6 항에 있어서,상기 센서부의 회전량은, 상기 소정의 풀리비에 의해규제되는것을특징으로 하는기판 반송 로봇.
[청구항 10]
제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 신축 아암부는, 기단부가 아암 베이스에 대하여 회전 가능하게 연결되는 제 1 아암과, 기단부가 상기 제 1 아암의 선단부에 대하여 회전 가능하게 연결되고, 선단부에 있어서는 상기 로봇 핸드가 회전 가능하게 연결되는 제 2 아암을 구비하고, 상기 제 1 아암의 회전량θ에 대하여 상기 제 2 아암이 상기 제 1 아암의 회전 방향의 역방향으로 상기 회전량θ의 2배의 회전량 2θ로 회전함과 함께, 상기 로봇 핸드가 상기 제 2 아암의 회전 방향의 역방향으로 상기 회전량θ로 회전하는 것에 의해, 상기 로봇 핸드의 방향을 소정의 방향으로 유지한 채신축하는것을특징으로 하는기판 반송 로봇.
[청구항 11]
제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 센서부는, 상기 신축 아암부가 수축하는 동작에 수반하는 상기 로봇 핸드의 회전에 종동 회전하는 것에 의해, 해당 센서부의 선단부가 평면에서 볼 때 상기 기판의 측단부와 교차하는 것으로 해당 기판의 측단 위치를 검출하고, 상기 기판의 어긋남량은, 상기 센서부에 의해 상기 측단 위치가 검출되고 나서 상기 기판이 반송되어 반송처에 도달할 때까지의 사이에 상기 측단 위치에 근거하여산출되는것을특징으로 하는기판 반송 로봇.
[청구항 12]
제 11 항에 있어서,상기 기판이 수용된 카세트에 상기 포크를 진입시켰을 때에 상기 기판의 상기 카세트내에 있어서의 회전 어긋남을 검출하는 회전 어긋남 센서를 더 구비하고, 상기 회전 어긋남 센서에 의해 검출된 상기 회전 어긋남에 따라 선회축 동작 및 주행축 동작을 행하는 것에 의해 상기 기판에 대한 상기 포크의 위치를 보정해서 상기 포크에 상기 기판을 유지시키고, 상기 센서부에 의해 검출된 상기 측단 위치에 근거하여 산출된 상기 기판의 어긋남량을 이용하여 보정하면서 반송처의 목표 위치에 있어서상기기판의유지해제하는것을특징으로 하는기판 반송 로봇.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
기판 반송 로봇의 신축 아암부가 신장 위치로 신장할 때와 수축 위치로 수축할 때, 센서부의 선단부가 각각 어떻게 회전하는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation신축 아암부의 신장 및 수축 동작에 따른 센서부 선단부의 회전 양상을 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 7과 8에서 신장 시와 수축 시 센서부 선단부의 위치 변화 및 회전 형상을 추출한다.
- 상기 신축 아암부가 신장 위치로 신장할 때에는, 해당 센서부의 선단부를 상기 로봇 핸드의 기단부측에 회피시키고, 상기 신축 아암부가 수축 위치로 수축할 때에는, 해당 센서부의 선단부를 상기 기판의 측단부와 교차시키도록,원호 형상회전하는것을특징으로 하는
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3근거 선택
evidence_selection신장 시 '기단부측 회피'와 수축 시 '기판 측단부와 교차'하며 '원호 형상으로 회전'한다는 구절을 선택한다.
- 상기 신축 아암부가 신장 위치로 신장할 때에는, 해당 센서부의 선단부를 상기 로봇 핸드의 기단부측에 회피시키고, 상기 신축 아암부가 수축 위치로 수축할 때에는, 해당 센서부의 선단부를 상기 기판의 측단부와 교차시키도록,원호 형상회전하는것을특징으로 하는
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4논리 통합
logical_integration신장 시에는 선단부가 기단부 쪽으로 회피하고, 수축 시에는 기판의 측단부와 교차하도록 원호 형상으로 회전함을 통합한다.
- 상기 신축 아암부가 신장 위치로 신장할 때에는, 해당 센서부의 선단부를 상기 로봇 핸드의 기단부측에 회피시키고, 상기 신축 아암부가 수축 위치로 수축할 때에는, 해당 센서부의 선단부를 상기 기판의 측단부와 교차시키도록,원호 형상회전하는것을특징으로 하는
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5결론 도출
conclusion_formulation신장 시에는 기단부 측으로 회피하고, 수축 시에는 기판의 측단부와 교차하도록 원호 형상으로 회전한다는 결론을 도출한다.
- 상기 신축 아암부가 신장 위치로 신장할 때에는, 해당 센서부의 선단부를 상기 로봇 핸드의 기단부측에 회피시키고, 상기 신축 아암부가 수축 위치로 수축할 때에는, 해당 센서부의 선단부를 상기 기판의 측단부와 교차시키도록,원호 형상회전하는것을특징으로 하는
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6답변 생성
answer_generation질문에 대해 신장 시와 수축 시의 동작을 구분하여 명확하게 답변을 작성한다.
- 상기 신축 아암부가 신장 위치로 신장할 때에는, 해당 센서부의 선단부를 상기 로봇 핸드의 기단부측에 회피시키고, 상기 신축 아암부가 수축 위치로 수축할 때에는, 해당 센서부의 선단부를 상기 기판의 측단부와 교차시키도록,원호 형상회전하는것을특징으로 하는
최종 답변 (final_answer)
센서부의 선단부는 원호 형상으로 회전하며, 신축 아암부가 신장 위치로 신장할 때에는 해당 센서부의 선단부를 상기 로봇 핸드의 기단부측에 회피시키고, 신축 아암부가 수축 위치로 수축할 때에는 해당 센서부의 선단부를 상기 기판의 측단부와 교차시킨다.
핵심 해석 (core_interpretation)
신축 아암부의 동작에 따라 센서부가 원호 형상으로 회전하며, 신장 시에는 회피 동작을, 수축 시에는 기판 측단부와의 교차를 통해 위치를 검출하는 메커니즘을 제공한다.