문맥 (context)
[청구항 1]
반도체 기판 상에 격자형태로 형성되어 활성영역을 정의하는 소자분리막
상기 활성영역의 장축방향을 가로지르는 방향으로 형성되는 게이트 구조물; 및
상기 활성영역과 장축방향으로 상기 소자분리막 상부에 형성되는 비트라인 구조물
을 포함하는 반도체 장치
[청구항 2]
청구항 1에 있어서,상기 활성영역과 상기 소자분리막 상부에 오버랩되도록 형성되어 상기 활성영역과 상기 비트라인 구조물을 연결하는 비트라인 콘택더 포함하는반도체 장치.
[청구항 3]
청구항 2에 있어서,상기 비트라인 구조물은 상기 비트라인 콘택 상부에 형성되고, 상기 활성영역과 상기 소자분리막 상부에 오버랩되도록형성되는것을특징으로 하는반도체 장치.
[청구항 4]
청구항 1에 있어서,상기 활성영역 상부에 형성되는 비트라인 콘택을 더 포함하고,상기 비트라인 구조물은 상기 비트라인 콘택 상부에 형성되고, 상기 활성영역과 상기 소자분리막 상부에 오버랩되도록형성되는것을특징으로 하는반도체 장치.
[청구항 5]
청구항 2에 있어서,상기 활성영역의 양 끝단부 전체와 각각 오버랩되도록 형성되는 스토리지노드 콘택; 및 상기 스토리지노드 콘택 상부에 형성되는 스토리지노드더 포함하는반도체 장치.
[청구항 6]
청구항 5에 있어서,상기 스토리지노드 콘택은 제 1 방향으로 연장되는 제 1 패턴의 일측 끝단과 상기 제 1 방향과 수직하는 방향인 제 2 방향으로 연장되는 제 2 패턴의 일측 끝단이 만나 연결되는구조갖는것을특징으로 하는반도체 장치.
[청구항 7]
청구항 5에 있어서,상기 스토리지노드 콘택을 분리하기 위한 스토리지노드 콘택 분리막을 더 포함하고, 상기 스토리지 노드 콘택 분리막은, 상기 소자분리막 상부에 형성되는 제 1 분리막; 및 상기 비트라인 콘택 상부에 형성되는제2분리막포함하는것을특징으로 하는반도체 장치.
[청구항 8]
청구항 7에 있어서,상기 스토리지노드 콘택은 상기 비트라인 구조물에 의해 x축으로 분리되고, 상기 스토리지노드 콘택 분리막에 의해 y축분리되는것을특징으로 하는반도체 장치.
[청구항 9]
청구항 1에 있어서,상기 반도체 장치는 비트라인 구조물이 2f, 게이트 구조물이 2f로단위셀2구조인것을특징으로 하는반도체 장치.
[청구항 10]
청구항 5에 있어서,상기 활성영역과 상기 비트라인 콘택 또는 상기 스토리지노드 콘택 사이에 실리사이드막; 및 상기 실리사이드막과 상기 비트라인 콘택 또는 상기 스토리지노드 콘택 사이에콘택더포함하는것을특징으로 하는반도체 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
청구항 1의 반도체 장치에 비트라인 콘택과 스토리지노드 콘택이 모두 포함될 경우, 비트라인 구조물과 스토리지노드 콘택 분리막은 각각 스토리지노드 콘택을 어떤 축 방향으로 분리하는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation비트라인 구조물과 스토리지노드 콘택 분리막이 각각 스토리지노드 콘택을 어떤 축 방향으로 분리하는지 묻는 질문이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 8에서 비트라인 구조물과 스토리지노드 콘택 분리막에 의한 분리 축에 관한 정보를 추출한다.
- 상기 스토리지노드 콘택은 상기 비트라인 구조물에 의해 x축으로 분리되고, 상기 스토리지노드 콘택 분리막에 의해 y축분리되는것을특징으로 하는반도체 장치.
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3근거 선택
evidence_selection비트라인 구조물은 x축으로, 스토리지노드 콘택 분리막은 y축으로 분리한다는 구절을 선택한다.
- 상기 스토리지노드 콘택은 상기 비트라인 구조물에 의해 x축으로 분리되고, 상기 스토리지노드 콘택 분리막에 의해 y축분리되는것
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4논리 통합
logical_integration추출된 정보를 결합하여 비트라인 구조물은 x축 방향으로, 스토리지노드 콘택 분리막은 y축 방향으로 분리함을 확인한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 직접적인 답변인 '비트라인 구조물은 x축으로, 스토리지노드 콘택 분리막은 y축으로 분리한다'를 도출한다.
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6답변 생성
answer_generation최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
비트라인 구조물은 x축으로 분리하고, 스토리지노드 콘택 분리막은 y축으로 분리한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 비트라인 구조물과 스토리지노드 콘택 분리막을 이용하여 스토리지노드 콘택을 각각 x축과 y축 방향으로 분리 배치하는 반도체 장치 구조에 관한 것이다.