공정 설비에서 발생되는 배기가스 처리 설비 document_id 1020130141867

[청구항 1] 공정 챔버로부터 배기가스를 유입시키는 진공펌프 상기 공정 챔버와 상기 진공펌프 사이에 배치되며, 플라즈마를 생성하여 상기 배기가스를 분해하고 상기 진공펌프로 유입시키는 플라즈마 전처리기; 및 상기 진공펌프로부터 배출되는 배기가스 내의 오염물질을 처리하는 스크러빙 설비를 포함하는 공정 설비에서 발생되는 배기가스 처리 설비 [청구항 2] 청구항 1에 있어서,상기 플라즈마 전처리기는 상기 공정 챔버와 상기 진공펌프를 연결하는 연결배관 상에 직렬로 설치되어, 상기 공정 챔버로부터 유입되는 배기가스의 전체가 상기 플라즈마 전처리기에 유입되는 공정 설비발생되는배기가스 처리 설비. [청구항 3] 청구항 1에 있어서,상기 플라즈마 전처리기에서 분해된 배기가스의 일부 물질이 재결합하여 상기 진공챔버 내에 적층되는 것을 방지하기 위하여, 상기 배기가스의 일부 물질이 분해된 후재결합하여 새로운 물질을 형성할 수 있도록 상기 플라즈마 전처리기 내로 반응성 가스를 유입시키는 반응성 물질 공급 모듈을 더 포함하는 공정 설비발생되는배기가스 처리 설비. [청구항 4] 청구항 1에 있어서,상기 진공펌프로 유입되는 배기가스에 의하여 상기 진공펌프의 내부가 손상되는 것을 방지하도록, 상기 진공펌프 내로 퍼지 가스를 공급하는 퍼지 가스 공급 모듈을 더 포함하는 공정 설비발생되는배기가스 처리 설비. [청구항 5] 청구항 4에 있어서,상기 퍼지 가스는 질소(n2) 가스 또는 공기인 공정 설비발생되는배기가스 처리 설비. [청구항 6] 청구항 1에 있어서,상기 공정 챔버는 복수 개가 설치되며,상기 진공펌프는 상기 각 공정 챔버에 대응되도록 복수 개가 설치되고,상기 스크러빙 설비는,상기 각 진공펌프 또는 상기 진공펌프의 복수 개에 대응하도록 설치되는 습식(wet type) 또는 가열-습식 복합식(heat-wet type) 단위 스크러버들을 포함하는 공정 설비발생되는배기가스 처리 설비. [청구항 7] 청구항 6에 있어서,빙 설비는,상기 단위 스크러버들의 전체 또는 복수 개로부터 유입되는 가스를 통합적으로 처리하는 통합 스크러버를 더 포함하는 공정 설비발생되는배기가스 처리 설비. [청구항 8] 청구항 1에 있어서,상기 공정 챔버는 복수 개가 설치되며,상기 진공펌프는 상기 각 공정 챔버에 대응되도록 복수 개가 설치되고,상기 스크러빙 설비는,상기 복수 개의 진공펌프들의 전체 또는 일부로부터 유입되는 가스를 통합하여 처리하는 통합 스크러버를 더 포함하는 공정 설비발생되는배기가스 처리 설비. [청구항 9] 청구항 1에 있어서,상기 공정 챔버로 공정 가스를 공급하는 공정 가스 공급 모듈이 설치되며,상기 공정 가스의 종류에 따라 상기 플라즈마 전처리기의 작동여부를 제어하는 제어모듈을 더 포함하는 공정 설비발생되는배기가스 처리 설비. [청구항 10] 청구항 9에 있어서,상기 진공펌프로 유입되는 배기가스에 의하여 상기 진공펌프의 내부가 손상되는 것을 방지하도록, 상기 진공펌프 내로 퍼지 가스를 공급하는 퍼지 가스 공급 모듈을 더 포함하고,상기 제어 모듈은,상기 공정 가스의 종류, 상기 배출 가스의 유량 및 상기 플라즈마 전처리기의 작동여부 중 적어도 하나에 따라 상기 퍼지 가스의 공급 여부 또는 공급량을 조절하는 공정 설비발생되는배기가스 처리 설비. [청구항 11] 청구항 1에 있어서,상기 공정 챔버로 공정 가스를 공급하는 공정 가스 공급 모듈이 설치되며,상기 공정 가스의 종류 및 상기 공정 챔버로부터 배출되는 배기가스의 유량에 따라 상기 플라즈마 전처리기의 작동여부를 제어하는 제어모듈더 포함하는배기가스 처리 설비. [청구항 12] 청구항 11에 있어서,상기 진공펌프로 유입되는 배기가스에 의하여 상기 진공펌프의 내부가 손상되는 것을 방지하도록, 상기 진공펌프 내로 퍼지 가스를 공급하는 퍼지 가스 공급 모듈을 더 포함하고,상기 제어 모듈은,상기 공정 가스의 종류, 상기 배출가스의 유량 및 상기 플라즈마 전처리기의 작동여부 중 적어도 하나에 따라 상기 퍼지 가스의 공급 여부 또는 공급량을 조절하는 공정 설비발생되는배기가스 처리 설비. [청구항 13] 청구항 6에 있어서,상기 공정 챔버로 공정 가스를 공급하는 공정 가스 공급 모듈이 설치되며,상기 진공펌프로 유입되는 배기가스에 의하여 상기 진공펌프의 내부가 손상되는 것을 방지하도록, 상기 진공펌프 내로 퍼지 가스를 공급하는 퍼지 가스 공급 모듈;상기 공정 가스의 종류에 따라 상기 플라즈마 전처리기의 작동여부를 제어하는 제어모듈; 및상기 진공펌프로부터 배출되는 가스가 상기 단위 스크러버를 바이패스하게 하는 제1바이패스 수단을 더 포함하고,상기 제어모듈은,상기 공정 가스의 종류, 상기 배출가스의 유량, 상기 플라즈마 전처리기의 작동여부, 상기 퍼지 가스의 공급 여부 및 상기 퍼지 가스의 공급량 중 적어도 하나에 따라, 상기 진공펌프로부터 배출되는 가스가 상기 단위 스크러버를 바이패스할지 여부를 결정하는 공정 설비발생되는배기가스 처리 설비. [청구항 14] 청구항 7에 있어서,상기 공정 챔버로 공정 가스를 공급하는 공정 가스 공급 모듈이 설치되며,상기 공정 가스의 종류에 따라 상기 플라즈마 전처리기의 작동여부를 제어하는 제어모듈;상기 진공펌프로부터 배출되는 가스가 상기 단위 스크러버를 바이패스하게 하는 제1바이패스 수단; 및상기 단위 스크러버로부터 배출되는 가스가 상기 통합 스크러버를 바이패스하게 하는 제2바이패스 수단을 더 포함하고,상기 제어모듈은,상기 공정 가스의 종류, 상기 배출가스의 유량, 상기 플라즈마 전처리기의 작동여부, 상기 퍼지 가스의 공급 여부, 상기 퍼지 가스의 공급량 및 상기 제1바이패스 수단에 의한 바이패스 여부 중 적어도 하나에 따라, 상기 진공펌프로부터 배출되는 가스가 상기 통합 스크러버를 바이패스할지 여부를 결정하는 공정 설비발생되는배기가스 처리 설비. [청구항 15] 청구항 1에 있어서,상기 공정 챔버로 공정 가스를 공급하는 공정 가스 공급 모듈이 설치되며,상기 진공펌프로 유입되는 배기가스에 의하여 상기 진공펌프의 내부가 손상되는 것을 방지하도록, 상기 진공펌프 내로 퍼지 가스를 공급하는 퍼지 가스 공급 모듈; 및상기 공정 가스의 종류에 따라 상기 플라즈마 전처리기의 작동여부를 제어하는 제어모듈을 더 포함하고,상기 제어모듈은,상기 공정 가스의 종류, 상기 배출 가스의 유량 및 상기 플라즈마 전처리기의 작동여부 중 적어도 하나에 따라 상기 퍼지 가스의 공급량을 조절하는 공정 설비발생되는배기가스 처리 설비. [청구항 16] 청구항 1에 있어서,상기 플라즈마 전처리기는, ac 타입의 저압 플라즈마 반응기인 공정 설비발생되는배기가스 처리 설비. [청구항 17] 청구항 1에 있어서,상기 플라즈마 전처리기와 상기 진공펌프 사이에 설치되어, 상기 플라즈마 전처리기에서 유입되는 f 라디칼, cl 라디칼 및 입자성 물질을 포집하는 포집모듈을 더 포함하는 공정 설비발생되는배기가스 처리 설비.