박리 장치, 박리 시스템 및 박리 방법 document_id 1020140024402

[청구항 1] 제1 기판과 제2 기판이 접합된 중합 기판 중 상기 제1 기판을 보유 지지하는 보유 지지부와, 상기 중합 기판 중 상기 제2 기판을 흡착하고, 상기 제2 기판을 상기 제1 기판의 판면으로부터 이격하는 방향으로 이동시키는 복수의 흡착 이동부와, 상기 제2 기판의 상기 제1 기판으로부터의 박리 상태를 검지하는 상태 검지부와, 상기 상태 검지부에 의해 검지된 상기 박리 상태에 기초하여, 상기 제2 기판이 상기 제2 기판의 일단으로부터 타단을 향해 상기 제1 기판으로부터 서서히 박리하도록, 상기 흡착 이동부의 동작 타이밍을 제어하는 제어부 를 포함하는 박리 장치 [청구항 2] 제1항에 있어서,상기 흡착 이동부는,상기 제2 기판의 상기 일단측의 주연부를 흡착하고, 상기 일단측의 주연부를 상기 제1 기판의 판면으로부터 이격하는 방향으로 이동시키는 제1 흡착 이동부와,상기 제2 기판의 중앙부 근처의 영역을 흡착하고, 상기 영역을 상기 제1 기판의 판면으로부터 이격하는 방향으로 이동시키는 제2 흡착 이동부를 포함하고,상기 제어부는, 상기 제1 흡착 이동부를 동작시켜, 상기 주연부를 상기 제1 기판의 판면으로부터 이격하는 방향으로 이동시킨 후, 상기 상태 검지부의 검지 결과에 기초하여, 상기 일단측의 주연부와 상기 중앙부 근처의 영역 사이의 소정 위치까지 상기 제2 기판이 박리된 것으로 판정한 경우에, 상기 제2 흡착 이동부를 동작시켜, 상기 중앙부 근처의 영역을 상기 제1 기판의 판면으로부터 이격하는 방향이동시키는,박리 장치. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 흡착 이동부는,상기 제2 기판의 상기 타단측의 주연부를 흡착하고, 상기 타단측의 주연부를 상기 제1 기판의 판면으로부터 이격하는 방향으로 이동시키는 제3 흡착 이동부를 더 포함하고,상기 제어부는, 상기 제2 흡착 이동부를 동작시켜, 상기 중앙부 근처의 영역을 상기 제1 기판의 판면으로부터 이격하는 방향으로 이동시킨 후, 상기 상태 검지부의 검지 결과에 기초하여, 상기 중앙부 근처의 영역과 상기 타단측의 주연부 사이의 소정 위치까지 상기 제2 기판이 박리된 것으로 판정한 경우에, 상기 제3 흡착 이동부를 동작시켜, 상기 타단부측의 주연부를 상기 제1 기판의 판면으로부터 이격하는 방향이동시키는,박리 장치. [청구항 4] 제2항 또는 제3항에 있어서,상기 제2 흡착 이동부는, 상기 일단으로부터 타단을 향하는 방향과 교차하는 방향으로복수배열하여배치되는,박리 장치. [청구항 5] 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제어부는, 상기 상태 검지부의 검지 결과에 기초하여, 상기 제2 기판의 상기 흡착 이동부에 의해 흡착되는 영역이 상기 제1 기판으로부터 박리된 것으로 판정한 경우에, 상기 영역을 흡착하는 상기 흡착 이동부를 동작시켜, 상기 영역을 상기 제1 기판의 판면으로부터 이격하는 방향이동시키는,박리 장치. [청구항 6] 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 상태 검지부는, 소정의 측정 기준 위치로부터 상기 제2 기판까지의 거리계측하는계측부인, 박리 장치. [청구항 7] 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 상태 검지부는,상기 일단으로부터 타단을 향하는 방향과 교차하는 방향으로, 상기 제1 기판과 상기 제2 기판의 접합 부분을 향해 광을 투광하는 투광부와,상기 중합 기판을 사이에 두고 상기 투광부와 반대측에 배치되고, 상기 투광부로부터의 상기 광을 수광하는 수광부포함하는박리 장치. [청구항 8] 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 상태 검지부는, 상기 흡착 이동부의 이동량검출하는이동량 검출부인, 박리 장치. [청구항 9] 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 상태 검지부는, 상기 제2 기판을 상기 제1 기판의 판면으로부터 이격하는 방향으로 이동시킬 때에 상기 흡착 이동부가 상기 제2 기판으로부터 받는 부하검출하는부하 검출부인, 박리 장치. [청구항 10] 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제2 기판의 상기 제1 기판과의 접합면의 전부가 상기 제1 기판으로부터 박리되어 박리가 완료한 것을 검지하는박리완료부를포함하는박리 장치. [청구항 11] 제10항에 있어서,상기 박리 완료 검지부는,상기 일단으로부터 상기 타단을 향하는 방향과 평행한 방향으로, 상기 제1 기판과 상기 제2 기판의 접합 부분을 향해 광을 투광하는 박리 완료 검지용 투광부와,상기 중합 기판을 사이에 두고 상기 박리 완료 검지용 투광부와 반대측에 배치되고, 상기 박리 완료 검지용 투광부로부터의 상기 광을 수광하는 박리 완료 검지용 수광부포함하는박리 장치. [청구항 12] 제10항에 있어서,상기 제어부는, 상기 복수의 흡착 이동부의 전부를 상기 제2 기판에 흡착시켜 상기 제1 기판의 판면으로부터 이격하는 방향으로 이동시키기 전에, 상기 박리 완료 검지부의 검지 결과에 기초하여, 상기 제2 기판의 박리가 완료된 것으로 판정한 경우에는, 흡착 전의 나머지의 상기 흡착 이동부를 상기 제2 기판에 흡착시켜 상기 제1 기판의 판면으로부터 이격하는 방향으로 이동시키는 처리를 중단하여 상기 제2 기판을 상기 제1 기판으로부터 박리하는 처리종료하는,박리 장치. [청구항 13] 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제2 기판이 상기 제1 기판으로부터 박리하는 계기가 되는 부위를 상기 중합 기판에 있어서의 상기 일단부측의 측면에 형성하는박리유인부를포함하는박리 장치. [청구항 14] 제13항에 있어서,상기 박리 유인부는,예리 부재와,상기 제2 기판에 있어서의 상기 제1 기판과 상기 제2 기판의 접합 부분 근처의 측면을 향해 상기 예리 부재를 이동시키는 이동 기구포함하는박리 장치. [청구항 15] 제1 기판과 제2 기판이 접합된 중합 기판이 적재되는 반출입 스테이션과, 상기 반출입 스테이션에 적재된 상기 중합 기판을 반송하는 기판 반송 장치와, 상기 기판 반송 장치에 의해 반송된 상기 중합 기판을 상기 제1 기판과 상기 제2 기판으로 박리하는 박리 장치가 설치되는 박리 스테이션 을 포함하고, 상기 박리 장치는, 상기 중합 기판 중 상기 제1 기판을 보유 지지하는 보유 지지부와, 상기 중합 기판 중 상기 제2 기판을 흡착하고, 상기 제2 기판을 상기 제1 기판의 판면으로부터 이격하는 방향으로 이동시키는 복수의 흡착 이동부와, 상기 제2 기판의 상기 제1 기판으로부터의 박리 상태를 검지하는 상태 검지부와, 상기 상태 검지부에 의해 검지된 상기 박리 상태에 기초하여, 상기 제2 기판이 상기 제2 기판의 일단으로부터 타단을 향해 상기 제1 기판으로부터 서서히 박리하도록, 상기 흡착 이동부의 동작 타이밍을 제어하는 제어부 를 포함하는 박리 시스템