문맥 (context)
[청구항 10]
기판의 표면을 개질하는 표면 개질 장치이며,
기판의 표면에 자외선을 조사하는 자외선 조사부와,
기판의 표면에 수산기를 부여하기 위한 표면 개질액을 공급하는 표면 개질액 공급부와,
기판의 표면에 상기 자외선을 조사하면서, 기판의 표면에 상기 표면 개질액을 공급하도록, 상기 자외선 조사부와 상기 표면 개질액 공급부를 제어하는 제어부를 갖는, 기판의 표면 개질 장치
[청구항 11]
제10항에 있어서,상기 표면 개질액은 제3급알코올인,기판의 표면 개질 장치.
[청구항 12]
제10항에 있어서,상기 표면 개질액은 알칼리용액인,기판의 표면 개질 장치.
[청구항 13]
제10항에 있어서,상기 표면 개질액은과산화수소수인,기판의 표면 개질 장치.
[청구항 14]
제10항에 있어서,상기 제어부는 상기 기판의 표면에 상기 자외선을 조사 중에 당해 기판의 표면으로의 상기 표면 개질액의 공급을 개시하도록, 상기 자외선 조사부와 상기 표면 개질액 공급부제어하는,기판의 표면 개질 장치.
[청구항 15]
제10항에 있어서,상기 기판의 표면과 대향하여 배치된 지지판을 갖고,상기 제어부는 상기 기판의 표면과 상기 지지판 사이에 상기 표면 개질액이 공급된 상태에서 상기 기판의 표면으로의 상기 자외선의 조사를 개시하도록, 상기 자외선 조사부와 상기 표면 개질액 공급부제어하는,기판의 표면 개질 장치.
[청구항 16]
제15항에 있어서,상기 지지판은 상기 자외선투과시키는 것인,기판의 표면 개질 장치.
[청구항 17]
제10항에 있어서,상기 기판은 표면에 전사 패턴이 형성되고, 또한 상기 전사 패턴을 다른 기판 상의 레지스트막에 전사하여 레지스트 패턴을 형성하기 위한 템플릿인,기판의 표면 개질 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
기판의 표면 개질 장치에서 제어부가 자외선 조사와 표면 개질액 공급을 제어하는 구체적인 방식 중, 지지판이 존재하는 경우의 제어 시퀀스는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation지지판이 존재하는 경우, 제어부가 자외선 조사와 표면 개질액 공급을 제어하는 구체적인 시퀀스를 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 15를 통해 지지판이 존재할 때의 제어 조건을 확인한다.
- 상기 기판의 표면과 상기 지지판 사이에 상기 표면 개질액이 공급된 상태에서 상기 기판의 표면으로의 상기 자외선의 조사를 개시하도록
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3근거 선택
evidence_selection지지판이 있을 때 표면 개질액이 먼저 공급되고, 그 후에 자외선 조사가 시작된다는 구절을 선택한다.
- 상기 기판의 표면과 상기 지지판 사이에 상기 표면 개질액이 공급된 상태에서 상기 기판의 표면으로의 상기 자외선의 조사를 개시하도록
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4논리 통합
logical_integration지지판이 기판의 표면과 대향하여 배치되어 있으므로, 액체가 지지판과 기판 사이에 먼저 채워진 후 자외선이 조사되는 순서임을 도출한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation제어부는 먼저 기판의 표면과 지지판 사이에 표면 개질액이 공급되도록 제어한 뒤, 그 상태에서 자외선 조사를 개시한다.
- 상기 기판의 표면과 상기 지지판 사이에 상기 표면 개질액이 공급된 상태에서 상기 기판의 표면으로의 상기 자외선의 조사를 개시하도록
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6답변 생성
answer_generation질문에 대해 지지판과 기판 사이에 개질액이 먼저 공급된 후 자외선 조사가 시작되는 시퀀스로 답변을 작성한다.
- 상기 기판의 표면과 상기 지지판 사이에 상기 표면 개질액이 공급된 상태에서 상기 기판의 표면으로의 상기 자외선의 조사를 개시하도록
최종 답변 (final_answer)
지지판이 존재하는 경우, 제어부는 기판의 표면과 지지판 사이에 표면 개질액이 공급된 상태를 먼저 만든 후, 그 상태에서 기판의 표면으로 자외선 조사를 개시하도록 제어한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 지지판을 활용하여 기판과 지지판 사이에 표면 개질액을 먼저 공급한 후 자외선을 조사함으로써, 기판 표면의 개질 공정을 제어하는 기술에 관한 것이다.