문맥 (context)
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 리소그라피 시스템 유닛들은,2개의 로우배열되는,리소그라피 시스템.
[청구항 3]
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 도어는,상기 진공 챔버에제거가능하게접속되는,리소그라피 시스템.
[청구항 4]
제 3 항에 있어서,상기 도어에는,하나 이상의 전달 엘리먼트들제공되는,리소그라피 시스템.
[청구항 5]
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 로드 록 시스템은,상기 도어통합되는,리소그라피 시스템.
[청구항 6]
제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 리소그라피 시스템 유닛은,기판들의 일시적인 저장을 위한 저장 유닛포함하는,리소그라피 시스템.
[청구항 7]
제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,리소그라피 장치(301)에서 패터닝하기 위한 기판들을 준비하기 위한 준비 시스템더 포함하는,리소그라피 시스템.
[청구항 8]
제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,각각의 리소그라피 시스템 유닛은,준비 시스템포함하는,리소그라피 시스템.
[청구항 9]
제 8 항에 있어서,리소그라피 시스템 유닛은,상기 준비 시스템과 상기 로드 록 시스템 간에 기판들을 전달하기 위한 로봇포함하는,리소그라피 시스템.
[청구항 10]
제 7 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 준비 시스템은,클램프(clamp)를 형성하기 위해 기판 지지 구조(403) 상에 기판(405)을 클램핑하기 위한 클램핑 유닛포함하는,리소그라피 시스템.
[청구항 11]
제 1 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 복수의 리소그라피 시스템 유닛들로의 기판들의 공급을 가능하게 하기 위한 기판 공급 시스템(315); 및상기 기판 공급 시스템과 상기 복수의 리소그라피 시스템 유닛들 간에 기판들을 전달하기 위한 기판 전달 시스템더 포함하는,리소그라피 시스템.
[청구항 12]
제 11 항에 있어서,각각의 리소그라피 시스템 유닛은,준비 시스템, 및 상기 기판 전달 시스템과 상기 준비 시스템 간에 기판들을 전달하기 위한 로봇포함하는,리소그라피 시스템.
[청구항 13]
제 11 항 또는 제 12 항에 있어서,상기 기판 공급 시스템은,기판들의 일시적인 저장을 위해기판저장 유닛수용하도록배열되는,리소그라피 시스템.
[청구항 14]
제 13 항에 있어서,상기 기판 저장 유닛은,foup(front opening unified pod)와 같은 제거 가능한 기판 저장유닛인,리소그라피 시스템.
[청구항 15]
제 11 항 내지 제 14 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기판 공급 시스템은,트랙 시스템(600)에 접속가능한,리소그라피 시스템.
[청구항 16]
제 11 항 내지 제 15 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기판 전달 시스템은,상기 리소그라피 시스템 유닛들의 로드 록 시스템들 위배열되는,리소그라피 시스템.
[청구항 17]
제 1 항 내지 제 16 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 리소그라피 장치는,하전 입자 리소그라피장치인,리소그라피 시스템.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
리소그라피 시스템 내에서 준비 시스템이 기판을 클램핑하기 위해 구성되는 구체적인 요소는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation리소그라피 시스템의 준비 시스템이 기판을 클램핑하기 위해 구성되는 구체적인 요소를 추출해야 한다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 10에서 준비 시스템의 구성 요소와 클램핑 동작에 관한 내용을 확인한다.
- 상기 준비 시스템은,클램프(clamp)를 형성하기 위해 기판 지지 구조(403) 상에 기판(405)을 클램핑하기 위한 클램핑 유닛포함하는
-
3근거 선택
evidence_selection준비 시스템이 클램핑을 수행하기 위해 포함하는 핵심 요소인 '클램핑 유닛'을 선택한다.
- 상기 준비 시스템은,클램프(clamp)를 형성하기 위해 기판 지지 구조(403) 상에 기판(405)을 클램핑하기 위한 클램핑 유닛포함하는
-
4논리 통합
logical_integration준비 시스템은 기판 지지 구조 상의 기판을 클램핑하여 클램프를 형성하기 위해 클램핑 유닛을 포함한다는 논리적 관계를 도출한다.
- 상기 준비 시스템은,클램프(clamp)를 형성하기 위해 기판 지지 구조(403) 상에 기판(405)을 클램핑하기 위한 클램핑 유닛포함하는
-
5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 직접적인 답변으로 '클램핑 유닛'을 결정한다.
- 상기 준비 시스템은,클램프(clamp)를 형성하기 위해 기판 지지 구조(403) 상에 기판(405)을 클램핑하기 위한 클램핑 유닛포함하는
-
6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
- 상기 준비 시스템은,클램프(clamp)를 형성하기 위해 기판 지지 구조(403) 상에 기판(405)을 클램핑하기 위한 클램핑 유닛포함하는
최종 답변 (final_answer)
클램핑 유닛
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 리소그라피 시스템의 준비 시스템 내에서 기판 지지 구조 상의 기판을 클램핑하여 클램프를 형성하기 위한 클램핑 유닛의 구성을 포함한다.