노광 방법, 노광 장치, 및 디바이스 제조 방법 document_id 1020137000873

[청구항 8] 제7항에 있어서,상기 물체가 적재되는 물체 스테이지를 더 구비하고,상기 부재가상기물체스테이지 상설치되어있는것을특징으로 하는노광 장치. [청구항 9] 제7항에 있어서,상기 물체가 적재되는 물체 스테이지와; 상기 부재가 설치된, 상기 물체 스테이지와는 상이한 계측 스테이지; 를더 구비하는노광 장치. [청구항 10] 제8항에 있어서,상기 물체 스테이지 상의 물체 및 상기 물체 스테이지 상의 상기 액체에 접하는부재의적어도하나접지되어있는것을특징으로 하는노광 장치. [청구항 11] 제8항에 있어서,상기 물체에 접하는 상기 물체 스테이지의 일부가도전성 재료형성되어있는것을특징으로 하는노광 장치. [청구항 12] 제7항에 있어서,상기 액체의 비저항을 조정함으로써, 상기 액체의 대전에 기인하는상기발액막의열화방지하는것을특징으로 하는노광 장치. [청구항 13] 제7항에 있어서,물질의 용해에 기인하는 상기 액체의 굴절률 변동을 고려하여 광학계의 적어도 일부를 조정하는 조정 장치더 구비하는노광 장치. [청구항 14] 제7항에 있어서,물질의 용해에 기인하는 상기 액체의 상기 노광광과 동일 파장의 광에 대한 투과율 변동을 고려하여 상기 물체에 대한 도우즈 제어를 행하는 제어 장치더 구비하는노광 장치. [청구항 15] 제7항 내지 제14항 중 어느 한 항에 있어서,물질nan은이산화탄소포함하는것을특징으로 하는노광 장치. [청구항 17] 제16항에 있어서,상기 액침 장치는, 상기 액체를 상기 막 상에 공급하는 공급 부재와, 상기 공급 부재에 보내지는 액체의 온도 조정 및 유량 제어의 적어도 한쪽을 행하는 액체 조정 기구를 더 가지며, 상기 혼입 기구는, 상기 액체 조정 기구와 상기 공급 부재의 사이 및 상기 액체 조정 기구의 상류측의 한쪽에서 상기 액체중에 정해진물질첨가하는것을특징으로 하는노광 장치. [청구항 18] 제17항에 있어서,상기 물체 및 상기 공급 부재의 적어도 하나가접지되어있는것을특징으로 하는노광 장치. [청구항 19] 제16항에 있어서,상기 물체에 접하는 상기 물체 스테이지의 일부가도전성 재료형성되어있는것을특징으로 하는노광 장치. [청구항 20] 제16항에 있어서,상기 액체의 비저항을 조정함으로써, 상기 액체의 대전에 기인하는상기물체상의막의열화방지하는것을특징으로 하는노광 장치. [청구항 21] 제16항에 있어서,물질의 용해에 기인하는 상기 액체의 굴절률 변동을 고려하여 광학계의 적어도 일부를 조정하는 조정 장치더 구비하는노광 장치. [청구항 22] 제16항에 있어서,물질의 용해에 기인하는 상기 액체의 상기 노광광과 동일 파장의 광에 대한 투과율 변동을 고려하여 상기 물체에 대한 도우즈 제어를 행하는 제어 장치더 구비하는노광 장치. [청구항 23] 제16항 내지 제22항 중 어느 한 항에 있어서,물질nan은이산화탄소포함하는것을특징으로 하는노광 장치. [청구항 26] 제7항에 있어서,상기 센서는 유지 부재에 지지되고, 상기 유지 부재는, 상기 부재 표면과 실질적으로 동일한 높이의 표면을 갖고 상기 센서의 주위에 배치되는 부위를 포함하고, 상기 액침 영역과 접촉하는상기부위의표면발액성인것을특징으로 하는노광 장치. [청구항 27] 제16항에 있어서,상기 물체 스테이지는, 상기 물체의 표면과 실질적으로 동일한 높이의 표면을 갖고 상기 물체의 주위에 배치되는 부위를 포함하고, 상기 액침 영역과 접촉하는상기부위의표면발액성인것을특징으로 하는노광 장치. [청구항 29] 제28항에 있어서,상기 플레이트 부재의 상면과, 상기 지지부에 지지된 상기 물체의 상면은실질적동일한높이인노광 장치. [청구항 30] 제28항 또는 제29항에 있어서,물질의 용해에 기인하는 상기 액체의 굴절률 변동을 고려하여 광학계의 적어도 일부를 조정하는 조정 장치더 구비하는노광 장치. [청구항 31] 제28항 또는 제29항에 있어서,물질의 용해에 기인하는 상기 액체의 상기 노광광과 동일 파장의 광에 대한 투과율 변동을 고려하여 상기 물체에 대한 도우즈 제어를 행하는 제어 장치더 구비하는노광 장치. [청구항 32] 제28항 또는 제29항에 있어서,물질nan은이산화탄소포함하는것을특징으로 하는노광 장치.