기판 지지용 보트 및 이를 사용한 지지유닛 document_id 1020140060875

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 연결바에는 상기 기판을 지지하는복수의제2지지핀설치된것을특징으로 하는기판 지지용 보트. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 연결바들 중, 일부는 상호 상이한 간격을 가지고,상이한 간격을 가지는 상기 연결바에 설치된 상기 제 2 지지핀은 ""형상형성된것을특징으로 하는기판 지지용 보트. [청구항 4] 제1항에 있어서,상기 연결바는 상기 메인바의 하측에 위치되고,상기 연결바는 "" 형상으로 형성되어 단부가 상기 메인바각각결합되는것을특징으로 하는기판 지지용 보트. [청구항 5] 제1항에 있어서,쌍의 상기메인바의 일단부측 및 타단부측에는 상기 기판의 모서리부측을 지지하는제3지지핀설치된것을특징으로 하는기판 지지용 보트. [청구항 6] 제1항에 있어서,바의 양단부측에는 로봇의 아암이 삽입되어 걸리는걸림후크각각형성된것을특징으로 하는기판 지지용 보트. [청구항 8] 제7항에 있어서,상기 지지리브에는 상기 크로스 지지바가 삽입 안치되는안치홈형성된것을특징으로 하는기판 지지용 지지유닛. [청구항 9] 제8항에 있어서,상기 안치홈에는 상기 안치홈과 직교하는 걸림홈이 형성되고, 상기 크로스 지지바에는 상기 걸림홈에 삽입되어 걸리는형성된것을특징으로 하는기판 지지용 지지유닛. [청구항 10] 제7항에 있어서,상기 크로스 지지바에는 상기 보트가 상기 크로스 지지바를 따라 유동하는 것을 방지하는 스토퍼가복수개형성된것을특징으로 하는기판 지지용 지지유닛. [청구항 11] 제7항에 있어서,상기 보트는,상호 대향하는 한 쌍으로 마련되어 상기 제 1 지지핀이 각각 설치되며, 일단부측은 상기 챔버의 전면측에 위치된 상기 크로스 지지바에 지지되고 타단부측은 상기 챔버의 후면측에 위치된 상기 크로스 지지바에 지지되는 한 쌍의 메인바;상기 한 쌍의 메인바를 상호 연결하는 복수의 연결바를포함하는것을특징으로 하는기판 지지용 지지유닛. [청구항 12] 제11항에 있어서,바의 일단부측에는 반원판 형상으로 형성되어 상기 챔버의 전면측에 위치된 상기 크로스 지지바에 삽입 지지되는 제 1 지지편이 설치되고,상기 메인바의 타단부측에 위치된 상기 연결바에는 상기 챔버의 후면측에 위치된 상기 크로스 지지바에 탑재 지지되는제2지지편설치된것을특징으로 하는기판 지지용 지지유닛. [청구항 13] 제11항에 있어서,상기 연결바에는 상기 기판을 지지하는복수의제2지지핀설치된것을특징으로 하는기판 지지용 지지유닛. [청구항 14] 제13항에 있어서,상기 연결바들 중, 일부는 상호 상이한 간격을 가지고,상이한 간격을 가지는 상기 연결바에 설치된 상기 제 2 지지핀은 ""형상형성된것을특징으로 하는기판 지지용 지지유닛. [청구항 15] 제11항에 있어서,상기 연결바는 상기 메인바의 하측에 위치되고,상기 연결바는 "" 형상으로 형성되어 단부가 상기 메인바각각결합되는것을특징으로 하는기판 지지용 지지유닛. [청구항 16] 제11항에 있어서,쌍의 상기메인바의 단부측에는 상기 기판의 모서리부측을 지지하는제3지지핀각각설치된것을특징으로 하는기판 지지용 지지유닛. [청구항 17] 제11항에 있어서,상기 보트는 복수개가 하나의 상기 기판을 지지하고,복수의 상기 보트의 메인바들 중, 최외곽에 위치된 상기 메인바에는 상기 기판의 모서리부측을 지지하는제3지지핀각각설치된것을특징으로 하는기판 지지용 지지유닛. [청구항 18] 제11항에 있어서,바의 양단부측에는 로봇의 아암이 삽입되어 걸리는걸림후크각각형성된것을특징으로 하는기판 지지용 지지유닛.