문맥 (context)
[청구항 10]
촬상 장치에 의해 촬상된 복수의 기판 화상에 기초하여, 결함 검사의 기준으로 되는 기판의 화상을 작성하는 장치이며,
상기 촬상된 기판 화상 내의 화소값의 평면 분포를, 상기 기판 화상마다 제르니케 다항식을 사용하여 복수의 화소값 분포 성분으로 각각 분해하는 성분 분해부와,
제르니케 다항식에 의해 분해된 상기 각 화소값 분포 성분의 제르니케 계수를 각각 산출하는 제르니케 계수 산출부와,
상기 산출된 각 제르니케 계수로부터, 동일한 차수를 갖는 제르니케 계수마다
(1) 중앙값
(2) 상기 중앙값으로부터 소정의 값 이상 괴리된 값
을 각각 추출하는 제르니케 계수 추출부와,
상기 추출된 값을 갖는 각 기판 화상을 특정하는 화상 특정부와,
당해 특정된 각 기판 화상을 합성함으로써, 결함 검사의 기준으로 되는 기판의 화상을 작성하는 화상 작성부를 갖는 것을 특징으로 하는, 기판의 기준 화상 작성 장치
[청구항 11]
제10항에 있어서,상기 제르니케 계수 추출부에서는, 상기 산출된 각 제르니케 계수를, 동일한 차수를 갖는 제르니케 계수마다 그룹화하고, 상기 제르니케 계수의 각 그룹으로부터 상기한값의추출행하는것을특징으로 하는,기판의 기준 화상 작성 장치.
[청구항 12]
제11항에 있어서,제르니케 계수 그룹 작성부는, 상기 기판 화상이 복수의 원색에 의해 구성되어 있는 경우는, 상기 제르니케 계수의 산출 및 그룹화를, 상기 기판 화상을 구성하는 원색마다 더 행하고,상기 원색의 그룹마다, 상기 산출된 제르니케 계수의 표준 편차를 구하는 표준 편차 산출부와,상기 제르니케 계수의 차수마다, 표준 편차의 값이 가장 큰 원색을 특정하는 원색 특정부를 더 갖고,상기 제르니케 계수 추출부에 있어서의 값의 추출은, 표준 편차가 가장 크다고 특정된 원색의 그룹에 속하는값으로부터행하는것을특징으로 하는,기판의 기준 화상 작성 장치.
[청구항 13]
제11항 또는 제12항에 있어서,상기 제르니케 계수 추출부에 있어서, 제1 항 내지 제4 항의 제르니케 계수에 관한 그룹으로부터값추출하는것을특징으로 하는,기판의 기준 화상 작성 장치.
[청구항 14]
제11항 또는 제12항에 있어서,상기 제르니케 계수의 중앙값으로부터 소정의 값 괴리된 제르니케 계수의 값은, 상기 그룹화된제르니케계수의최대값및최소값인것을특징으로 하는,기판의 기준 화상 작성 장치.
[청구항 15]
제11항 또는 제12항에 있어서,상기 제르니케 계수의 중앙값으로부터 소정의 값 괴리된 제르니케 계수의 값은, 상기 그룹화된 제르니케 계수의 상위 5％ 및 하위 5％의범위내값인것을특징으로 하는,기판의 기준 화상 작성 장치.
[청구항 16]
제11항 또는 제12항에 기재된 기판의 기준 화상 작성 장치를 구비한 결함 검사 유닛이며,
피검사 기판을 촬상하는 촬상부와,
상기 촬상 장치에 의해 촬상된 피검사 기판의 화상과, 상기 화상 작성부에 의해 작성된 기준 화상을 비교하여 결함의 유무를 판정하는 결함 판정부를 갖는 것을 특징으로 하는, 기판의 결함 검사 유닛
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
기판 화상이 복수의 원색으로 구성된 경우, 제르니케 계수 추출부에서 값을 추출하기 위해 표준 편차를 활용하여 어떤 원색을 특정하고 그 원색의 그룹을 사용하는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation기판 화상이 복수의 원색으로 구성될 때, 제르니케 계수 추출부에서 표준 편차를 이용하여 특정 원색을 결정하고 해당 그룹을 사용하는 절차를 파악해야 한다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 12를 통해 원색별 제르니케 계수 그룹화, 표준 편차 산출, 표준 편차가 가장 큰 원색 특정, 해당 원색 그룹에서의 값 추출 과정을 추출한다.
- 상기 기판 화상이 복수의 원색에 의해 구성되어 있는 경우는, 상기 제르니케 계수의 산출 및 그룹화를, 상기 기판 화상을 구성하는 원색마다 더 행하고,상기 원색의 그룹마다, 상기 산출된 제르니케 계수의 표준 편차를 구하는 표준 편차 산출부와,상기 제르니케 계수의 차수마다, 표준 편차의 값이 가장 큰 원색을 특정하는 원색 특정부를 더 갖고,상기 제르니케 계수 추출부에 있어서의 값의 추출은, 표준 편차가 가장 크다고 특정된 원색의 그룹에 속하는값으로부터행하는것을특징으로 하는
-
3근거 선택
evidence_selection표준 편차를 구하는 대상과 특정 원색을 결정하는 기준, 그리고 추출 대상이 되는 그룹에 대한 구절을 선택한다.
- 상기 원색의 그룹마다, 상기 산출된 제르니케 계수의 표준 편차를 구하는 표준 편차 산출부와,상기 제르니케 계수의 차수마다, 표준 편차의 값이 가장 큰 원색을 특정하는 원색 특정부를 더 갖고,상기 제르니케 계수 추출부에 있어서의 값의 추출은, 표준 편차가 가장 크다고 특정된 원색의 그룹에 속하는값으로부터행하는것을특징으로 하는
-
4논리 통합
logical_integration원색별로 제르니케 계수를 그룹화한 뒤, 각 그룹의 표준 편차를 계산하여 그 값이 가장 큰 원색을 특정하고, 그 특정된 원색의 그룹에 속하는 값으로부터 추출을 수행한다는 논리를 구성한다.
-
5결론 도출
conclusion_formulation질문에 답변하기 위해 표준 편차가 가장 큰 원색을 특정하고, 그 특정된 원색의 그룹을 사용한다는 결론을 도출한다.
-
6답변 생성
answer_generation추출된 논리를 바탕으로 질문에 대한 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
기판 화상이 복수의 원색으로 구성된 경우, 각 원색의 그룹마다 산출된 제르니케 계수의 표준 편차를 구하며, 제르니케 계수의 차수마다 표준 편차의 값이 가장 큰 원색을 특정한다. 이후 제르니케 계수 추출부는 표준 편차가 가장 크다고 특정된 원색의 그룹에 속하는 값으로부터 값을 추출한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
복수의 원색을 가진 기판 화상에서 제르니케 계수의 표준 편차가 가장 큰 원색 그룹을 선택함으로써, 데이터의 변동성이 큰 유의미한 원색 정보를 기준으로 기준 화상을 작성하는 기술이다.