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보틀 교환 장치, 기판 처리 장치, 보틀 교환 방법, 보틀 캡, 보틀 캡 교환 장치 및 보틀 캡 교환 방법 document_id 1020140101738

출원번호
1020140101738
분류
전기(H섹션)
문맥 (context)
[청구항 1] 처리액이 수용되는 보틀을 교환하는 교환 기구를 구비하는 보틀 교환 장치로서, 상기 보틀은, 상기 보틀의 개구부를 밀봉하는 보틀 캡을 구비하고 있고, 상기 보틀 캡은, 상기 보틀 내의 상기 처리액을 상기 보틀 밖으로 공급하기 위한 처리액용 유로를 형성하고, 또한 상기 보틀 내로 연장되는 처리액용 스트로부와, 상기 처리액용 스트로부에서의 상기 보틀 외측의 단부에 설치되는 처리액용 접속부를 구비하고 있고, 상기 교환 기구는, 상기 보틀의 상기 처리액용 접속부와 접속되고, 상기 보틀로부터 공급된 상기 처리액이 유통하는 처리액용 배관을 구비하는 접속 기구부와, 상기 처리액용 접속부와 상기 처리액용 배관을 접속하는 접속 위치로 상기 보틀을 반송하는 보틀 재치부를 구비하는 보틀 교환 장치 [청구항 3] 제 1 항에 있어서,상기 접속 기구부는, 상기 처리액용 배관을 수직 방향을 따라 승강시키는승강부를구비하는보틀 교환 장치. [청구항 4] 제 1 항에 있어서,상기 처리액용 배관에 접속된 상기 보틀 내의 상기 처리액의 양이 소정값 이하가 된 것을 검출하는 잔량 검출부와, 상기 잔량 검출부에 의해 상기 보틀 내의 상기 처리액의 양이 소정값 이하가 된 것이 검출되었을 경우에, 상기 처리액용 배관에 접속된 상기 보틀의 상기 처리액용 접속부와 상기 처리액용 배관과의 접속을 해제하고, 상기 처리액용 배관과 다른 상기 보틀의 상기 처리액용 접속부를 접속하도록 상기 교환 기구를 제어하는접속 제어부를더 구비하는보틀 교환 장치. [청구항 5] 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 교환 기구로 상기 보틀을 반송하고, 상기 교환 기구로부터 소정 위치로 보틀을 반송하는 보틀 반송 기구더 구비하는보틀 교환 장치. [청구항 6] 제 5 항에 있어서,상기 보틀 반송 기구는 크레인, 로봇 암컨베이어인보틀 교환 장치. [청구항 7] 제 5 항에 있어서,상기 교환 기구가 상기 처리액용 배관에 접속된 상기 보틀의 교환을 행할 경우, 상기 처리액용 배관과의 접속이 해제된 상기 보틀을 상기 교환 기구로부터 상기 소정 위치로 반송하고, 다른 상기 보틀을 상기 교환 기구로 반송하도록 상기 보틀 반송 기구를 제어하는 반송 제어부더 구비하는보틀 교환 장치. [청구항 13] 제 12 항에 있어서,상기 처리액용 스트로부의 상기 보틀 외측의 단부에서의 상기 처리액용 유로는 수직 방향을 따라 연장되고, 상기 처리액용 접속부는, 상방향으로부터 상대적으로 근접되는 상기 처리액용 배관접속되는보틀 캡. [청구항 14] 제 12 항에 있어서,상기 처리액용 스트로부의 상기 보틀 외측의 단부에서의 상기 처리액용 유로는 수평 방향을 따라 연장되고, 상기 처리액용 접속부는, 수평 방향을 따라 상대적으로 근접되는 상기 처리액용 배관접속되는보틀 캡. [청구항 15] 제 12 항 내지 제 14 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 처리액용 접속부는, 상기 처리액용 배관이 삽입됨으로써 상기 처리액용 배관접속되는보틀 캡. [청구항 16] 제 12 항 내지 제 14 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 처리액용 유로를 흐르는 상기 처리액을 여과하는 필터더 구비하는보틀 캡. [청구항 17] 제 12 항 내지 제 14 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 처리액용 접속부를 노출 가능하게 덮는 처리액용 커버더 구비하는보틀 캡. [청구항 18] 제 12 항 내지 제 14 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 보틀 밖으로부터 상기 보틀 내로 가스를 공급하기 위한 가스용 유로를 형성하는 가스용 유로 형성부와, 상기 가스용 유로 형성부에서의 상기 보틀 외측의 단부에 설치되고, 상기 보틀로 공급되는 가스가 유통하는 가스용 배관에 접속되는 가스용 접속부를 더 구비하고,상기 가스용 접속부는, 상기 가스용 유로 형성부의 상기 보틀 외측의 단부에서의 상기 가스용 유로의 연장 방향을 따라, 상기 가스용 배관과의 거리를 상대적으로 근접시켜 상대적으로 눌림으로써 상기 가스용 배관접속되는보틀 캡. [청구항 19] 보틀 내의 처리액을 상기 보틀 밖으로 공급하기 위한 처리액용 유로를 형성하고, 또한 상기 보틀 내로 연장되는 처리액용 스트로부와, 상기 처리액용 스트로부에서의 상기 보틀 외측의 단부에 설치되고, 상기 보틀로부터 공급된 상기 처리액이 유통하는 처리액용 배관에 접속되는 처리액용 접속부를 구비한 보틀 캡을 교환하는 보틀 캡 교환 장치로서, 상기 보틀 캡을 상기 보틀로부터 분리하고, 반송시용의 캡이 분리된 다른 보틀에 상기 보틀 캡을 장착하는 제 1 캡 교환 기구와, 상기 반송시용의 캡을 상기 보틀로부터 분리하는 제 2 캡 교환 기구와, 상기 처리액용 스트로부를 세정하는 스트로 세정부를 가지는 보틀 캡 교환 장치
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
보틀 교환 장치에서 잔량 검출부에 의해 보틀 내 처리액이 소정값 이하임이 검출되었을 때, 접속 제어부는 접속 기구부의 구성 요소인 처리액용 배관과 관련하여 어떠한 동작을 수행하는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    잔량 검출부에 의해 처리액이 소정값 이하임이 검출되었을 때, 접속 제어부가 처리액용 배관과 관련하여 수행하는 동작을 파악해야 한다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    청구항 4에서 잔량 검출부의 동작 조건과 접속 제어부의 제어 동작에 관한 정보를 추출한다.

    • 상기 잔량 검출부에 의해 상기 보틀 내의 상기 처리액의 양이 소정값 이하가 된 것이 검출되었을 경우에, 상기 처리액용 배관에 접속된 상기 보틀의 상기 처리액용 접속부와 상기 처리액용 배관과의 접속을 해제하고, 상기 처리액용 배관과 다른 상기 보틀의 상기 처리액용 접속부를 접속하도록 상기 교환 기구를 제어하는접속 제어부
  3. 3근거 선택evidence_selection

    접속 제어부의 구체적인 동작인 '접속 해제' 및 '다른 보틀과의 접속'에 관한 구절을 선택한다.

    • 상기 처리액용 배관에 접속된 상기 보틀의 상기 처리액용 접속부와 상기 처리액용 배관과의 접속을 해제하고, 상기 처리액용 배관과 다른 상기 보틀의 상기 처리액용 접속부를 접속하도록 상기 교환 기구를 제어
  4. 4논리 통합logical_integration

    잔량이 부족하면 현재 보틀의 접속을 끊고, 새로운 보틀의 접속부와 배관을 연결하도록 제어한다는 인과관계를 통합한다.

    • 상기 잔량 검출부에 의해 상기 보틀 내의 상기 처리액의 양이 소정값 이하가 된 것이 검출되었을 경우에, 상기 처리액용 배관에 접속된 상기 보틀의 상기 처리액용 접속부와 상기 처리액용 배관과의 접속을 해제하고, 상기 처리액용 배관과 다른 상기 보틀의 상기 처리액용 접속부를 접속하도록 상기 교환 기구를 제어
  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    접속 제어부는 기존 보틀의 접속을 해제하고 다른 보틀의 접속부와 배관을 접속하도록 교환 기구를 제어한다.

    • 상기 처리액용 배관에 접속된 상기 보틀의 상기 처리액용 접속부와 상기 처리액용 배관과의 접속을 해제하고, 상기 처리액용 배관과 다른 상기 보틀의 상기 처리액용 접속부를 접속하도록 상기 교환 기구를 제어
  6. 6답변 생성answer_generation

    질문에 대하여 접속 제어부의 동작을 명확하게 서술하여 답변을 생성한다.

    • 상기 처리액용 배관에 접속된 상기 보틀의 상기 처리액용 접속부와 상기 처리액용 배관과의 접속을 해제하고, 상기 처리액용 배관과 다른 상기 보틀의 상기 처리액용 접속부를 접속하도록 상기 교환 기구를 제어
최종 답변 (final_answer)
접속 제어부는 상기 처리액용 배관에 접속된 상기 보틀의 상기 처리액용 접속부와 상기 처리액용 배관과의 접속을 해제하고, 상기 처리액용 배관과 다른 상기 보틀의 상기 처리액용 접속부를 접속하도록 상기 교환 기구를 제어한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
보틀 내 처리액 잔량이 부족할 경우, 기존 보틀과 배관의 접속을 해제하고 새로운 보틀의 접속부와 배관을 연결함으로써 처리액 공급을 지속할 수 있도록 하는 자동 교환 제어 기술이다.