플라즈마 발생장치 document_id 1020130153671

[청구항 1] 플라즈마(plasma)를 발생시키는 플라즈마 발생모듈; 및 상기 플라즈마 발생모듈에 의해 발생된 플라즈마가 외부로 불어내지는 적어도 하나의 플라즈마 노즐(plasma nozzle)을 구비하며, 상기 플라즈마 발생모듈과는 별개로 마련되어 상기 플라즈마 발생모듈의 외측에 회전 가능하게 배치되는 회전체를 포함하되, 상기 플라즈마 발생모듈은, 중앙 영역에 배치되는 고전압 전극(high voltage electrode) 상기 고전압 전극의 주변에 배치되고 상기 고전압 전극으로 인가되는 전원이 대전되어 고압의 아크를 발생시키는 접지 전극(counter electrode); 및 상기 고전압 전극과 상기 접지 전극 사이에 마련되며, 상기 회전체 측으로 압축공기 또는 가스가 주입되는 가스 주입부(gas inlet)를 포함하며, 상기 접지 전극은, 원통형 형상을 갖는 제1 접지 전극; 및 깔때기 형상을 가지며, 상기 제1 접지 전극과 착탈 가능하게 결합되는 제2접지 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생장치 [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 플라즈마 발생모듈은,상기 고전압 전극과 상기 접지 전극 사이에 마련되는 적어도 하나의 고전압 인슐레이터(high voltage insulator); 및상기 가스 주입부를 통해 주입되는 압축공기 또는 가스가 분배되는 다수의 가스 분배공을 구비하는가스분배기더포함하는것을특징으로 하는플라즈마 발생장치. [청구항 4] 제3항에 있어서,상기 고전압인슐레이터는,상기 가스 주입부에 인접하게 배치되는 제1 고전압 인슐레이터; 및상기 제1 고전압 인슐레이터의 반경 방향 외측에서 상기 제1 고전압 인슐레이터의 둘레 방향을 따라 배치되는 제2 고전압 인슐레이터포함하는것을특징으로 하는플라즈마 발생장치. [청구항 6] 제1항에 있어서,상기 회전체는,상기 플라즈마 발생모듈의 외측에 회전 가능하게 배치되는 로터(rotor); 및상기 플라즈마 노즐을 구비하며, 상기 로터의 단부에 착탈 가능하게 결합되고 단부로 갈수록 점진적으로 폭이 넓어지게 형성되는방전헤드포함하는것을특징으로 하는플라즈마 발생장치. [청구항 7] 제6항에 있어서,상기 로터는,베어링을 사이에 두고 상기 제1 접지 전극의 반경 방향 외측에 회전 가능하게 배치되는 제1 로터; 및일측은 상기 제1 로터와 착탈 가능하게 결합되고 타측은 상기 방전 헤드와 착탈 가능하게 결합되는제2로터포함하는것을특징으로 하는플라즈마 발생장치. [청구항 8] 제7항에 있어서,상기 베어링의 주변에는 상기 베어링의 손상이 저지되도록 슬립성을 가지는립실더마련되는것을특징으로 하는플라즈마 발생장치. [청구항 9] 제7항에 있어서,상기 제2 로터는,상기 제1 로터와 나사 방식으로 결합되는 원통형 확경 결합구간;상기 원통형 확경 결합구간의 단부에서 경사지게 형성되는 제1 경사구간;상기 제1 경사구간과 연결되며, 상기 원통형 확경 결합구간의 반경 방향 내측에서 상기 원통형 확경 결합구간과 단차를 형성하되 상기 원통형 확경 결합구간보다 직경이 좁게 형성되는 단차구간;상기 단차구간의 단부에서 경사지게 형성되는 제2 경사구간; 및상기 제2 경사구간과 연결되며, 단부에서 상기 방전 헤드와 착탈 가능하게 결합되는원통형축경결합구간포함하는것을특징으로 하는플라즈마 발생장치. [청구항 10] 제9항에 있어서,상기 제1 경사구간의 경사도가 상기 제2 경사구간의 경사도보다 급하게 형성되며,상기 원통형 축경 결합구간의 외벽에는다수의그루브형성되는것을특징으로 하는플라즈마 발생장치. [청구항 11] 제7항에 있어서,상기 제1 로터의 단부에는 내측으로 절곡되어 상기 베어링의 이탈을 저지시키는베어링이탈저지용플랜지형성되는것을특징으로 하는플라즈마 발생장치. [청구항 12] 제6항에 있어서,상기 플라즈마 노즐은,상기 방전 헤드 내부에서 상기 플라즈마를 경사진 방향으로 안내하는 제1 경사안내부; 및상기 제1 경사안내부와는 상이한 경사도를 가지며, 상기 제1 경사안내부와 함께 상기 플라즈마 노즐을 형성하는제2경사안내부포함하는것을특징으로 하는플라즈마 발생장치. [청구항 13] 제12항에 있어서,상기 플라즈마 노즐은,상기 플라즈마가 상기 방전 헤드의 경사단부면 또는 상기 방전 헤드의 밑면으로 안내될 수 있도록, 상기 제1 경사안내부와 상기 제2 경사안내부 중 어느 하나의 단부 영역에서 해당 경사안내부와 상이한 각도를 가지고 경사지게 형성되는단부형더미경사안내부더포함하는것을특징으로 하는플라즈마 발생장치. [청구항 14] 제13항에 있어서,상기 플라즈마 노즐은 상기 방전 헤드의 경사단부면 또는 상기 방전 헤드의 밑면에다수개배치되는것을특징으로 하는플라즈마 발생장치. [청구항 15] 제14항에 있어서,상기 플라즈마 노즐은 상기 방전 헤드의 경사단부면 또는 상기 방전 헤드의 밑면에서 원주 방향을 따라 일부 구간에집중배치되는것을특징으로 하는플라즈마 발생장치. [청구항 16] 제3항에 있어서,상기 가스 분배공은,상기 플라즈마 노즐 쪽으로 갈수록 그 직경이 점진적으로 감소되게 형성되는 직경 감소용 노즐구간부;상기 직경 감소용 노즐구간부의 최소 직경 영역에서 상기 직경 감소용 노즐구간부와 연통되는 원통형 노즐구간부; 및상기 원통형 노즐구간부와 연통되며, 상기 원통형 노즐구간부에서 상기 플라즈마 노즐 쪽으로 갈수록 그 직경이 점진적으로 증가되게 형성되는직경증가용노즐구간부포함하는것을특징으로 하는플라즈마 발생장치.