문맥 (context)
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 다수의 부품들은, 구분적으로(piecewise) 회전 대칭적인 분할된 실드를 형성하는 실린더 섹션 부품들인,기판 상에 물질을 스퍼터링하기 위한 증착 장치의 회전식지지하기 위한디바이스.
[청구항 3]
제 2 항에 있어서,상기 부품들은 홀 없이 제공되는, 기판 상에 물질을 스퍼터링하기 위한 증착 장치의 회전식지지하기 위한디바이스.
[청구항 4]
제 1 항에 있어서,상기 실드의 직경과 상기 실드의 길이의 비는 최대 0.5인,기판 상에 물질을 스퍼터링하기 위한 증착 장치의 회전식지지하기 위한디바이스.
[청구항 5]
제 1 항에 있어서,상기 실드의 직경과 상기 실드의 길이의 비는 최대 0.3인,기판 상에 물질을 스퍼터링하기 위한 증착 장치의 회전식지지하기 위한디바이스.
[청구항 6]
제 1 항에 있어서,상기 회전식타겟의 상부 단부(top end)에 위치된 상부 실드를 더 포함하고, 상기 상부 실드는 상기 회전식 타겟과 함께 회전하도록 적응되며, 상기 상부 실드는 함께 조립된 다수의 부품들을 포함하는, 기판 상에 물질을 스퍼터링하기 위한 증착 장치의 회전식지지하기 위한디바이스.
[청구항 7]
제 6 항에 있어서,상기 분할된 실드 및 상기 상부 실드는 동일한, 기판 상에 물질을 스퍼터링하기 위한 증착 장치의 회전식지지하기 위한디바이스.
[청구항 8]
제 1 항에 있어서,상기 실드는 함께 조립된 두 개의 부품들을 포함하는, 기판 상에 물질을 스퍼터링하기 위한 증착 장치의 회전식지지하기 위한디바이스.
[청구항 9]
제 1 항에 있어서,상기 다수의 부품들은 적어도 하나의 고정 디바이스에 의해 함께 조립되는,기판 상에 물질을 스퍼터링하기 위한 증착 장치의 회전식지지하기 위한디바이스.
[청구항 10]
제 9 항에 있어서,상기 고정 디바이스는 스냅 링을 포함하는,기판 상에 물질을 스퍼터링하기 위한 증착 장치의 회전식지지하기 위한디바이스.
[청구항 11]
제 1 항에 있어서,상기 실드는 상기 실드의 둘레를 따라서 적어도 하나의 노치형 채널을 포함하고, 이는 적어도 하나의 스냅 링을 상기 노치형 채널 내에 위치시키기 위한 것인,기판 상에 물질을 스퍼터링하기 위한 증착 장치의 회전식지지하기 위한디바이스.
[청구항 12]
제 1 항에 있어서,상기 실드는 적어도 하나의 스페이서에 의해 상기 링 형상 부품으로부터 전기적으로 격리되는,기판 상에 물질을 스퍼터링하기 위한 증착 장치의 회전식지지하기 위한디바이스.
[청구항 13]
제 12 항에 있어서,적어도 하나의 스페이서는 다수의 클램핑 막대(rod)들을 포함하는,기판 상에 물질을 스퍼터링하기 위한 증착 장치의 회전식지지하기 위한디바이스.
[청구항 14]
제 12 항에 있어서,적어도 하나의 스페이서는 절연 물질로 구성되는,기판 상에 물질을 스퍼터링하기 위한 증착 장치의 회전식지지하기 위한디바이스.
[청구항 15]
제 14 항에 있어서,상기 절연 물질은 내열 플라스틱을 포함하는, 기판 상에 물질을 스퍼터링하기 위한 증착 장치의 회전식지지하기 위한디바이스.
[청구항 20]
제 1 항에 있어서,상기 부품들은 서로 링크된 세그먼트들인,기판 상에 물질을 스퍼터링하기 위한 증착 장치의 회전식지지하기 위한디바이스.
지시문 (instruction)
주어진 특허 청구항을 읽고 발명의 구성요소와 구성을 파악하여 질문에 답하라. 문맥에 제시된 표현을 중심으로 답하라.
질문 (question)
기판 상에 물질을 스퍼터링하기 위한 증착 장치의 회전식 지지 디바이스에서, 실드를 구성하는 다수의 부품들을 함께 조립하기 위해 사용되는 고정 디바이스의 구체적인 구성 요소는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation증착 장치의 회전식 지지 디바이스에서 실드 부품들을 조립하는 데 사용되는 고정 디바이스의 구성 요소를 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 9에서 다수의 부품이 고정 디바이스에 의해 조립됨을 확인하고, 청구항 10에서 고정 디바이스의 구성을 확인한다.
- 상기 다수의 부품들은 적어도 하나의 고정 디바이스에 의해 함께 조립되는, 상기 고정 디바이스는 스냅 링을 포함하는
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3근거 선택
evidence_selection고정 디바이스가 스냅 링을 포함한다는 직접적인 문구를 선택한다.
- 상기 고정 디바이스는 스냅 링을 포함하는
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4논리 통합
logical_integration청구항 9와 10을 결합하여, 고정 디바이스가 부품들을 조립하는 역할을 하며 그 구성 요소로 스냅 링을 가진다는 논리를 도출한다.
- 상기 다수의 부품들은 적어도 하나의 고정 디바이스에 의해 함께 조립되는, 상기 고정 디바이스는 스냅 링을 포함하는
-
5결론 도출
conclusion_formulation고정 디바이스의 구체적인 구성 요소는 스냅 링이다.
- 상기 고정 디바이스는 스냅 링을 포함하는
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 질문에 대한 최종 답변을 작성한다.
- 스냅 링
최종 답변 (final_answer)
스냅 링
핵심 해석 (core_interpretation)
분할된 실드 부품들을 함께 조립하기 위해 스냅 링을 포함하는 고정 디바이스를 사용하는 증착 장치의 회전식 지지 구조에 관한 기술이다.