문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 분위기 형성 유닛은,상기 몸체와 상기 지지부재를 서로 연결하는 수평축을 더 포함하되,상기 몸체는 상기 지지부재에 대해 상기 수평축을 중심으로회전가능하도록제공되는기판 처리 장치.
[청구항 3]
제2항에 있어서,상기 지지 부재는,지지대와;상기 지지대에 대한 상기 몸체의 영역별 상대 높이가 조절 가능하도록 상기 지지대를 상기 몸체에 고정시키는 높이 조절 부재더 포함하는기판 처리 장치.
[청구항 4]
제3항에 있어서,상기 높이 조절 부재는,상부에서 바라볼 때 상기 몸체와 중첩되는 상기 지지대의 영역을 관통하도록 상기 지지대에 체결되며, 하단이 상기 몸체에 접촉되는 레벨링 볼트포함하는기판 처리 장치.
[청구항 5]
제4항에 있어서,상기 레벨링 볼트는 복수 개로 제공되며, 상기 레벨링 볼트 중 일부는 상기 수평축의 일측에 해당되는 상기 지지대의 제1영역에 체결되고, 나머지는 상기 수평축의 타측에 해당되는 상기 지지대의 제2영역체결되는기판 처리 장치.
[청구항 6]
제5항에 있어서,상기 수평축은 상기 지지대의 길이 방향에 수직한 방향제공되는기판처리장치.
[청구항 7]
제1항에 있어서,상기 지지부재는,상기 공급관의 외측에서 상기 공급관에 고정 결합되는 내부 바디와;내측면이 상기 상기 내부 바디의 외측면과 대응되는 형상을 가지도록 제공되는 외부 바디를 포함하되,상기 내부 바디는 상기 외부 바디에 대해 회전 가능하도록 상기 외부 바디 내삽입되는기판 처리 장치.
[청구항 8]
제7항에 있어서,상기 내부 바디의 외측면은 구형제공되는기판 처리 장치.
[청구항 9]
제1항내지 제8항 중어느 한 항에 있어서상기 하우징의 상단에 제공되며 제2습도의 가스를 상기 처리공간에 공급하는 기류 공급 유닛을 더 포함하고,상기 제1습도 가스는 상기 제2습도 가스에 비해 낮은 습도제공되는기판 처리 장치.
[청구항 10]
제9항에 있어서,상기 몸체는 하부가 개방된 통 형상을 가지도록 제공되되,상기 분위기 형성 유닛은, 상기 몸체 내에 제공되며 복수의 통공이 형성된 배플을 더 포함하고,상기 몸체의 하단은 상기 기판 지지 유닛에 놓인 기판보다 작은 면적제공되는기판 처리 장치.
[청구항 11]
제10항에 있어서,상기 몸체의 하단은 상기 기판 지지 유닛에 놓인기판상면에대해배치되는기판 처리 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
기판 처리 장치에서 몸체의 영역별 상대 높이를 조절하기 위해 사용되는 높이 조절 부재는 어떤 구성 요소를 포함하며, 상부에서 바라볼 때 지지대와 어떤 관계를 가지는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation높이 조절 부재의 구성 요소와 상부에서 바라볼 때 지지대와의 관계를 추출해야 한다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 3, 4를 통해 높이 조절 부재가 레벨링 볼트를 포함하며, 지지대의 특정 영역을 관통하여 체결된다는 정보를 추출한다.
- 상기 높이 조절 부재는, 상부에서 바라볼 때 상기 몸체와 중첩되는 상기 지지대의 영역을 관통하도록 상기 지지대에 체결되며, 하단이 상기 몸체에 접촉되는 레벨링 볼트 포함하는
-
3근거 선택
evidence_selection질문에 직접적으로 대응하는 '레벨링 볼트' 구성 요소와 '지지대의 영역을 관통하도록 체결'되는 관계를 근거로 선택한다.
- 상기 높이 조절 부재는, 상부에서 바라볼 때 상기 몸체와 중첩되는 상기 지지대의 영역을 관통하도록 상기 지지대에 체결되며, 하단이 상기 몸체에 접촉되는 레벨링 볼트 포함하는
-
4논리 통합
logical_integration높이 조절 부재는 레벨링 볼트로 구성되며, 이 볼트는 상부에서 보았을 때 몸체와 중첩되는 지지대의 영역을 관통하여 체결되는 관계를 가진다.
- 상기 높이 조절 부재는, 상부에서 바라볼 때 상기 몸체와 중첩되는 상기 지지대의 영역을 관통하도록 상기 지지대에 체결되며, 하단이 상기 몸체에 접촉되는 레벨링 볼트 포함하는
-
5결론 도출
conclusion_formulation높이 조절 부재는 레벨링 볼트를 포함하며, 상부에서 바라볼 때 몸체와 중첩되는 지지대의 영역을 관통하도록 지지대에 체결된다.
- 상기 높이 조절 부재는, 상부에서 바라볼 때 상기 몸체와 중첩되는 상기 지지대의 영역을 관통하도록 상기 지지대에 체결되며, 하단이 상기 몸체에 접촉되는 레벨링 볼트 포함하는
-
6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 질문에 대한 최종 답변을 작성한다.
- 상기 높이 조절 부재는, 상부에서 바라볼 때 상기 몸체와 중첩되는 상기 지지대의 영역을 관통하도록 상기 지지대에 체결되며, 하단이 상기 몸체에 접촉되는 레벨링 볼트 포함하는
최종 답변 (final_answer)
높이 조절 부재는 레벨링 볼트를 포함하며, 상부에서 바라볼 때 상기 몸체와 중첩되는 상기 지지대의 영역을 관통하도록 상기 지지대에 체결된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
기판 처리 장치에서 레벨링 볼트를 이용한 높이 조절 부재가 지지대의 특정 영역을 관통하여 체결됨으로써 몸체의 영역별 상대 높이를 조절하는 기술적 구성을 나타낸다.