문맥 (context)
[청구항 1]
다이를 기판 상에 본딩하기 위한 본딩 헤드에 있어서,
상기 다이를 이송하기 위한 구동부에 장착되는 본체
상기 본체의 하부면에 장착되는 판상의 히터
상기 히터의 하부면에 장착되며 진공압을 이용하여 상기 다이를 파지하기 위한 콜릿; 및
상기 본체를 관통하며 상기 히터를 냉각시키기 위한 냉매가 제공되는 적어도 하나의 냉각관을 포함하는 것을 특징으로 하는 본딩 헤드
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 본체의 하부면에는 상기 냉각관이 배치되는적어도하나의냉각채널구비되는것을특징으로 하는본딩 헤드.
[청구항 3]
제2항에 있어서,상기 냉각 채널에는 상기 히터의 상부면과 상기 냉각관 사이에서 열전달을 위한열전달부재배치되는것을특징으로 하는본딩 헤드.
[청구항 4]
제3항에 있어서,상기 열전달 부재는 탄소 나노 튜브를 포함하는 분말을 상기 히터의 상부면과 상기 냉각관 사이에 충전하고, 소결 공정을 수행함형성되는것을특징으로 하는본딩 헤드.
[청구항 5]
제1항에 있어서,상기 냉매는절연 특성갖는것을특징으로 하는본딩 헤드.
[청구항 6]
제1항에 있어서,상기 히터와 상기 콜릿에는 서로 연결되는 관통공들이 각각 구비되며,상기 본체에는 상기 히터의 관통공과 연결되는진공유로구비되는것을특징으로 하는본딩 헤드.
[청구항 7]
제1항에 있어서,상기 히터의 하부면에는 상기 콜릿을 진공 흡착하기 위하여 적어도 하나의 진공 채널이 구비되며,상기 본체에는 상기 진공 채널과 연결되는진공유로구비되는것을특징으로 하는본딩 헤드.
[청구항 8]
제1항에 있어서,상기 본체는,상기 구동부에 장착되는 고정 블록; 및상기 고정 블록의 하부에 장착되는 단열 블록을 포함하되,상기 냉각관은상기단열블록관통하는것을특징으로 하는본딩 헤드.
[청구항 9]
다이를 기판 상에 본딩하기 위한 본딩 헤드를 포함하는 다이 본딩 장치에 있어서
상기 본딩 헤드는,
상기 다이를 이송하기 위한 구동부에 장착되는 본체
상기 본체의 하부면에 장착되는 판상의 히터
상기 히터의 하부면에 장착되며 진공압을 이용하여 상기 다이를 파지하기 위한 콜릿; 및
상기 본체를 관통하며 상기 히터를 냉각시키기 위한 냉매가 제공되는 적어도 하나의 냉각관을 포함하는 것을 특징으로 하는 다이 본딩 장치
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
본딩 헤드에서 히터의 상부면과 냉각관 사이의 열전달을 위해 배치되는 열전달 부재는 어떠한 방식으로 형성되는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation본딩 헤드 내 히터 상부면과 냉각관 사이의 열전달 부재가 형성되는 구체적인 방식을 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 4에서 열전달 부재의 형성 방식에 관한 정보를 추출한다.
- 상기 열전달 부재는 탄소 나노 튜브를 포함하는 분말을 상기 히터의 상부면과 상기 냉각관 사이에 충전하고, 소결 공정을 수행함형성되는것을특징으로 하는본딩 헤드
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3근거 선택
evidence_selection열전달 부재의 형성 과정을 설명하는 핵심 구절을 선택한다.
- 탄소 나노 튜브를 포함하는 분말을 상기 히터의 상부면과 상기 냉각관 사이에 충전하고, 소결 공정을 수행함형성
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4논리 통합
logical_integration분말을 충전한 후 소결 공정을 수행함으로써 열전달 부재가 형성된다는 논리를 구성한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 답변으로 탄소 나노 튜브 포함 분말 충전 및 소결 공정 수행을 도출한다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
탄소 나노 튜브를 포함하는 분말을 상기 히터의 상부면과 상기 냉각관 사이에 충전하고, 소결 공정을 수행함형성
핵심 해석 (core_interpretation)
열전달 효율을 높이기 위해 탄소 나노 튜브 분말을 충전한 후 소결 공정을 통해 열전달 부재를 형성하는 기술적 구성에 관한 것이다.