기반 상에 배치된 리소그래피 시스템과 기반 상에 리소그래피 시스템을 배치하는 방법 document_id 1020137006705

[청구항 2] 청구항 1에 있어서,상기 장비는 카메라와 같은 리소그래피 시스템의 측정 장비포함하는 것인리소그래피 시스템. [청구항 3] 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,상기 리소그래피 시스템은 대상물 배치 장치를 포함하고, 상기 장비는 상기 리소그래피 시스템의 대상물 배치 장치를 구동하기 위한 모터포함하는 것인리소그래피 시스템. [청구항 4] 청구항 1, 청구항 2 또는 청구항 3에 있어서,상기 장비는 기저판을 통해, 그리고 바람직하게는 기저판 너머연장된 것인리소그래피 시스템. [청구항 5] 청구항 1, 청구항 2 또는 청구항 3에 있어서,상기 장비는 기반을 마주하는 상기 기저판의 일면으로부터 소정 거리만큼 상기 리소그래피 시스템으로부터 연장되고, 상기 거리는 상기 스트럿이 기반을 마주하고 있는 상기 기저판의 일면으로부터 연장된 거리와 실질적동일한 것인리소그래피 시스템. [청구항 6] 청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 한 항에 있어서,리소그래피 시스템은 진공 챔버를 포함하고, 리소그래피 시스템과 마주하는 상기 장비의 일면은 상기 진공 챔버 내측배치된 것인리소그래피 시스템. [청구항 7] 청구항 2에 의할 때 청구항 1 내지 청구항 6 중 어느 한 항에 있어서,중앙 선 또는 광학 축선을 가진 투사 칼럼을 더 포함하고, 상기 측정 시스템은 투사 칼럼의 중앙 선 또는 광학 축선과 실질적으로 동일선상에 있는 것인리소그래피 시스템. [청구항 8] 청구항 1 내지 청구항 7 중 어느 한 항에 있어서,기저판과 스트럿은 알루미늄으로 만들어지고, 바람직하게는 기저판과 스트럿이 일체형성된 것인리소그래피 시스템. [청구항 9] 청구항 1 내지 청구항 8 중 어느 한 항에 있어서,기저판및/또는 스트럿이 단일 구조물형성하는 것인리소그래피 시스템. [청구항 10] 청구항 1 내지 청구항 9 중 어느 한 항에 있어서,기저판은 자체 지지형기저판인리소그래피 시스템. [청구항 11] 청구항 1 내지 청구항 10 중 어느 한 항에 있어서,기저판은 기반 상에분리가능하도록배치된 것인리소그래피 시스템. [청구항 12] 청구항 1 내지 청구항 11 중 어느 한 항에 있어서,기저판에는 세 개의 스트마련된 것인리소그래피 시스템. [청구항 13] 청구항 1 내지 청구항 12 중 어느 한 항에 있어서,트럿은 상기 기반에 수지 재료에 의해 고정적연결된 것인리소그래피 시스템. [청구항 14] 청구항 13에 있어서,상기 수지 재료는 경화 과정에서 수축이 적거나 실질적으로 없는 경화성 수지재료인 것인리소그래피 시스템. [청구항 15] 청구항 14에 있어서,상기 수축은 1퍼센트것인리소그래피 시스템. [청구항 16] 청구항 14에 있어서,상기 경화성 수지 재료는 실질적으로 비수축성인 에폭시포함하는 것인리소그래피 시스템. [청구항 17] 청구항 16에 있어서,상기 에폭시는 실질적으로 용제가 없거나 최소량의 용제포함하는 것인리소그래피 시스템. [청구항 18] 청구항 14에 있어서,상기 경화성 수지 재료는접착제인 것인리소그래피 시스템. [청구항 21] 청구항 20에 있어서,트럿 및 기저판은 일체형성된 것인기저판. [청구항 22] 청구항 20에 있어서,트럿은 나사 또는 볼트로 상기 기저판에분리가능하도록연결된 것인기저판. [청구항 23] 청구항 20, 청구항 21 또는 청구항 22 중 어느 한 항에 있어서,상기 기저판은 이용시 리소그래피 시스템과 마주하는 상면을 포함하고, 상기 상면은 하나 이상의 장착 부재를 포함하거나 적어도 상기 상면에 하나 이상의 장착 부재부착된 것인기저판. [청구항 24] 청구항 20 내지 청구항 23 중 어느 한 항에 있어서,리소그래피 시스템은 바닥 벽을 가진 진공 챔버를 포함하고, 상기 기저판은 상기 진공 챔버의 바닥 벽의적어도 일부인 것인기저판. [청구항 25] 청구항 20 내지 청구항 23 중 어느 한 항에 있어서,리소그래피 시스템은 바닥 벽을 가진 진공 챔버를 포함하고, 상기 기저판은 상기 진공 챔버의 바닥벽인 것인기저판. [청구항 26] 청구항 23에 있어서,상기 장착 부재 중 적어도 하나는 상기 스트럿 중 적어도 하나와 적어도 부분적으로 일직선이루는 것인기저판. [청구항 27] 청구항 20 내지 청구항 26 중 어느 한 항에 있어서,트럿 중 적어도 하나에는 상기 기저판으로부터 멀어지는 방향을 향하는 면에 앵커링 부재마련되는 것인기저판. [청구항 28] 청구항 20 내지 청구항 27 중 어느 한 항에 있어서,상기 기저판에는 보어가 마련되고, 이 보어에는 상기 기저판에 스트럿 및/또는 장착 부재를 연결하기 위한 나사형 인서트가 고정적수용되는 것인기저판. [청구항 29] 청구항 20 내지 청구항 28 중 어느 한 항에 있어서,상기 기저판은 단일체형평판인 것인기저판. [청구항 30] 청구항 29에 있어서,상기 평판은 화강암 또는 알루미늄것인기저판.