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반도체 소자 document_id 1020140084619

출원번호
1020140084619
분류
전기(H섹션)
문맥 (context)
[청구항 1] 기판; 상기 기판 상에 있는 핀 구조 상기 핀 구조에 형성된 한 쌍의 소스 및 드레인 상기 핀 구조에서 상기 한 쌍의 소스 및 드레인 사이에 있는 채널 영역 상기 채널 영역 상에 있는 게이트 유전층; 및 상기 게이트 유전층 상에 있는 게이트 라인을 포함하고, 상기 핀 구조는, 펀치 쓰루 방지층 상기 펀치 쓰루 방지층 상부에 실리콘보다 격자 상수가 큰 물질로 이루어진 상부 핀 구조; 및 상기 펀치 쓰루 방지층 하부에 상기 기판과 같은 물질로 이루어진 하부 핀 구조를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 [청구항 2] 제1항에 있어서,상기 펀치 쓰루 방지층은 실리콘 층 또는 실리콘저머늄층중적어도하나포함하는것을특징으로 하는반도체 소자. [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 펀치 쓰루 방지층nan은에피택셜성장층포함하는것을특징으로 하는반도체 소자. [청구항 4] 제1항에 있어서,쌍의 소스 및 드레인은 제1 도전형의 도펀트를 갖고, 상기 채널 영역은제2도전형의도펀트가지는것을특징으로 하는반도체 소자. [청구항 5] 제1항에 있어서,쌍의 소스 및 드레인은 p형도펀트도핑된것을특징으로 하는반도체 소자. [청구항 6] 제1항에 있어서,상기 상부핀 구조는 실리콘저머늄에피택셜성장층포함하는것을특징으로 하는반도체 소자. [청구항 7] 기판; 상기 기판 상에 각각 형성된 n형 트랜지스터 영역 및 p형 트랜지스터 영역 상기 n형 트랜지스터 영역에 형성된 제1 핀 구조 상기 p형 트랜지스터 영역에 형성된 제2 핀 구조 상기 제1 핀 구조 및 상기 제2 핀 구조 상에 있는 게이트 유전층; 및 상기 게이트 유전층 상에 있는 게이트 라인을 포함하고, 상기 제2 핀 구조는, 펀치 쓰루 방지층; 상기 펀치 쓰루 방지층 상부에 실리콘보다 격자 상수가 큰 물질로 이루어진 제2 상부 핀 구조; 및 상기 펀치 쓰루 방지층 하부에 상기 기판과 같은 물질로 이루어진 제2 하부 핀 구조를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 [청구항 8] 제7항에 있어서,상기 제1 핀 구조는 기판과 같은물질포함하는것을특징으로 하는반도체 소자. [청구항 9] 제7항에 있어서,상기 제2 상부핀 구조는 실리콘저머늄에피택셜성장층포함하는것을특징으로 하는반도체 소자. [청구항 10] 기판; 상기 기판 상에 있는 제1 핀 구조; 및 상기 기판 상에 있는 제2 핀 구조를 포함하고, 상기 제2 핀 구조는, 펀치 쓰루 방지층; 상기 펀치 쓰루 방지층 상부에 실리콘보다 격자 상수가 큰 물질로 이루어진 제2 상부 핀 구조; 및 상기 펀치 쓰루 방지층 하부에 상기 기판과 같은 물질로 이루어진 제2 하부 핀 구조를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
청구항 1에 따른 반도체 소자에서 펀치 쓰루 방지층을 기준으로 상부 핀 구조와 하부 핀 구조는 각각 어떠한 물질적 특성을 갖는지 설명하시오.
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    청구항 1을 바탕으로 펀치 쓰루 방지층을 기준으로 상부 핀 구조와 하부 핀 구조의 물질적 특성을 파악해야 한다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    청구항 1에서 상부 핀 구조는 실리콘보다 격자 상수가 큰 물질로 이루어져 있고, 하부 핀 구조는 기판과 같은 물질로 이루어져 있음을 추출한다.

    • 상기 펀치 쓰루 방지층 상부에 실리콘보다 격자 상수가 큰 물질로 이루어진 상부 핀 구조
    • 상기 펀치 쓰루 방지층 하부에 상기 기판과 같은 물질로 이루어진 하부 핀 구조
  3. 3근거 선택evidence_selection

    상부 핀 구조의 특성과 하부 핀 구조의 특성을 명시한 구절을 선택한다.

    • 상기 펀치 쓰루 방지층 상부에 실리콘보다 격자 상수가 큰 물질로 이루어진 상부 핀 구조
    • 상기 펀치 쓰루 방지층 하부에 상기 기판과 같은 물질로 이루어진 하부 핀 구조
  4. 4논리 통합logical_integration

    펀치 쓰루 방지층을 경계로 상부는 실리콘 대비 큰 격자 상수를 가진 물질, 하부는 기판과 동일한 물질이라는 관계를 통합한다.

  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    상부 핀 구조는 실리콘보다 격자 상수가 큰 물질이며, 하부 핀 구조는 기판과 같은 물질이라는 결론을 도출한다.

  6. 6답변 생성answer_generation

    질문에 대해 상부와 하부의 물질적 특성을 구분하여 답변을 작성한다.

최종 답변 (final_answer)
청구항 1에 따르면, 펀치 쓰루 방지층을 기준으로 상부 핀 구조는 실리콘보다 격자 상수가 큰 물질로 이루어져 있으며, 하부 핀 구조는 기판과 같은 물질로 이루어져 있다.
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 펀치 쓰루 방지층을 사이에 두고 상부에는 실리콘과 격자 상수가 다른 물질을, 하부에는 기판과 동일한 물질을 배치하여 핀 구조를 구성하는 기술에 관한 것이다.