문맥 (context)
[청구항 1]
소정의 자기력을 갖는 자성체
상기 자성체를 지지하는 마그넷 서포터
상기 마그넷 서포터를 지지하며, 하나 이상의 개구부를 구비하는 가이드부
상기 개구부를 통과하여 상기 마그넷 서포터에 연결되는 고정부; 및
상기 고정부에 연결되어 상기 개구부가 형성되는 방향을 따른 상기 자성체의 상기 가이드부에 대한 슬라이딩 운동을 제어하는 구동부
를 포함하는, 마그넷 플레이트 조립체
[청구항 2]
제 1항에 있어서,상기 마그넷 서포터는 상기 자성체를 수용하는 제1 홈구비하는,마그넷 플레이트 조립체.
[청구항 3]
제 1항에 있어서,상기 가이드부는 상기 마그넷 서포터를 수용하는 제2 홈을 더 구비하며,상기 제2 홈은 상기 마그넷 서포터의 너비보다 더 큰 너비갖는,마그넷 플레이트 조립체.
[청구항 4]
제 1항에 있어서,상기 가이드부는 상기 구동부를 고정하는 지지대더 구비하는,마그넷 플레이트 조립체.
[청구항 5]
제 1항에 있어서,상기 구동부는 리니어 액츄에이터, 캠 또는 나사포함하는,마그넷 플레이트 조립체.
[청구항 6]
제 1항에 있어서,상기 개구부는 상기 가이드부의 폭 방향 및 길이방향과 상이한 제3 방향형성되는,마그넷 플레이트 조립체.
[청구항 7]
제 6항에 있어서,상기 마그넷 서포터는 상기 가이드부에 대하여 상기 가이드부의 상기 폭 방향 및 상기 길이방향과 각각 상이한 상기 제3 방향으로 이동가능한,마그넷 플레이트 조립체.
[청구항 8]
기판 측으로 증착물질을 방사하는 증착원
상기 증착원과 상기 기판 사이에 개재되어 상기 증착물질을 통과시켜 상기 기판 상에 증착물질을 증착시키는 마스크; 및
상기 기판과 상기 마스크가 접촉하는 면의 반대측 면에 배치되어 상기 마스크에 소정의 자기력을 가하는 제 1항 내지 제 7항 중 어느 한 항의 마그넷 플레이트 조립체
를 포함하는, 증착장치
[청구항 9]
제 8항에 있어서,상기 기판과 상기 마그넷 플레이트 조립체 사이에 개재되어 상기 기판을 가압하는 쿨플레이트더 구비하는,증착장치.
[청구항 10]
챔버 내에서 기판의 일면에 마스크를 배치하는 단계
상기 기판의 타면 방향에 마그넷 플레이트 조립체를 배치하는 단계
구동부를 구동하여 자성체의 배열을 조정하는 단계
상기 챔버 내에 구비된 증착원에서 증발된 증착물질이 상기 마스크에 형성된 슬릿을 통해 상기 기판에 증착되는 단계; 방법
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
마그넷 플레이트 조립체에서 구동부가 자성체의 운동을 제어할 때, 해당 운동이 이루어지는 방향과 가이드부의 개구부가 형성되는 방향 사이의 관계는 어떠한가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation자성체의 운동 방향과 가이드부 개구부가 형성되는 방향 사이의 상관관계를 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 1에서 구동부가 자성체의 슬라이딩 운동을 제어하며, 이 운동은 개구부가 형성되는 방향을 따른다고 명시되어 있다.
- 상기 개구부가 형성되는 방향을 따른 상기 자성체의 상기 가이드부에 대한 슬라이딩 운동을 제어하는 구동부
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3근거 선택
evidence_selection구동부가 제어하는 자성체의 슬라이딩 운동이 개구부가 형성되는 방향을 따른다는 구절을 선택한다.
- 상기 개구부가 형성되는 방향을 따른 상기 자성체의 상기 가이드부에 대한 슬라이딩 운동을 제어하는 구동부
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4논리 통합
logical_integration구동부가 제어하는 자성체의 운동 방향은 가이드부의 개구부가 형성되는 방향과 일치함을 알 수 있다.
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5결론 도출
conclusion_formulation자성체의 운동 방향은 가이드부의 개구부가 형성되는 방향을 따른다.
- 상기 개구부가 형성되는 방향을 따른 상기 자성체의 상기 가이드부에 대한 슬라이딩 운동을 제어하는 구동부
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6답변 생성
answer_generation질문에 대해 자성체의 운동이 개구부가 형성되는 방향을 따른다는 내용을 추출하여 답변을 생성한다.
- 상기 개구부가 형성되는 방향을 따른 상기 자성체의 상기 가이드부에 대한 슬라이딩 운동을 제어하는 구동부
최종 답변 (final_answer)
자성체의 슬라이딩 운동은 상기 개구부가 형성되는 방향을 따른다.
핵심 해석 (core_interpretation)
마그넷 플레이트 조립체에서 구동부는 가이드부의 개구부가 형성된 방향과 동일한 방향으로 자성체의 슬라이딩 운동을 제어하도록 설계되어 있다.