공정 폐가스 처리용 스크러버 document_id 1020140116406

[청구항 2] 청구항 1에 있어서,상기 공정 폐가스의 처리 유동 경로 중, 상기 반응부의 상류에 구비되며,상기 공정 폐가스를 설정된 열원에 의해 가열하는 열원부; 및상기 공정 폐가스를 분해 및 냉각시켜 반응 부산물을 포집하는냉각부포함하는것을특징으로 하는공정 폐가스 처리용 스크러버. [청구항 3] 청구항 2에 있어서,상기 열원부는,플라즈마를 발생시키는 플라즈마 토치;유입되는 상기 공정 폐가스를 상기 플라즈마와 접촉시키는 주입 챔버; 및상기 플라즈마와 상기 공정 폐가스가 접촉되어 반응하여 상기 공정 폐가스가 분해되는반응 챔버포함하는것을특징으로 하는공정 폐가스 처리용 스크러버. [청구항 4] 청구항 2에 있어서,상기 냉각부는,상기 열원부에서 유출되는 상기 공정 폐가스가 유입되는 냉각 하우징;유입된 상기 공정 폐가스를 1차로 냉각하여 공정 폐가스의 반응 부산물을 포집하는 제1 냉각판; 및상기 제1 냉각판을 통과한 상기 공정 폐가스를 2차로 냉각하여 상기 공정 폐가스의 반응 부산물을 포집하는제2냉각판포함하는것을특징으로 하는공정 폐가스 처리용 스크러버. [청구항 5] 청구항 4에 있어서,상기 제1 냉각판의 일단과 상기 제2 냉각판의 일 단은 서로 직교하도록구비되는것을특징으로 하는공정 폐가스 처리용 스크러버. [청구항 6] 청구항 5에 있어서,상기제1,2 냉각판은, 각각 복수 개가 설정된 간격을 가지며 적층되어 구비되고,상기 공정 폐가스는, 상기 제1 냉각판을 모두 지난후상기제2냉각판구비되는것을특징으로 하는공정 폐가스 처리용 스크러버. [청구항 7] 청구항 1에 있어서,상기 냉각부와 상기 반응부 사이에 구비되며, 상기 냉각부에서 유출되는 상기 공정 폐가스를 냉각시켜 반응 부산물을 포집한 후 상기 반응부로 전달하는트랩부더포함하는것을특징으로 하는공정 폐가스 처리용 스크러버. [청구항 8] 청구항 1에 있어서,상기 반응부는, 내부가 중공이며, 상기 공정 폐가스가 유입되는 반응 유입구 및 상기 공정 폐가스가 외부로 유출되는 반응 유출구를 포함하는 반응 하우징;판상이며, 상면에서 하면으로 관통되는 다수의 지지홀을 가지며, 상기 반응 하우징 내부에 수직 방향으로 이격되어 형성되는 지지판; 및상기 지지판의 상면에 구비되는 상기 아민계 물질층;으로서 상기 다수의 지지홀을 통하여 공급되는 상기 공정 폐가스가 통과할 수 있는 다공질로 구비되는아민계물질층포함하는것을특징으로 하는공정 폐가스 처리용 스크러버. [청구항 9] 청구항 1에 있어서,상기 아민계 물질은,carbamide(urea), aminobutyric acid, diphenyl amine, (n,n-diamino benzoic acid), glutamic acid, lauryl amine(n-dodecylamine), methylhexan amine, nicotine putrescine stearyl amine(octadecyl amine) 및 tallow amine 중에서 선택되는적어도하나의물질포함하는것을특징으로 하는공정 폐가스 처리용 스크러버. [청구항 10] 청구항 3에 있어서,상기 공정 폐가스는 할로겐족 원소를 포함하고, 상기 주입 챔버 또는 상기 반응 챔버의 내부에 상기 공정 폐가스의 반응성을 증가시키는촉매가스공급되는것을특징으로 하는공정 폐가스 처리용 스크러버. [청구항 11] 청구항 7에 있어서,상기 트랩부의 내부에 상기 공정 폐가스의 반응성을 증가시키는촉매가스공급되는것을특징으로 하는공정 폐가스 처리용 스크러버. [청구항 12] 청구항 1에 있어서,상기 냉각부와 상기 반응부 사이에 구비되며, 상기 냉각부에서 유출되는 상기 공정 폐가스의 파우더 부산물을 필터링하는필터부더포함하는것을특징으로 하는공정 폐가스 처리용 스크러버. [청구항 13] 청구항 7 또는 청구항 12에 있어서,상기 트랩부 및 상기 필터부 중어느 하나와 상기 냉각부는둘이상구비되는것을특징으로 하는공정 폐가스 처리용 스크러버.