다이 이젝팅 장치 document_id 1020140064995

[청구항 2] 제1항에 있어서,후드 이송 유닛은,상기 후드 또는 교체용 후드를 파지하기 위한 후드 그리퍼;상기 후드 그리퍼를 수직 방향으로 이동시키기 위한 수직 구동부;상기 후드 그리퍼를 수평 방향으로 이동시키기 위한 수평 구동부; 및상기 후드 또는 교체용 후드의 배치각을 조절하기 위하여 상기 후드 그리퍼를 회전시키는 회전 구동부를포함하는것을특징으로 하는다이 이젝팅 장치. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 다이 이젝터의 상부에는 상기 다이싱 테이프를 지지하기 위한 스테이지가 배치되고, 상기 스테이지의 일측에는 복수의 웨이퍼들이 수납되는 카세트가 배치되며, 상기 후드 수납 유닛은 상기 스테이지를 중심으로상기카세트의반대측배치되는것을특징으로 하는다이 이젝팅 장치. [청구항 4] 제3항에 있어서,상기 후드그리퍼는 상기 카세트로부터 상기 웨이퍼들 중 하나를 인출하여 상기 스테이지 상으로 이동시키기 위한 카세트 그리퍼와 함께 상기 수평 구동부에 의해수평방향이동되는것을특징으로 하는다이 이젝팅 장치. [청구항 5] 제2항에 있어서,상기 후드그리퍼는 상기 후드 또는 교체용 후드를 파지하기 위하여 서로 마주하는 한 쌍의 그리핑 부재들을 포함하며, 상기 후드 그리핑 부재들은 그리퍼 구동부에 의해서로반대방향이동되는것을특징으로 하는다이 이젝팅 장치. [청구항 6] 제5항에 있어서,리핑 부재들 사이에는 상기 후드 그리퍼의 하강 높이를 제한하기 위한스토퍼배치되는것을특징으로 하는다이 이젝팅 장치. [청구항 7] 제5항에 있어서,리핑 부재들의 일측에는 상기 후드 또는 교체용 후드를 검출하기 위한제1 센서배치되는것을특징으로 하는다이 이젝팅 장치. [청구항 8] 제5항에 있어서,상기 후드 및 상기 교체용 후드의 외측면에는 그루브가 형성되어 있으며, 상기 그리핑 부재들의 하부에는 상기 그루브와 대응하는 돌출부각각 형성되어 있는 것을특징으로 다이 이젝팅 장치. [청구항 9] 제1항에 있어서,상기 후드 수납 유닛은,원반 형태를 갖는 회전 스테이지;상기 회전 스테이지 상에 장착되며 상기 후드 및 상기 교체용 후드를 각각 수납하기 위한 복수의 후드 수납부들; 및상기 회전 스테이지를 회전시키기 위한 제2 회전 구동부를포함하는것을특징으로 하는다이 이젝팅 장치. [청구항 10] 제9항에 있어서,각각의 상기 후드 수납부들은,상기 후드의 개방된 하부에 삽입되도록 구성된 척; 및상기 척의 측면으로부터 돌출 가능하도록 구성되며 상기 후드의 개방된 하부 내측면에 밀착되어 상기 후드를 파지하기 위한복수의밀착부재들포함하는것을특징으로 하는다이 이젝팅 장치. [청구항 11] 제10항에 있어서,상기 척의 내부에는 수직 방향으로 이동 가능하게 구성되고 소정의 경사도를 갖는 상부 경사 측면이 형성된 피스톤이 구비되며,각각의 상기 밀착 부재들은 상기 후드의 개방된 하부 내측면에 밀착되는 외측면과 상기 피스톤의 상부 경사 측면에 밀착되는 내측면을 갖고, 상기 피스톤의 수직 방향 이동에 의해 상기 후드의 개방된하부내측면밀착되는것을특징으로 하는다이 이젝팅 장치. [청구항 12] 제11항에 있어서,상기 척에는 상기 밀착 부재들의 이동 통로가 구비되며 상기 이동 통로는 상기 척의 내측에서 외측을 향하여 점차 상승되는기울기갖는것을특징으로 하는다이 이젝팅 장치. [청구항 13] 제11항에 있어서,상기 피스톤에는 영구자석이 내장되며 상기 밀착 부재들은 상기 영구자석의 자기력에 의해상기상부경사측면항시밀착되어있는것을특징으로 하는다이 이젝팅 장치. [청구항 14] 제1항에 있어서,상기 코드 리더기의 상부 또는 하부에 배치되며 상기 교체용 후드를 검출하기 위한제2센서더포함하는것을특징으로 하는다이 이젝팅 장치. [청구항 15] 제1항에 있어서,상기 인식 코드는 qr 코드 또는 바코드이며, 상기 코드 리더기는 qr 코드 리더기또는바코드리더기인것을특징으로 하는다이 이젝팅 장치. [청구항 16] 제1항에 있어서,상기 다이 이젝터의 상부에 배치되며 상기 후드 이송 유닛에 의해 교체된 상기 교체용 이젝팅 유닛 및 교체용 후드의 배치각이 올바르게 정렬되었는지를 확인하는비전유닛더포함하는것을특징으로 하는다이 이젝팅 장치.