문맥 (context)
[청구항 1]
상실 및 하실을 포함하는 챔버
상기 챔버 내에 배치되며 기판을 지지하는 서셉터(susceptor)
상기 서셉터의 상부에 배치되며 상기 기판에 막 형성을 위한 공정가스를 공급하는 가스분사부
상기 챔버 내에 배치되며, 상기 상실과 상기 하실을 구획하는 공간분리부; 및
상기 내로 가스를 공급하는 가스공급부
를 구비하는, 화학기상증착장치
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 챔버 내에, 상기 기판과 상기 가스분사부 사이에 배치되며 상기 기판에 얼라인(align)된 마스크더 포함하는,화학기상증착장치.
[청구항 3]
제2항에 있어서,상기 챔버에 배치되어 상기 상실과 상기 하실의 압력을 조절하는, 압력조절부더 포함하는,화학기상증착장치.
[청구항 4]
제3항에 있어서,상기 압력조절부는 상기 상실배치되는,화학기상증착장치.
[청구항 5]
제3항에 있어서,셉터의 상기 기판이 배치되는 부분이 곡면갖는,화학기상증착장치.
[청구항 6]
제5항에 있어서,셉터의 곡면은 상기 가스분사부가 배치된방향향해볼록한,화학기상증착장치.
[청구항 7]
제3항에 있어서,상기 공간분리부는 상기 마스크의 크기에 따라 중앙부가 개방된 형상갖는,화학기상증착장치.
[청구항 8]
제3항에 있어서,상기 가스공급부는 상기 챔버의 하실에 공정가스공급하는,화학기상증착장치.
[청구항 9]
기판을 준비하는 단계
챔버의 서셉터와 마스크 사이에 기판을 배치하는 단계
서셉터가 마스크가 배치된 방향으로 이동하여, 마스크의 외곽이 공간분리부에 접촉하여 챔버 내부의 공간을 분리시키는 단계
마스크 하측에 배치된 가스분사부를 통해 가스를 주입하여 기판에 증착층을 형성하는 단계
를 포함하는, 디스플레이 장치 제조방법
지시문 (instruction)
주어진 특허 청구항을 읽고 구성요소 사이의 연결 및 상호작용을 분석하여 질문에 답하라. 요구되는 정보를 명확한 구조로 정리하라.
질문 (question)
화학기상증착장치에서 상실과 하실의 압력을 조절하는 구성요소는 어디에 배치되며, 해당 장치의 제조방법 중 공간분리부가 챔버 내부 공간을 분리하는 시점은 언제인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation화학기상증착장치의 압력조절부 배치 위치와 제조방법 중 공간분리부가 챔버 공간을 분리하는 시점을 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 3, 4에서 압력조절부가 상실에 배치됨을 확인하고, 청구항 9에서 공간분리부가 접촉하여 공간을 분리하는 단계를 확인한다.
- 상기 챔버에 배치되어 상기 상실과 상기 하실의 압력을 조절하는, 압력조절부; 상기 압력조절부는 상기 상실배치되는; 마스크의 외곽이 공간분리부에 접촉하여 챔버 내부의 공간을 분리시키는 단계
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3근거 선택
evidence_selection압력조절부의 위치에 대한 근거인 '상기 압력조절부는 상기 상실배치되는'과 공간분리 시점에 대한 근거인 '마스크의 외곽이 공간분리부에 접촉하여 챔버 내부의 공간을 분리시키는 단계'를 선택한다.
- 상기 압력조절부는 상기 상실배치되는; 마스크의 외곽이 공간분리부에 접촉하여 챔버 내부의 공간을 분리시키는 단계
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4논리 통합
logical_integration압력조절부는 상실에 위치하며, 제조 공정 중 서셉터가 이동하여 마스크의 외곽이 공간분리부에 접촉하는 시점에 공간이 분리된다.
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5결론 도출
conclusion_formulation압력조절부의 배치 위치는 상실이며, 공간분리부는 마스크의 외곽이 공간분리부에 접촉할 때 챔버 내부 공간을 분리한다.
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6답변 생성
answer_generation질문에 대해 압력조절부의 위치와 공간분리 시점을 명확히 기술하여 답변을 생성한다.
최종 답변 (final_answer)
압력조절부는 상실에 배치되며, 공간분리부는 마스크의 외곽이 공간분리부에 접촉하는 시점에 챔버 내부 공간을 분리한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 압력조절부를 상실에 배치하여 상실과 하실의 압력을 개별 조절하며, 마스크의 접촉을 통해 챔버 공간을 분리하는 화학기상증착장치 및 그 제조방법에 관한 것이다.