문맥 (context)
[청구항 1]
표면에 포지티브 레지스트 재료가 형성된 기판을 노광 광으로 제1 방향으로 스캔해서 노광 패턴을 형성하는 노광 장치로서,
노광 광을 출사하는 광원과,
노광해야 할 복수개의 패턴이 상기 제1 방향에 직교하는 제2 방향으로 소정의 간격을 두고 설치되어 상기 광원으로부터의 노광 광이 상기 패턴을 투과하는 마스크와,
상기 패턴의 정립 등배상(正立等倍像)을 상기 기판 상에 결상시키는 복수개의 마이크로 렌즈가 배치된 마이크로 렌즈 어레이와,
이 마이크로 렌즈 어레이를 지지하는 프레임 형상의 홀더와,
상기 마이크로 렌즈 어레이 및 상기 광원을 상기 마스크에 대하여 상대적으로 상기 제1 방향으로 이동시키는 구동부
를 갖고,
상기 마이크로 렌즈 어레이는, 복수개의 마이크로 렌즈가 설치된 마이크로 렌즈 어레이 칩이 상기 제2 방향으로 접속되어서 구성되어 있고,
상기 홀더에는, 상기 마이크로 렌즈 어레이의 상기 마이크로 렌즈 어레이 칩 사이의 위치에 정합하는 위치에 노광 광 투과용의 개구가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 노광 장치
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 홀더의 개구는,상기기판의스캔 방향의전방및후방의양쪽의단부형성되어있는것을특징으로 하는노광 장치.
[청구항 3]
제1항에 있어서,상기 홀더의 개구는,상기기판의스캔 방향의전방및후방의한쪽의단부형성되어있는것을특징으로 하는노광 장치.
[청구항 4]
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 홀더에는, 또한 상기 마이크로 렌즈 어레이의 양단부의 칩의 각각 외측의 가장자리부에 정합하는 위치에도노광광투과용의개구형성되어있는것을특징으로 하는노광 장치.
[청구항 5]
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 광원으로부터의 노광 광의 출사를 정지한 상태에서, 상기 제2 방향에 있어서의 상기 기판의 위치를 제어하는 제어 장치를 더 갖고,상기 기판의 상기 제2 방향에서 노광해야 할 영역의 수가 상기 마스크의 상기 제2 방향에서의 패턴수보다도 많을 경우에, 상기 제어 장치는, 상기 기판의 상기 패턴수에 대응하는 영역이 노광된 후, 노광 광의 출사를 정지하고, 상기 기판의 미노광의 영역에 상기 패턴의 정립 등배상이 결상되도록, 상기 기판을 상기 제2 방향으로 이동시켜,노광광의출사재개시키는것을특징으로 하는노광 장치.
[청구항 6]
제5항에 있어서,상기 제어 장치는, 상기 광원으로부터의 노광 광의 출사를 정지한 상태에서, 상기 제1 방향에 있어서의 상기 기판의 위치도 제어 가능하게 구성되어 있고, 상기 기판의 상기 제1 방향에서 노광해야 할 영역의 수가 상기 마스크의 상기 제1 방향에서의 패턴수보다도 많을 경우에, 상기 기판의 상기 패턴수에 대응하는 영역이 노광된 후, 노광 광의 출사를 정지하고, 상기 기판의 미노광의 영역에 상기 패턴의 정립 등배상이 결상되도록, 상기 기판을 상기 제1 방향으로 이동시켜,노광광의출사재개시키는것을특징으로 하는노광 장치.
[청구항 7]
노광 광을 출사하는 광원과, 노광해야 할 복수개의 패턴이 기판의 스캔 방향의 제1 방향에 직교하는 제2 방향으로 소정의 간격을 두고 설치되어 상기 광원으로부터의 노광 광이 상기 패턴을 투과하는 마스크와, 상기 패턴의 정립 등배상을 상기 기판 상에 결상시키는 복수개의 마이크로 렌즈가 배치된 마이크로 렌즈 어레이와, 이 마이크로 렌즈 어레이를 지지하는 프레임 형상의 홀더와, 상기 마이크로 렌즈 어레이 및 상기 광원을 상기 마스크에 대하여 상대적으로 상기 제1 방향으로 이동시키는 구동부를 갖고, 표면에 포지티브 레지스트 재료가 형성된 기판을 노광 광으로 상기 제1 방향으로 스캔해서 노광 패턴을 형성하는 노광 장치에 사용되는 마이크로 렌즈 어레이 구조체로서,
상기 마이크로 렌즈 어레이는, 복수개의 마이크로 렌즈가 설치된 마이크로 렌즈 어레이 칩이 상기 제2 방향으로 접속되어서 구성되어 있고, 상기 홀더에는, 상기 마이크로 렌즈 어레이의 상기 마이크로 렌즈 어레이 칩 사이의 위치에 정합하는 위치에 노광 광 투과용의 개구가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 노광 장치용 마이크로 렌즈 어레이 구조체
[청구항 8]
제7항에 있어서,상기 홀더의 개구는,상기기판의스캔 방향의전방및후방의양쪽의단부형성되어있는것을특징으로 하는노광 장치용 마이크로 렌즈 어레이 구조체.
[청구항 9]
제7항에 있어서,상기 홀더의 개구는,상기기판의스캔 방향의전방및후방의한쪽의단부형성되어있는것을특징으로 하는노광 장치용 마이크로 렌즈 어레이 구조체.
[청구항 10]
제7항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,상기 홀더에는, 또한 상기 마이크로 렌즈 어레이의 양단부의 칩의 각각 외측의 가장자리부에 정합하는 위치에도노광광투과용의개구형성되어있는것을특징으로 하는노광 장치용 마이크로 렌즈 어레이 구조체.
지시문 (instruction)
본문의 내용을 파악하고 이를 바탕으로 질문에 답하라.
질문 (question)
노광 장치에서 기판의 제2 방향에 있는 노광 영역의 수가 마스크의 패턴 수보다 많을 경우, 제어 장치가 수행하는 동작 절차는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation기판의 제2 방향 노광 영역 수가 마스크의 패턴 수보다 많을 때 제어 장치가 수행하는 동작 절차를 파악해야 한다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 5에서 기판의 제2 방향 노광 영역 수가 마스크의 패턴 수보다 많은 경우에 대한 제어 장치의 동작이 명시되어 있다.
- 상기 기판의 상기 제2 방향에서 노광해야 할 영역의 수가 상기 마스크의 상기 제2 방향에서의 패턴수보다도 많을 경우에
- 상기 기판의 상기 패턴수에 대응하는 영역이 노광된 후, 노광 광의 출사를 정지하고, 상기 기판의 미노광의 영역에 상기 패턴의 정립 등배상이 결상되도록, 상기 기판을 상기 제2 방향으로 이동시켜,노광광의출사재개시키는것
-
3근거 선택
evidence_selection제어 장치가 수행하는 구체적인 단계인 '패턴수 대응 영역 노광 후 광 출사 정지', '기판 이동', '광 출사 재개' 구절을 선택한다.
- 상기 기판의 상기 패턴수에 대응하는 영역이 노광된 후, 노광 광의 출사를 정지하고, 상기 기판의 미노광의 영역에 상기 패턴의 정립 등배상이 결상되도록, 상기 기판을 상기 제2 방향으로 이동시켜,노광광의출사재개시키는것
-
4논리 통합
logical_integration기판의 영역이 마스크 패턴보다 많으므로, 기존 패턴을 노광한 뒤 광원을 끄고, 기판을 이동시켜 새로운 영역에 패턴이 오게 한 뒤 다시 광원을 켜는 절차로 연결된다.
-
5결론 도출
conclusion_formulation제어 장치는 패턴수에 대응하는 영역 노광 후 광 출사를 정지하고, 미노광 영역에 패턴이 결상되도록 기판을 제2 방향으로 이동시킨 후 노광 광의 출사를 재개한다.
- 상기 기판의 상기 패턴수에 대응하는 영역이 노광된 후, 노광 광의 출사를 정지하고, 상기 기판의 미노광의 영역에 상기 패턴의 정립 등배상이 결상되도록, 상기 기판을 상기 제2 방향으로 이동시켜,노광광의출사재개시키는것
-
6답변 생성
answer_generation질문에 대해 추출된 절차를 바탕으로 완성된 문장으로 답변을 생성한다.
- 상기 기판의 상기 패턴수에 대응하는 영역이 노광된 후, 노광 광의 출사를 정지하고, 상기 기판의 미노광의 영역에 상기 패턴의 정립 등배상이 결상되도록, 상기 기판을 상기 제2 방향으로 이동시켜,노광광의출사재개시키는것
최종 답변 (final_answer)
제어 장치는 기판의 패턴수에 대응하는 영역이 노광된 후 노광 광의 출사를 정지하고, 기판의 미노광 영역에 패턴의 정립 등배상이 결상되도록 기판을 제2 방향으로 이동시킨 후 노광 광의 출사를 재개한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
마스크의 패턴 수보다 더 많은 영역을 노광해야 할 경우, 기판을 이동시켜 마스크의 패턴과 기판의 미노광 영역을 정렬함으로써 연속적인 노광이 가능하도록 하는 제어 절차를 기술하고 있다.