문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 격벽의 상부벽은,상기 구동본체의 상부에서 단절되어 상하로 상호간 나란하게 이격 배치되는 상부격벽단절부와 하부격벽단절부를 포함하며,상기 상부격벽단절부와 상기 하부격벽단절부는 상기 이격 공간을 사이에 두고 적어도 일부분이 상하로중첩되게배치되는것을특징으로 하는이송장치.
[청구항 3]
제2항에 있어서,상기 무빙블럭은, 일측부는 상기 이격 공간을 통해 상기 격벽의 내부에서 상기 구동본체에 결합되고, 타측부는 상기 격벽의 외부에서상기스테이지유닛결합되는것을특징으로 하는이송장치.
[청구항 4]
제2항에 있어서,상기 무빙블럭은,상기 이격 공간에 이동가능하게 배치되는 중앙플레이트; 상기 상부격벽단절부를 사이에 두고 상기 중앙플레이트와 나란하게 배치되되 일단부가 절곡 연장되어 상기 중앙플레이트의 상면에 결합되는 상단플레이트; 및상기 하부격벽단절부를 사이에 두고 상기 중앙플레이트와 나란하게 배치되되 일단부가 절곡 연장되어 상기 중앙플레이트의 하면에 결합되는하단플레이트포함하는것을특징으로 하는이송장치.
[청구항 5]
제4항에 있어서,상기 상단플레이트, 상기 중앙플레이트 및 상기 하단플레이트는 일체로 형성되며, 단면이 한글'ㄹ'자형상마련되는것을특징으로 하는이송장치.
[청구항 6]
제4항에 있어서,상기 상부격벽단절부의 끝단은 아래로 절곡되게 마련되며, 상기 하부격벽단절부의 끝단은 위로절곡되게마련되는것을특징으로 하는이송장치.
[청구항 7]
제6항에 있어서,상기 중앙플레이트는,상기 상부격벽단절부의 끝단에 간섭되지 않도록 상기 중앙플레이트의 상면에서 함몰형성된 제1 홈부; 및 상기 하부격벽단절부의 끝단에 간섭되지 않도록 상기 중앙플레이트의 하면에서 함몰형성된 제2 홈부를포함하는것을특징으로 하는이송장치.
[청구항 8]
제1항에 있어서,상기 차폐유닛은,상기 격벽의 상단부에 결합되어 상기 스테이지 유닛 주위의 파티클을 포집하는파티클포집부더포함하는것을특징으로 하는이송장치.
[청구항 9]
제8항에 있어서,상기 파티클 포집부는,상기 격벽의 길이방향을 따라 상기 격벽의 양측부에 마련되는영구자석재질의파티클부착밴드인것을특징으로 하는이송장치.
[청구항 10]
제1항에 있어서,상기 스테이지 유닛은,상기 기판의 가장자리 영역을 지지하는 복수의 지지패드;상면에 상기 복수의 지지패드가 상호간 이격배치게 결합되는 스테이지 수평프레임부; 및일단부는 상기 스테이지 수평프레임부와 교차되게 결합되고, 타단부는 상기 무빙블럭에 결합되는 스테이지 수직프레임부를포함하는것을특징으로 하는이송장치.
[청구항 11]
제1항에 있어서,상기 격벽은, 상기 구동본체의 길이방향을 따라 상호간 조립 및 분해되는복수의단위격벽포함하는것을특징으로 하는이송장치.
[청구항 12]
제1항에 있어서,상기 차폐유닛은,상기 격벽에 결합되어 상기 격벽의 강도를 보강시키는복수의강도보강부재더포함하는것을특징으로 하는이송장치.
[청구항 13]
제1항에 있어서,상기 구동본체는,상기 무빙블럭을 상기 구동본체의 길이방향을 따라 이송하는 무빙블럭 이송부; 및상기 무빙블럭의 이동을 안내하는 lm 가이드부를포함하는것을특징으로 하는이송장치.
[청구항 14]
제13항에 있어서,상기 무빙블럭 이송부는,상기 구동본체의 길이방향을 따라 길게 마련되되, 구동모터에 의해 회전하는 스크류 부재; 및일측부가 상기 무빙블럭에 결합되되, 상기 스크류 부재가 관통 결합되는연결부재포함하는것을특징으로 하는이송장치.
[청구항 15]
제14항에 있어서,상기lm 가이드부는,상기 구동본체의 길이방향으로 설치된 복수의 lm 레일; 및일측부가 상기 연결부재에 결합되고 타측부가 상기 lm 레일을 따라 이동 가능하게 결합된 복수의 lm블럭포함하는것을특징으로 하는이송장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
이송장치의 무빙블럭은 어떠한 구성 요소들로 이루어져 있으며, 각 구성 요소는 중앙플레이트와 어떠한 방식으로 결합되어 형성되는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation무빙블럭의 구성 요소와 각 요소가 중앙플레이트와 결합되는 방식을 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 4를 통해 무빙블럭이 중앙플레이트, 상단플레이트, 하단플레이트로 구성됨을 확인하고, 결합 방식을 추출한다.
- 상기 무빙블럭은,상기 이격 공간에 이동가능하게 배치되는 중앙플레이트; 상기 상부격벽단절부를 사이에 두고 상기 중앙플레이트와 나란하게 배치되되 일단부가 절곡 연장되어 상기 중앙플레이트의 상면에 결합되는 상단플레이트; 및상기 하부격벽단절부를 사이에 두고 상기 중앙플레이트와 나란하게 배치되되 일단부가 절곡 연장되어 상기 중앙플레이트의 하면에 결합되는하단플레이트포함하는것을특징으로 하는이송장치.
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3근거 선택
evidence_selection무빙블럭의 구성 요소와 결합 방식이 명시된 청구항 4의 구절을 선택한다.
- 상기 무빙블럭은,상기 이격 공간에 이동가능하게 배치되는 중앙플레이트; 상기 상부격벽단절부를 사이에 두고 상기 중앙플레이트와 나란하게 배치되되 일단부가 절곡 연장되어 상기 중앙플레이트의 상면에 결합되는 상단플레이트; 및상기 하부격벽단절부를 사이에 두고 상기 중앙플레이트와 나란하게 배치되되 일단부가 절곡 연장되어 상기 중앙플레이트의 하면에 결합되는하단플레이트포함하는것을특징으로 하는이송장치.
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4논리 통합
logical_integration무빙블럭은 중앙플레이트, 상단플레이트, 하단플레이트로 구성되며, 상단플레이트는 일단부가 절곡 연장되어 중앙플레이트 상면에 결합되고, 하단플레이트는 일단부가 절곡 연장되어 중앙플레이트 하면에 결합된다.
- 상기 무빙블럭은,상기 이격 공간에 이동가능하게 배치되는 중앙플레이트; 상기 상부격벽단절부를 사이에 두고 상기 중앙플레이트와 나란하게 배치되되 일단부가 절곡 연장되어 상기 중앙플레이트의 상면에 결합되는 상단플레이트; 및상기 하부격벽단절부를 사이에 두고 상기 중앙플레이트와 나란하게 배치되되 일단부가 절곡 연장되어 상기 중앙플레이트의 하면에 결합되는하단플레이트포함하는것을특징으로 하는이송장치.
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 따라 구성 요소와 결합 방식을 정리하여 답변을 구성한다.
- 상기 무빙블럭은,상기 이격 공간에 이동가능하게 배치되는 중앙플레이트; 상기 상부격벽단절부를 사이에 두고 상기 중앙플레이트와 나란하게 배치되되 일단부가 절곡 연장되어 상기 중앙플레이트의 상면에 결합되는 상단플레이트; 및상기 하부격벽단절부를 사이에 두고 상기 중앙플레이트와 나란하게 배치되되 일단부가 절곡 연장되어 상기 중앙플레이트의 하면에 결합되는하단플레이트포함하는것을특징으로 하는이송장치.
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6답변 생성
answer_generation구조화된 형식으로 최종 답변을 작성한다.
- 상기 무빙블럭은,상기 이격 공간에 이동가능하게 배치되는 중앙플레이트; 상기 상부격벽단절부를 사이에 두고 상기 중앙플레이트와 나란하게 배치되되 일단부가 절곡 연장되어 상기 중앙플레이트의 상면에 결합되는 상단플레이트; 및상기 하부격벽단절부를 사이에 두고 상기 중앙플레이트와 나란하게 배치되되 일단부가 절곡 연장되어 상기 중앙플레이트의 하면에 결합되는하단플레이트포함하는것을특징으로 하는이송장치.
최종 답변 (final_answer)
무빙블럭의 구성 요소 및 결합 방식은 다음과 같다.
1. 구성 요소:
- 중앙플레이트
- 상단플레이트
- 하단플레이트
2. 결합 방식:
- 상단플레이트: 일단부가 절곡 연장되어 중앙플레이트의 상면에 결합됨
- 하단플레이트: 일단부가 절곡 연장되어 중앙플레이트의 하면에 결합됨
핵심 해석 (core_interpretation)
무빙블럭은 중앙플레이트를 중심으로 상단 및 하단 플레이트가 절곡된 형태로 상면과 하면에 각각 결합되어 구성되는 구조를 가진다.