가공 특허 1020140010362

출원번호: 1020140010362
분류: 전기(H섹션)

문맥 (context)

[청구항 3] 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 제1 세정액 공급 기구 및 상기 제2 세정액 공급 기구는상기연마헤드커버설치되어있는것을특징으로 하는,연마 장치. [청구항 4] 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 제2 세정액 공급 기구는 세정액이 흐르는 세정액 유로와, 상기 세정액 유로에 접속된 복수의 세정 노즐을 구비하고,상기 복수의 세정 노즐의 선단 개구부는 상기 연마 헤드 커버의 내면에 근접 또는 접촉하고, 상기 복수의 세정 노즐은 상기 연마 헤드 커버의 내면을 따라서세정액공급하는것을특징으로 하는,연마 장치. [청구항 5] 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 연마 헤드 커버의 외면 및 내면 중 적어도 하나는친수성의피막피복되어있는것을특징으로 하는,연마 장치. [청구항 6] 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 연마 헤드 커버의 외면 및 내면 중 적어도 하나는발수성의피막피복되어있는것을특징으로 하는,연마 장치. [청구항 7] 제1항에 있어서,상기 볼록부 또는 상기 오목부는, 상기 연마 헤드 커버의 외면의 전체 둘레에 걸쳐서연장되어있는것을특징으로 하는,연마 장치. [청구항 8] 제2항에 있어서,상기 볼록부 또는 상기 오목부는, 상기 연마 헤드 커버의 내면의 전체 둘레에 걸쳐서연장되어있는것을특징으로 하는,연마 장치. [청구항 10] 제9항에 있어서,상기 연마 헤드 커버의 외면nan은친수성의피막피복되어있는것을특징으로 하는,연마 장치. [청구항 11] 제9항에 있어서,상기 연마 헤드 커버의 외면nan은발수성의피막피복되어있는것을특징으로 하는,연마 장치. [청구항 12] 제9항에 있어서,상기 볼록부 또는 상기 오목부는, 상기 연마 헤드 커버의 외면의 전체 둘레에 걸쳐서연장되어있는것을특징으로 하는,연마 장치. [청구항 14] 제13항에 있어서,상기 복수의 세정 노즐은 상기 연마 헤드 커버의 내면에 근접 또는 접촉하고, 상기 연마 헤드 커버의 내면을 따라세정액공급하는것을특징으로 하는,연마 장치. [청구항 15] 제13항에 있어서,상기 연마 헤드 커버의 내면nan은친수성의피막피복되어있는것을특징으로 하는,연마 장치. [청구항 16] 제13항에 있어서,상기 연마 헤드 커버의 내면nan은발수성의피막피복되어있는것을특징으로 하는,연마 장치. [청구항 17] 제13항에 있어서,상기 복수의 세정 노즐은 상기 연마 헤드 커버의 내면을 따라등간격배치되어있는것을특징으로 하는,연마 장치. [청구항 18] 제13항에 있어서,상기 복수의 세정 노즐은, 상기 톱링과 동일한 높이이거나, 또는 상기 톱링보다도상방배치되어있는것을특징으로 하는,연마 장치.

지시문 (instruction)

주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.

질문 (question)

제2 세정액 공급 기구의 구성 요소와 해당 구성 요소들이 연마 헤드 커버의 내면과 맺는 위치 관계 및 동작 방식은 무엇인가?

추론 과정 (compact_reasoning)

1과제 해석task_interpretation

제2 세정액 공급 기구의 구성 요소, 연마 헤드 커버 내면과의 위치 관계, 그리고 동작 방식을 추출해야 한다.
2정보 추출information_extraction

청구항 4를 통해 제2 세정액 공급 기구는 세정액 유로와 복수의 세정 노즐로 구성됨을 확인한다.
- 상기 제2 세정액 공급 기구는 세정액이 흐르는 세정액 유로와, 상기 세정액 유로에 접속된 복수의 세정 노즐을 구비하고
3근거 선택evidence_selection

노즐의 위치 관계(내면에 근접 또는 접촉)와 동작 방식(내면을 따라 세정액 공급)에 관한 구절을 선택한다.
- 상기 복수의 세정 노즐의 선단 개구부는 상기 연마 헤드 커버의 내면에 근접 또는 접촉하고, 상기 복수의 세정 노즐은 상기 연마 헤드 커버의 내면을 따라서세정액공급하는
4논리 통합logical_integration

구성 요소(유로, 노즐)가 연마 헤드 커버 내면에 근접/접촉하여 내면을 따라 세정액을 공급한다는 논리적 관계를 결합한다.
5결론 도출conclusion_formulation

질문에 답변하기 위해 구성 요소, 위치 관계, 동작 방식을 정리하여 결론을 도출한다.
6답변 생성answer_generation

추출된 정보를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.

최종 답변 (final_answer)

제2 세정액 공급 기구는 세정액이 흐르는 세정액 유로와 해당 유로에 접속된 복수의 세정 노즐로 구성된다. 이 중 복수의 세정 노즐의 선단 개구부는 연마 헤드 커버의 내면에 근접하거나 접촉하는 위치 관계를 가지며, 연마 헤드 커버의 내면을 따라 세정액을 공급하는 방식으로 동작한다.

핵심 해석 (core_interpretation)

제2 세정액 공급 기구의 노즐을 연마 헤드 커버 내면에 근접 또는 접촉시켜 내면을 따라 세정액을 공급함으로써 정밀한 세정 동작을 수행하는 기술이다.