노광 장치 및 디바이스 제조 방법 document_id 1020137023316

[청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 액체를 공급하는 액체 공급 기구를 구비하고,상기 계측 장치는 상기 액체 공급 기구에 의해 공급되는액체계측하는것을특징으로 하는노광 장치. [청구항 3] 제 2 항에 있어서,상기 액체 공급 기구는 액체를 공급하는 공급구와, 상기 공급구에 접속하는 공급 유로, 및 상기 공급 유로의 도중에서 분기되는 분기 유로를 구비하고, 상기 계측 장치는 상기 분기 유로를 흐르는액체계측하는것을특징으로 하는노광 장치. [청구항 4] 제 1 항에 있어서,상기 액체를 회수하는 액체 회수 기구를 구비하고, 상기 계측 장치는 상기 액체 회수 기구에 의해 회수되는액체계측하는것을특징으로 하는노광 장치. [청구항 5] 제 1 항에 있어서,상기 기판을 유지하여 이동할 수 있는 기판 스테이지를 구비하고, 상기 계측 장치는상기기판스테이지형성되어있는것을특징으로 하는노광 장치. [청구항 6] 제 1 항에 있어서,상기 계측 장치는 노광 동작과 병행하여상기액체계측하는것을특징으로 하는노광 장치. [청구항 7] 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 계측 장치의 계측 결과를 시간의 경과에 대응시켜 기억하는기억장치구비한것을특징으로 하는노광 장치. [청구항 8] 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기판 상에 설정된 복수의 쇼트 영역이 순차적으로 노광되고,상기 계측 장치의 계측 결과를 상기 쇼트 영역에 대응시켜 기억하는기억장치구비한것을특징으로 하는노광 장치. [청구항 9] 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 액체를 회수하는 제 1 액체 회수 기구와,상기 제 1 액체 회수 기구에 의해 회수되지 못한 액체를 회수하는 제 2 액체 회수 기구와, 상기 제 2 액체 회수 기구가 액체를 회수했는지 여부를 검출하는 검출 장치, 및상기 검출 장치의 검출 결과를 시간의 경과에 대응시켜 기억하는기억장치구비한것을특징으로 하는노광 장치. [청구항 10] 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 계측 장치의 계측 결과가 이상한지 아닌지를 판별하고, 이 판별 결과에 기초하여, 노광 동작을 제어하는제어장치구비한것을특징으로 하는노광 장치. [청구항 11] 제 10 항에 있어서,상기 계측 장치의 계측 결과를 알리는 알림 장치를 구비하고, 상기 제어 장치는, 상기 계측 결과가 이상할 때, 상기 알림 장치에 의해경고발하는것을특징으로 하는노광 장치. [청구항 12] 제 11 항에 있어서,상기 액체가 흐르는 유로의 복수의 소정 위치 각각에 형성되고, 상기 액체의 성질 및 성분 중 적어도 어느 일방을 조정할 수 있는 복수의 조정 장치를 구비하고, 상기 제어 장치는, 상기 계측 장치의 계측 결과에 기초하여, 상기 복수의 조정 장치 중 적어도 하나의 조정 장치를 특정하고, 이 특정된 조정 장치에 관한 정보를 상기 알림 장치에 의해알리는것을특징으로 하는노광 장치. [청구항 13] 제 1 항에 있어서,상기 계측 장치의 계측 결과에 기초하여, 상기 액체에 접촉하는 소정 부재를 세정하는세정장치구비한것을특징으로 하는노광 장치. [청구항 14] 제 13 항에 있어서,상기 세정 장치는 소정의 기능을 갖는기능액을상기소정부재공급하는것을특징으로 하는노광 장치. [청구항 16] 제 15 항에 있어서,상기 기능액은 살균 작용을 갖는액체포함하는것을특징으로 하는노광 장치. [청구항 17] 제 15 항에 있어서,상기 소정 부재는, 액체를 공급하는 공급구 및 액체를 회수하는 회수구 중 적어도 어느 일방을 갖는 노즐 부재, 상기 노즐 부재에 접속하는 유로 형성 부재, 상기 투영 광학계 중 이미지면측에 가장 가까운 광학 소자, 상기 기판을 유지하여 이동할 수 있는 기판 스테이지, 및 기판 스테이지 상에 형성된광계측부중하나이상포함하는것을특징으로 하는노광 장치. [청구항 18] 제 15 항 내지 제 17 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 액침 영역을 형성하기 위한 액체를 공급하는 유로를 갖는 액체 공급 기구와,상기 액침 영역의 액체를 회수하는 유로를 갖는 액체 회수 기구를 구비하고, 상기 기능액 공급 장치는, 상기 액체 공급 기구 및 상기 액체 회수 기구의 각각의 유로에 상기 기능액을 공급하고, 상기 기능액으로 이루어지는액침영역을상기투영 광학계의이미지면측형성하는것을특징으로 하는노광 장치. [청구항 20] 제 19 항에 있어서,상기 기억 장치는, 상기 검출 장치의 검출 결과를 시간의 경과에대응기억하는것을특징으로 하는노광 장치. [청구항 21] 제 19 항에 있어서,상기 제 1 액체 회수 기구는 상기 기판에 대향하는 제 1 회수구를 갖고, 상기 제 2 액체 회수 기구는, 상기 투영 광학계의 투영 영역에 대해 상기 제 1 회수구로부터 외측에 형성된 제 2 회수구를 갖고, 상기 제 2 액체 회수 기구는, 액체를 그주위의기체함께회수하는것을특징으로 하는노광 장치. [청구항 22] 제 19 항에 있어서,상기 검출 장치는 제 2 액체 회수 기구에 의한 단위 시간당 액체 회수량을 검출할 수 있으며, 상기 기억 장치는 상기 액체 회수량에 관한정보기억하는것을특징으로 하는노광 장치. [청구항 23] 제 19 항 내지 제 22 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기판 상에는 상기 투영 광학계 및 상기 액침 영역의 액체를 개재하여 소정의 패턴이 전사되고, 상기 기억 장치에는, 상기 제 2 액체 회수 기구가 액체를 회수했을 때의 패턴 전사 정밀도에 관한 정보가 미리 기억되어 있으며, 상기 검출 장치의 검출 결과에 기초하여, 상기 제 2 액체 회수 기구가 상기 액체를 회수했을 때에 상기 패턴을 전사된 쇼트 영역의 패턴 전사 정밀도를 예측하는 제어 장치와,상기 제어 장치가 예측한 결과를 알리는 알림장치구비한것을특징으로 하는노광 장치. [청구항 24] 제 19 항 내지 제 22 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기판 상에 설정된 복수의 쇼트 영역 중 제 1 쇼트 영역을 노광 중에 상기 검출 장치가 상기 제 2 액체 회수 기구에 의한 액체 회수를 검출했을 때, 상기 검출 장치가 액체를 검출하지 않게 될 때까지 기다린 후,상기제1쇼트영역의다음의제2쇼트영역노광하는것을특징으로 하는노광 장치. [청구항 25] 제 19 항에 있어서,상기 액침 영역을 형성하기 위한 액체의 성질 및 성분 중 적어도 어느 일방을 계측하는 계측 장치를 구비하고, 상기 기억 장치는상기계측장치의계측결과기억하는것을특징으로 하는노광 장치.