선형 특성을 나타내는 미소 전자 기계 시스템 장치 document_id 1020137024103

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 스테이터에 대해 상대적으로 상기 로터의 위치를 변화시키는 수단을 더 포함하는, 미세제조된가변 커패시터. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 수단은 상기 커패시터를 움직이는 물체에 연결하는 것을 포함하며, 상대적인 움직임이 상기 로터의 관성에 관련되는, 미세제조된가변 커패시터. [청구항 4] 제3항에 있어서,상기 커패시터는 가속도계의 일부인, 미세제조된가변 커패시터. [청구항 5] 제1항에 있어서,상기 수단은 플렉서블한 물체를 포함하며, 상기 스테이터는 상기 물체의 한 부분에 연결되고, 상기 로터는 상기 물체의 다른 부분에 연결되며, 상기 한 부분이 상기 다른 부분에 관하여 움직이는, 미세제조된가변 커패시터. [청구항 7] 제6항에 있어서,상기 서스펜션 시스템은, 상기 스테이터의 일단부에서부터 상기 로터까지 연장하는 제1 캔틸레버 지지부와, 상기 스테이터의 대향 단부에서부터 상기 로터까지 연장하는 제2 캔틸레버 지지부를 포함하는, 미세제조된가변 커패시터. [청구항 8] 제6항에 있어서,상기 제1 캔틸레버는 대략적으로 클램프된 경계 조건으로 상기 일단부에서부터 연장하며, 상기 제2 캔틸레버는 대략적으로 클램프된 경계 조건으로 타단부에서부터 연장하는, 미세제조된가변 커패시터. [청구항 9] 제6항에 있어서,상기 서스펜션 시스템은 상기 로터가 상기 스테이터에 대하여 2차원으로 질량 균형(mass balance)을 이루도록 상기 로터에 결합하는, 미세제조된가변 커패시터. [청구항 10] 제6항에 있어서,상기 로터는 중앙에 위치된 허브를 포함하며, 상기 블레이드가 상기 허브로부터 캔틸레버 방식으로 지지되는, 미세제조된가변 커패시터. [청구항 11] 제10항에 있어서,상기 블레이드를 지지하는 캔틸레버 아암을 더 포함하며, 상기 아암의 일단부가 상기 허브에 결합되며, 각각의 상기 블레이드가 상기 허브로부터 상기 아암의 자유 단부로의 방향을 전반적으로 가로지르는 방향으로 상기 아암으로부터 연장하는, 미세제조된가변 커패시터. [청구항 12] 제6항에 있어서,상기 플레이트는 평면형이고, 상기 블레이드도 평면형인, 미세제조된가변 커패시터. [청구항 13] 제6항에 있어서,상기 플레이트는 축을 중심으로 하는 원형이고, 상기 블레이드도 동일한 축을 중심으로 하는 원형인, 미세제조된가변 커패시터. [청구항 15] 제1항에 있어서,각각의 상기제1 및 제2 스프링은, 상기 플레이트에 평행한 상기 블레이드의 이동에 대응하는 제1 스프링 상수와, 상기 플레이트 쪽으로의 상기 블레이드의 이동에 대응하는 제2 스프링 상수를 가지며, 상기 제2 스프링 상수가 상기 제1 스프링 상수보다 큰, 미세제조된가변 커패시터. [청구항 17] 제16항에 있어서,상기 스테이터 플레이트 및 상기 로터 플레이트가 평행이루는,미세 전자 기계 시스템 센서. [청구항 18] 제16항에 있어서,압력 포트및 그 외에는 유체 불침투성 환경을 형성하고 있는 패키징더 포함하는,미세 전자 기계 시스템 센서. [청구항 19] 제16항에 있어서,상기 스테이터 플레이트 및 상기 로터 플레이트는 공통 중심으로부터 이격된 거리에 위치된 아치형 요소인,미세 전자 기계 시스템 센서. [청구항 20] 제19항에 있어서,상기 스터브는 상기 공통 중심접촉하는,미세 전자 기계 시스템 센서.