정전기 클램프 장치 및 리소그래피 장치 document_id 1020137026780

[청구항 1] 리소그래피 장치의 패터닝 디바이스를 지지하도록 구성된 정전기 클램프 장치에 있어서, 지지 구조체 - 상기 지지 구조체에 대하여 상기 패터닝 디바이스가 지지됨 - 상기 지지 구조체와 상기 패터닝 디바이스 사이에 클램핑력(clamping force)을 제공하는 클램핑 전극들; 및 상기 패터닝 디바이스의 형상을 측정하도록 작동가능한 용량성 센서들의 어레이(array of capacitive sensors)를 포함하는 정전기 클램프 장치 [청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 용량성 센서들의 어레이는 상기 패터닝 디바이스의 표면적과 유사한 면적을 갖는 2-차원어레이인정전기 클램프 장치. [청구항 3] 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 용량성 센서들의 어레이는 상기 지지 구조체 내포함되는정전기 클램프 장치. [청구항 4] 제 3 항에 있어서,상기 지지 구조체는 복수의 돌출부들(protuberances)을 갖는 지지면에 제공되고, 상기 복수의 돌출부들에 대하여 상기 패터닝 디바이스가 클램핑되며, 상기 용량성 센서들의 어레이의 별도의 센서가 각각의 돌출부 부근제공되는정전기 클램프 장치. [청구항 5] 제 4 항에 있어서,상기 센서들은 상기 지지면에 적용되어, 각각의 센서가 실질적으로 돌출부 주위적용되는정전기 클램프 장치. [청구항 6] 제 3 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 용량성 센서들의 어레이는 상기 클램핑 전극들과 일체형성되는정전기 클램프 장치. [청구항 7] 제 6 항에 있어서,상기 일체로 형성된 클램핑 전극들/용량성 센서들의 각각에는, 상기 클램핑력의 제공을 위한 dc 전력 공급부, 그리고 상기 용량성 센서들의 어레이로서의 작동을 위한 ac 전력 공급부제공되는정전기 클램프 장치. [청구항 8] 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 패터닝 디바이스는 상기 지지 구조체에 대하여 클램핑되도록 작동가능한 제 1 측, 및 제 2 측을 가지며, 상기 용량성 센서들의 어레이는 상기 제 2 측에 인접하게 위치되고, 상기 제 2 측의 변형을 측정하도록 작동가능한정전기 클램프 장치. [청구항 9] 제 8 항에 있어서,상기 용량성 센서들의 어레이는 레티클 핸들러 내포함되는정전기 클램프 장치. [청구항 10] 제 8 항 또는 제 9 항에 있어서,상기 정전기 클램프 장치는 상기 패터닝 디바이스의 패터닝 표면의 평면에 법선인 방향으로 상기 패터닝 디바이스에 대해 상기 용량성 센서들의 어레이를 이동시키는 액추에이터포함하는정전기 클램프 장치. [청구항 11] 제 8 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 정전기 클램프 장치는 상기 용량성 센서들의 어레이에 대한 상기 패터닝 디바이스의 상대 위치를 측정하도록 작동가능한 폐쇄-루프 제어 시스템포함하는정전기 클램프 장치. [청구항 12] 제 11 항에 있어서,상기 정전기 클램프 장치는 상기 용량성 센서들의 어레이에 대한 상기 패터닝 디바이스의 상대 위치의 상기 측정을 위해 상기 용량성 센서 어레이를 사용하도록 작동가능한정전기 클램프 장치. [청구항 13] 제 8 항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 정전기 클램프 장치는 상기 용량성 센서 어레이가 절대 측정들(absolute measurements)을 수행하도록 작동가능하며, 상기 용량성 센서 어레이는 사전설정된 기준에 대하여 상기 레티클의 형상측정하는정전기 클램프 장치. [청구항 14] 제 8 항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 정전기 클램프 장치는 상기 용량성 센서 어레이가 상대적인 측정들을 수행하도록 작동가능하고, 상기 클램핑 전극들이 제 1 클램핑력을 가하도록 작동될 때 취해지는 제 1 측정들, 그리고 상기 클램핑 전극들이 상기 제 1 클램핑력과 상이한 제 2 클램핑력을 가하도록 작동될 때 취해지는 제 2 측정들로부터 각각의 상대적인 측정지는정전기 클램프 장치. [청구항 16] 제 15 항에 있어서,상기 정전기 클램프 장치는 상기 용량성 센서 어레이가 차동 측정들(differential measurements)을 수행하도록 작동가능하며, 각각의 차동 측정은상기용량성센서어레이의2개의센서들이용하여수행되는정전기 클램프 장치. [청구항 17] 제 8 항 내지 제 16 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 지지 구조체는 복수의 돌출부들을 갖는 지지면에 제공되고, 상기 복수의 돌출부들에 대하여 상기 패터닝 디바이스가 클램핑되며, 별도의 센서가 각각의 돌출부 부근제공되는정전기 클램프 장치. [청구항 18] 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 용량성 센서들의 어레이는 패터닝 디바이스 교체 장치 내에 포함되고, 상기 패터닝 디바이스 교체 장치는 상기 리소그래피 장치의 일부분을 형성하며, 상기 패터닝 디바이스 교체 장치는 패터닝 디바이스를 이동시키고교체하기위한장치인정전기 클램프 장치. [청구항 19] 제 18 항에 있어서,상기 용량성 센서들의 어레이는 평행한 복수의 1d 용량성 센서들의 어레이들포함하는정전기 클램프 장치. [청구항 20] 제 19 항에 있어서,2 개 내지 6 개의 상기1d 용량성 센서들의 어레이들존재하는정전기 클램프 장치. [청구항 21] 제 18 항 내지 제 20 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 패터닝 디바이스 교체 장치는 측정되는 상기 패터닝 디바이스의 표면에 걸쳐 상기 용량성 센서들의 어레이를 스캐닝하도록 작동가능한정전기 클램프 장치. [청구항 22] 제 18 항 내지 제 21 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 정전기 클램프 장치는 상기 레티클에 대한 상기 패터닝 디바이스 교체 장치의 여하한의 의도하지 않은 이동과 레티클 프로파일 간의 차이를 구별하도록 작동가능한정전기 클램프 장치. [청구항 23] 제 22 항에 있어서,상기 차이를 구별하는 것은 알고리즘수행되는정전기 클램프 장치. [청구항 24] 리소그래피 장치에 있어서, 방사선 빔을 컨디셔닝하도록 구성된 조명 시스템 제 1 항 내지 제 23 항 중 어느 한 항에 따른 정전기 클램프 장치 - 패터닝 디바이스는 상기 방사선 빔의 단면에 패턴을 부여하여 패터닝된 방사선 빔을 형성할 수 있음 - 기판을 유지하도록 구성된 기판 테이블; 및 상기 기판의 타겟부 상으로 패터닝된 방사선 빔을 투영하도록 구성된 투영 시스템을 포함하는 리소그래피 장치