기판의 교환 장치 document_id 1020137032936

[청구항 1] 물체 유지 장치가 갖는 물체 유지 부재 상에 재치된 물체의 교환을 실시하는 물체 교환 시스템으로서, 상기 물체 유지 부재의 상방으로 반입 대상 물체를 반송하는 반입 장치와, 상기 물체 유지 부재의 물체 재치면에 재치된 반출 대상 물체를 상기 물체 유지 부재 상으로부터 상기 물체 재치면을 따른 방향으로 반출하는 반출 장치와, 상기 물체 유지 장치에 형성되고, 상기 반입 대상 물체를 상기 반입 장치로부터 수취하는 물체 수취 장치와, 상기 물체 유지 장치에 형성되고, 상기 반출 장치에 의해 반출되는 상기 반출 대상 물체를 가이드하는 가이드면을 규정하는 가이드 부재를 구비하는, 물체 교환 시스템 [청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 반출 대상 물체는, 상기 물체 유지 부재를 상기 가이드 부재로 하고, 상기 물체 재치면을 상기 가이드면이동되는,물체 교환 시스템. [청구항 3] 제 2 항에 있어서,상기 반출 장치는 상기 반출 대상 물체의 일부를 유지하는 반출 유지 부재를 포함하고,상기 물체 유지 부재에는, 상기 반출 유지 부재가 삽입되는 개구부가 상기 물체 재치면형성되는,물체 교환 시스템. [청구항 4] 제 1 항에 있어서,상기 가이드 부재는 상기 물체 수취 장치에 형성되고,상기 반입 대상 물체는 상기 반입 장치로부터 상기 가이드 부재수수되는,물체 교환 시스템. [청구항 5] 제 4 항에 있어서,상기 가이드 부재는 상기 물체 재치면으로부터 붙어 나온 돌출 위치와 상기 물체 유지 부재 내에 수용된 수용 위치 사이를 이동 가능하게 형성되고,상기 반출 대상 물체는 상기 돌출 위치에 위치된 상기 가이드 부재 상이동하는,물체 교환 시스템. [청구항 6] 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 가이드 부재는 상기 반출 대상 물체를 비접촉지지하는,물체 교환 시스템. [청구항 7] 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 반출 장치는 반출 대상 물체를 상기 물체 재치면에 평행한이차원평면따라이동시키는,물체 교환 시스템. [청구항 8] 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 반입 장치는 상기 물체 재치면에 평행한 이차원 평면을 따라 이동시키고,상기 물체 수취 장치는, 상기 이차원 평면에 직교하는 방향으로 이동 가능한 가동 부재를 갖고, 그 가동 부재를 이용하여 상기 반입 대상 물체를 상기 반입 장치수취하는,물체 교환 시스템. [청구항 9] 제 8 항에 있어서,상기 반입 장치는 상기 반입 대상 물체를 지지하는 지지 부재를 갖고,상기 지지 부재에는, 상기 반입 대상 물체의 반입시에 있어서의 이동 방향 전측에 개구된 절결이 형성되고, 상기 반입 대상 물체의 수수시에 상기 절결 내에 상기 가동 부재삽입되는,물체 교환 시스템. [청구항 10] 제 9 항에 있어서,상기 반입 장치는, 상기 지지 부재의 이동을 안내하는 안내 부재를, 상기 이차원 평면에 평행한 평면 내에서 상기 지지 부재의 이동 방향에 직교하는 방향에 관해서 상기 지지 부재의 일측 및 타측각각에 갖는,물체 교환 시스템. [청구항 11] 제 10 항에 있어서,상기 물체 반입 장치의 지지 부재에 외부 장치로부터 상기 반입 대상 물체를 수수하기 위한 수수 부재가, 상기 지지 부재의 일측 및 타측에 배치된 상기 안내 부재 사이삽입되는,물체 교환 시스템. [청구항 12] 제 1 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 물체 유지 장치는 상기 물체 재치면에 평행한 이차원 평면을 따라 소정의 스트로크로 유도하는 유도 장치를 포함하고,상기 물체 수취 장치는 상기 유도 장치형성되는,물체 교환 시스템. [청구항 13] 제 1 항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 반입 장치로부터 상기 물체 수취 장치로의 상기 반입 대상 물체의 수수가 실시될 때의 상기 물체 유지 장치의 위치와, 상기 반출 장치에 의한 상기 반출 대상 물체의 반출이 실시될 때의 상기 물체 유지 장치의 위치동일한,물체 교환 시스템. [청구항 29] 반입된 물체가 재치되는 물체 재치면을 갖고, 상기 물체 재치면 상에 재치된 상기 물체를 유지 가능한 물체 유지 부재와, 상기 물체 유지 부재가 유지하는 상기 물체를 상기 물체 유지 부재 상으로부터 외부로 반출하는 반출 장치를 구비하는, 물체 유지 장치 [청구항 30] 제 29 항에 있어서,상기 물체 유지 부재의 상기 물체 재치면에는 오목부가 형성되고,상기 반출 장치는 상기 오목부 내수용되는,물체 유지 장치. [청구항 31] 제 30 항에 있어서,상기 반출 장치는 상기 물체 유지 부재의 외측배치되는,물체 유지 장치. [청구항 32] 제 31 항에 있어서,상기 물체 유지 부재를 소정의 이차원 평면을 따라 소정의 스트로크로 유도하는 유도 장치를 추가로 구비하고,상기 반출 장치는 상기 유도 장치형성되는,물체 유지 장치. [청구항 33] 제 29 항 내지 제 32 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 반출 장치는 복수형성되는,물체 유지 장치. [청구항 34] 제 29 항 내지 제 33 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 반출 장치는 상기 물체를 유지하는 유지 장치를 갖고,상기 유지 장치는 상기 물체를 유지 가능한 위치와 상기 물체로부터 이간된 위치 사이를 상기 물체에 대해상대 이동가능하게형성되는,물체 유지 장치. [청구항 35] 제 34 항에 있어서,상기 유지 장치는 상기 물체의 표면에 평행한 방향 및 상기 물체의 표면에 직교하는 방향 중 적어도 일방으로 상대 이동가능한,물체 유지 장치. [청구항 36] 제 29 항 내지 제 35 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 물체 유지 부재는 상기 물체에 소정의 처리가 실시되는 물체 처리 위치와 상기 물체의 반출이 실시되는 물체 반출 위치 사이에서 이동 가능하게 형성되고,상기 반출 장치는, 상기 물체 유지 부재가 상기 물체 반출 위치에 도달하기 전에, 상기 물체를 상기 물체 유지 부재 상으로부터 반출하는 반출 동작개시하는,물체 유지 장치. [청구항 37] 제 29 항 내지 제 36 항 중 어느 한 항에 기재된 물체 유지 장치와, 상기 물체 유지 부재의 상방으로 반입 대상 물체를 반송하는 반입 장치와, 상기 물체 유지 장치에 형성되고, 상기 반입 대상 물체를 상기 반입 장치로부터 수취하는 물체 수취 장치와, 상기 물체 유지 장치에 형성되고, 상기 반출 장치에 의해 반출되는 반출 대상 물체를 가이드하는 가이드면을 규정하는 가이드 부재를 구비하는, 물체 교환 시스템 [청구항 38] 제 37 항에 있어서,상기 반출 대상 물체는, 상기 물체 유지 장치의 상기 물체 유지 부재를 상기 가이드 부재로 하고, 그 물체 유지 부재의 상기 물체 재치면을 상기 가이드면이동하는,물체 교환 시스템. [청구항 39] 제 37 항에 있어서,상기 가이드 부재는 상기 물체 수취 장치에 형성되고,상기 반입 대상 물체는 상기 반입 장치로부터 상기 가이드 부재수수되는,물체 교환 시스템. [청구항 40] 제 39 항에 있어서,상기 가이드 부재는, 상기 물체 재치면으로부터 붙어 나온 돌출 위치와, 상기 물체 유지 부재 내에 수용된 수용 위치 사이를 이동 가능하게 형성되고,상기 반출 대상 물체는 상기 돌출 위치에 위치된 상기 가이드 부재 상이동하는,물체 교환 시스템. [청구항 41] 제 37 항 내지 제 40 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 가이드 부재는 상기 반출 대상 물체를 비접촉지지하는,물체 교환 시스템. [청구항 42] 제 37 항 내지 제 41 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 반출 장치는 상기 반출 대상 물체를 상기 물체 재치면에 평행한이차원평면따라이동시키는,물체 교환 시스템. [청구항 43] 제 37 항 내지 제 42 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 반입 장치는 상기 반입 대상 물체를 상기 물체 재치면에 평행한 이차원 평면을 따라 이동시키고,상기 물체 수취 장치는, 상기 이차원 평면에 직교하는 방향으로 이동 가능한 가동 부재를 갖고, 그 가동 부재를 이용하여 상기 반입 대상 물체를 상기 반입 장치수취하는,물체 교환 시스템. [청구항 44] 제 43 항에 있어서,상기 반입 장치는 상기 반입 대상 물체를 지지하는 지지 부재를 갖고,상기 지지 부재에는, 상기 반입 대상 물체의 반입시에 있어서의 이동 방향 전측에 개구된 절결이 형성되고, 상기 반입 대상 물체의 수수시에 상기 절결 내에 상기 가동 부재삽입되는,물체 교환 시스템. [청구항 45] 제 44 항에 있어서,상기 반입 장치는, 상기 지지 부재의 이동을 안내하는 안내 부재를, 상기 이차원 평면에 평행한 평면 내에서 상기 지지 부재의 이동 방향에 직교하는 방향에 관해서 상기 지지 부재의 일측 및 타측각각에 갖는,물체 교환 시스템. [청구항 46] 제 45 항에 있어서,상기 물체 반입 장치의 지지 부재에 외부 장치로부터 상기 반입 대상 물체를 수수하기 위한 수수 부재가, 상기 지지 부재의 일측 및 타측에 배치된 상기 안내 부재 사이삽입되는,물체 교환 시스템. [청구항 47] 제 37 항 내지 제 46 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 물체 유지 부재를 소정의 이차원 평면을 따라 소정의 스트로크로 유도하는 유도 장치를 추가로 구비하고,상기 물체 수취 장치는 상기 유도 장치형성되는,물체 교환 시스템. [청구항 48] 제 37 항 내지 제 47 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 반출 장치에 의해 반출되는 상기 반출 대상 물체를 상기 가이드 부재와 함께 가이드하고, 상기 물체 유지 장치로부터 반출된 상기 반출 대상 물체를 수취하는 반출용 수취 부재를 추가로 구비하고, 상기 반출용 수취 부재는 상기 물체의 폭보다 광폭으로 설정된 가이드면갖는,물체 교환 시스템. [청구항 49] 제 37 항 내지 제 48 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 반입 장치로부터 상기 물체 수취 장치로의 상기 반입 대상 물체의 수수가 실시될 때의 상기 물체 유지 장치의 위치와, 상기 반출 장치에 의한 상기 반출 대상 물체의 반출이 실시될 때의 상기 물체 유지 장치의 위치동일한,물체 교환 시스템. [청구항 50] 제 29 항 내지 제 36 항 중 어느 한 항에 기재된 물체 유지 장치와, 상기 물체 유지 장치에 유지된 상기 물체에 대해 에너지 빔을 이용하여 소정의 패턴을 형성하는 패턴 형성 장치를 구비하는, 노광 장치 [청구항 51] 제 1 항 내지 제 13 항 및 제 37 항 내지 제 49 항 중 어느 한 항에 기재된 물체 교환 시스템과, 상기 물체 유지 장치에 유지된 상기 물체에 대해 에너지 빔을 이용하여 소정의 패턴을 형성하는 패턴 형성 장치를 구비하는, 노광 장치 [청구항 52] 노광시에 에너지 빔에 대해 물체를 주사 방향으로 이동시키는 주사형 노광 장치로서, 소정의 이차원 평면 내에서 상기 주사 방향에 직교하는 제 1 방향으로 이동 가능한 제 1 이동체와, 상기 제 1 이동체 상에서 상기 주사 방향에 평행한 제 2 방향으로 이동 가능하고 또한 상기 제 1 이동체와 함께 상기 제 1 방향으로 이동 가능한 제 2 이동체와, 상기 물체를 유지 가능하도록 형성되고, 상기 제 2 이동체의 상방에 배치되고, 상기 제 2 이동체의 이동에 의해 상기 물체와 일체적으로 상기 소정의 이차원 평면에 평행한 방향으로 유도되는 물체 유지 장치와, 상기 제 1 이동체에 형성되고, 상기 물체 유지 장치에 대해 상기 물체를 소정의 반출 방향으로 구동하는 반출 장치를 구비하는, 노광 장치 [청구항 53] 제 52 항에 있어서,상기 반출 방향은 상기제 2 방향인,노광 장치. [청구항 54] 제 53 항에 있어서,상기 반출 장치는, 상기 물체를 유지하는 유지 부재와, 상기 유지 부재를 상기 제 2 방향으로 구동하는 구동 장치구비하는,노광 장치. [청구항 55] 제 54 항에 있어서,상기 구동 장치는, 상기 제 2 방향에 관해서, 상기 제 2 이동체의 상기 제 1 이동체 상에 있어서의 이동 가능 범위와 중복하는 위치와 상기 이동 가능 범위의 외측의 위치 사이에서 상기 유지 부재구동하는,노광 장치. [청구항 56] 제 55 항에 있어서,상기 유지 부재는 적어도 노광시에 상기 이동 가능 범위의 외측위치되는,노광 장치. [청구항 57] 제 56 항에 있어서,상기 물체를 상기 물체 유지 장치로부터 이간되는 방향으로 구동하는 물체 구동 장치를 추가로 구비하고,상기 유지 부재는 상기 물체 구동 장치에 의해 구동된 상기 물체와 상기 물체 유지 장치 사이삽입되는,노광 장치. [청구항 58] 제 56 항에 있어서,상기 물체 구동 장치는, 상기 제 2 방향을 따라 연장되고, 상기 물체를 하방으로부터 지지 가능한 제 1 부재와, 상기 제 1 방향에 관해서 상기 물체 유지 장치의 중앙부보다 일측 및 타측의 영역 각각에 형성되고, 상기 제 1 부재를 상기 이차원 평면에 교차하는 방향으로 구동하는 복수의 제 2 부재포함하는,노광 장치. [청구항 59] 제 57 항 또는 제 58 항에 있어서,상기 물체 구동 장치는 상기 물체를 상기 물체 유지 장치로부터 이간시킨 상태로 그 물체를 하방으로부터 비접촉 지지하고,상기 반출 장치는 상기 물체 구동 장치에 의해 비접촉 지지된 상기 물체를 상기 제 2 방향구동하는,노광 장치. [청구항 60] 제 59 항에 있어서,상기 물체 구동 장치는 상기 물체에 대향하는 면으로부터 기체를 분출하여 상기 물체부상시키는,노광 장치. [청구항 61] 제 57 항 내지 제 60 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 반출 장치는 상기 유지 부재를 상기 이차원 평면 내에서 상기 물체 유지 장치에 접근 또는 이간되는 방향으로 구동하는 유지 부재 구동 장치를 추가구비하는,노광 장치. [청구항 62] 제 54 항에 있어서,상기 물체를 상기 물체 유지 장치에 대해 상기 제 2 방향에 교차하는 방향으로 구동하는 물체 구동 장치를 추가로 구비하고,상기 유지 부재는, 상기 물체 중, 상기 물체 구동 장치에 구동됨으로써 상기 물체 유지 장치로부터 돌출된 부분유지하는,노광 장치. [청구항 63] 제 62 항에 있어서,상기 물체 유지 장치는, 상기 물체가 반출 방향으로 구동될 때에, 상기 물체에 대향하는 면으로부터 기체를 분출하여 상기 물체부상시키는,노광 장치. [청구항 64] 제 54 항 내지 제 63 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 유지 부재는 상기 물체를 흡착유지하는,노광 장치. [청구항 65] 제 52 항 내지 제 64 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 물체 유지 장치를 상기 제 2 이동체에 대해 6 자유도 방향으로 미소 구동하는 미소 구동계를 추가구비하는,노광 장치. [청구항 66] 제 52 항 내지 제 65 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 물체 유지 장치와 일체적으로 상기 소정의 이차원 평면에 평행하게 이동 가능하게 형성되고, 상기 물체 유지 장치의 중앙부를 하방으로부터 비접촉으로 지지하는 지지 장치를 추가구비하는,노광 장치. [청구항 67] 제 66 항에 있어서,상기 제 2 방향으로 연장되고, 상기 지지 장치를 하방으로부터 지지하고, 상기 지지 장치가 상기 제 2 방향으로 이동할 때의 가이드면을 규정하는 가이드 부재를 추가로 구비하고,상기 가이드 부재는 상기 지지 장치를 하방으로부터 지지한 상태로 상기 지지 장치와 함께 상기 제 1 방향이동하는,노광 장치. [청구항 68] 제 52 항 내지 제 67 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제 2 이동체는 노광 종료 후에 상기 물체를 노광 종료 위치로부터 그 물체와 다른 물체와의 교환이 실시되는 교환 위치를 향해 유도하고,상기 반출 장치는 상기 물체가 상기 교환 위치에 도달하기 전에 물체의 반출 동작개시하는,노광 장치. [청구항 69] 제 50 항 내지 제 68 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 물체는플랫패널디스플레이장치이용되는기판인,노광 장치.