문맥 (context)
[청구항 1]
제조 물품으로서,
집적 회로에 대한 설계 엔트리를 저장하는 머신 판독가능 데이터 저장 매체를 포함하고,
상기 설계 엔트리는,
집적 회로 디바이스의 제조 동안 재료 층에 형성되는 복수의 라인들을 포함하는 레이아웃; 및
상기 복수의 라인들의 제조 동안 상기 재료 층 위에 (overlying) 형성되는 마스크 층으로서, 상기 마스크 층은 전체적인 상기 복수의 라인들을 제조하기 위한 단일 에지를 갖는 중간 마스크 엘리먼트를 특정하는, 상기 마스크 층을 포함하는, 제조 물품
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 복수의 라인들에서의 라인들은 실질적으로 합동 (congruent) 인 형상부들갖는,제조 물품.
[청구항 3]
제 1 항에 있어서,상기 복수의 라인들에서의 인접하는 라인들은 상기 중간 마스크 엘리먼트의 상기 단일 에지에 대해 법선인 방향서로 분리되어 있는,제조 물품.
[청구항 4]
제 1 항에 있어서,상기 마스크 층의 상기 단일 에지는 상기 복수의 라인들에서의 특정 라인의 에지정렬되는,제조 물품.
[청구항 5]
제 1 항에 있어서,상기 마스크 층의 상기 단일 에지는 상기 전체적인 복수의 라인들의 형상부들을 나타내는 윤곽갖는,제조 물품.
[청구항 6]
제 1 항에 있어서,상기 마스크 층의 상기 단일 에지는 상기 복수의 라인들 각각의 형상부들을 나타내는 윤곽갖는,제조 물품.
[청구항 7]
제 1 항에 있어서,물리적 레이아웃은 상기 재료 층에서 복수의 제 2 라인들을 더 포함하고,상기 마스크 층은 전체적인 상기 복수의 제 2 라인들을 제조하기 위한 제 2 단일 에지갖는,제조 물품.
[청구항 20]
집적 회로 디바이스로서,
복수의 제 1 라인들에서의 특정 라인의 폭의 적어도 두배의 최소 간격만큼 복수의 제 2 라인들로부터 분리된 상기 복수의 제 1 라인들
제 1 라인 폭 조도 (line width roughness) 및 상기 제 1 라인 폭 조도보다 작은 제 1 라인 에지 조도 (line edge roughness) 를 갖는, 상기 복수의 제 1 라인들에서의 각각의 라인
제 2 라인 폭 조도 및 상기 제 2 라인 폭 조도보다 작은 제 2 라인 에지 조도를 갖는, 복수의 제 2 라인들에서의 각각의 라인; 및
상기 복수의 제 2 라인들에서의 라인들 각각과 상이한 길이방향 곡률 (longitudinal curvature) 을 갖는 상기 제 1 복수의 라인들에서의 모든 라인들을 포함하는, 집적 회로 디바이스
지시문 (instruction)
본문의 내용을 파악하고 이를 바탕으로 질문에 답하라.
질문 (question)
청구항 1의 제조 물품에 포함된 설계 엔트리는 어떤 구성 요소들을 포함하는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation청구항 1에 기재된 제조 물품의 설계 엔트리가 어떤 구성 요소들로 이루어져 있는지 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 1에서 '상기 설계 엔트리는' 뒤에 이어지는 구성 요소들을 추출한다.
- 상기 설계 엔트리는, 집적 회로 디바이스의 제조 동안 재료 층에 형성되는 복수의 라인들을 포함하는 레이아웃; 및 상기 복수의 라인들의 제조 동안 상기 재료 층 위에 (overlying) 형성되는 마스크 층으로서, 상기 마스크 층은 전체적인 상기 복수의 라인들을 제조하기 위한 단일 에지를 갖는 중간 마스크 엘리먼트를 특정하는, 상기 마스크 층을 포함하는
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3근거 선택
evidence_selection설계 엔트리의 구성 요소인 '레이아웃'과 '마스크 층'에 관한 구절을 선택한다.
- 집적 회로 디바이스의 제조 동안 재료 층에 형성되는 복수의 라인들을 포함하는 레이아웃; 및 상기 복수의 라인들의 제조 동안 상기 재료 층 위에 (overlying) 형성되는 마스크 층
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4논리 통합
logical_integration추출된 레이아웃과 마스크 층이 설계 엔트리를 구성하는 두 가지 핵심 요소임을 확인한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation설계 엔트리는 레이아웃과 마스크 층을 포함한다는 결론을 도출한다.
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6답변 생성
answer_generation질문에 따라 리스트 형식으로 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
레이아웃, 마스크 층
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 집적 회로 제조를 위한 설계 데이터를 저장하는 매체로서, 복수의 라인을 포함하는 레이아웃과 특정 중간 마스크 엘리먼트를 정의하는 마스크 층을 설계 엔트리의 구성 요소로 정의한다.