기판 처리 장치 및 토출 검사 장치 document_id 1020140123514

[청구항 1] 기판 처리 장치로서, 기판을 유지하는 기판 유지부와, 상기 기판의 상방에 있어서 복수의 토출구로부터 상기 기판을 향해 액체를 토출하여 상기 기판에 소정의 처리를 행하는 토출 헤드와, 상기 토출 헤드를 상기 기판의 상방으로부터 검사 영역으로 이동시키는 헤드 이동 기구와, 상기 토출 헤드의 상기 복수의 토출구로부터의 액체의 토출 동작을 검사하는 토출 검사 장치를 구비하고, 상기 토출 검사 장치가, 미리 정해진 광 존재면을 따라서 광을 출사함으로써, 상기 검사 영역에 위치하는 상기 토출 헤드의 상기 복수의 토출구로부터 토출되는 액체인 복수의 비상체가 상기 광 존재면을 통과할 때, 상기 복수의 비상체에 광을 조사하는 광출사부와, 상기 광 존재면을 통과하는 상기 복수의 비상체를 촬상함으로써, 상기 복수의 비상체 상에 나타나는 복수의 휘점을 포함하는 검사 화상을 취득하는 촬상부와, 상기 검사 영역 내의 소정의 설계 검사 위치에 위치하는 상기 토출 헤드의 상기 복수의 토출구로부터 액체를 정상적으로 토출한 상태로 상기 광출사부로부터 광을 출사하면서 상기 촬상부에 의해 취득된 화상인 참조 화상을 기억하는 참조 화상 기억부와, 상기 참조 화상 및 상기 검사 화상에 의거해, 상기 검사 화상을 취득했을 때의 상기 토출 헤드의 위치와 상기 설계 검사 위치의 차에 의한 상기 검사 화상의 상기 참조 화상에 대한 상대적인 어긋남을 보정하고, 상기 복수의 토출구에 있어서의 토출 동작의 양부를 판정하는 판정부를 구비하는, 기판 처리 장치 [청구항 2] 청구항 1에 있어서,상기 참조 화상 및 상기 검사 화상에 의거하여 상기 토출 헤드를 상기 설계 검사 위치로 이동시킨 후에 상기 복수의 토출구로부터 액체를 토출하고, 상기 광 존재면을 통과하는 복수의 비상체 상에 나타나는 복수의 휘점을 포함하는 검사 화상을 재취득함으로써, 상기 판정부에 의한 상기 상대적인 어긋남의 보정이 행해지고,상기 판정부가, 재취득된 상기 검사 화상에 의거하여 상기 복수의 토출구에 있어서의 토출 동작의 양부판정하는,기판 처리 장치. [청구항 3] 청구항 2에 있어서,상기 복수의 토출구가, 각각이 토출구 배열 방향으로 직선형으로 배열된 토출구의 집합인 복수의 토출구열을 포함하고,상기 복수의 토출구열이, 상기 토출구 배열 방향에 대해 경사진 방향있는,기판 처리 장치. [청구항 4] 청구항 3에 있어서,상기 헤드 이동 기구에 의해, 상기 토출 헤드가 소정의 회전축을 중심으로 하여 회전함으로써, 상기 기판의 상방과 상기 검사 영역 사이이동하는,기판 처리 장치. [청구항 5] 청구항 4에 있어서,상기촬상부에 있어서의 촬상 방향이, 상기 복수의 비상체의 소정의 토출 방향에 수직인 평면에 대해경사져있는,기판 처리 장치. [청구항 6] 청구항 5에 있어서,상기 광 존재면이, 상기 복수의 비상체의 소정의 토출 방향에 수직인 평면에 대해경사져있는,기판 처리 장치. [청구항 7] 청구항 1에 있어서,상기 복수의 토출구가, 각각이 토출구 배열 방향으로 직선형으로 배열된 토출구의 집합인 복수의 토출구열을 포함하고,상기 복수의 토출구열이, 상기 토출구 배열 방향에 대해 경사진 방향있는,기판 처리 장치. [청구항 8] 청구항 7에 있어서,상기 헤드 이동 기구에 의해, 상기 토출 헤드가 소정의 회전축을 중심으로 하여 회전함으로써, 상기 기판의 상방과 상기 검사 영역 사이이동하는,기판 처리 장치. [청구항 9] 청구항 8에 있어서,상기촬상부에 있어서의 촬상 방향이, 상기 복수의 비상체의 소정의 토출 방향에 수직인 평면에 대해경사져있는,기판 처리 장치. [청구항 10] 청구항 9에 있어서,상기 광 존재면이, 상기 복수의 비상체의 소정의 토출 방향에 수직인 평면에 대해경사져있는,기판 처리 장치. [청구항 11] 청구항 1에 있어서,상기 헤드 이동 기구에 의해, 상기 토출 헤드가 소정의 회전축을 중심으로 하여 회전함으로써, 상기 기판의 상방과 상기 검사 영역 사이이동하는,기판 처리 장치. [청구항 12] 청구항 11에 있어서,상기촬상부에 있어서의 촬상 방향이, 상기 복수의 비상체의 소정의 토출 방향에 수직인 평면에 대해경사져있는,기판 처리 장치. [청구항 13] 청구항 12에 있어서,상기 광 존재면이, 상기 복수의 비상체의 소정의 토출 방향에 수직인 평면에 대해경사져있는,기판 처리 장치. [청구항 14] 청구항 1에 있어서,상기촬상부에 있어서의 촬상 방향이, 상기 복수의 비상체의 소정의 토출 방향에 수직인 평면에 대해경사져있는,기판 처리 장치. [청구항 15] 청구항 14에 있어서,상기 광 존재면이, 상기 복수의 비상체의 소정의 토출 방향에 수직인 평면에 대해경사져있는,기판 처리 장치. [청구항 16] 청구항 1에 있어서,상기 광 존재면이, 상기 복수의 비상체의 소정의 토출 방향에 수직인 평면에 대해경사져있는,기판 처리 장치. [청구항 17] 청구항 1 내지 청구항 16 중 어느 한 항에 있어서,상기 토출 검사 장치가, 상기 검사 화상 상에 있어서 상기 복수의 토출구에 대응하는 복수의 정상 토출 판정 프레임을 설정하는 판정 프레임 설정부를 더 구비하고,상기 판정부가, 상기 검사 화상의 상기 어긋남을 보정한 후, 각 정상 토출 판정 프레임 내에 있어서의 휘점의 존부 정보를 취득하고, 상기 존부 정보에 의거하여 상기 각 정상 토출 판정 프레임에 대응하는 토출구에 있어서의 토출 동작의 양부판정하는,기판 처리 장치. [청구항 18] 청구항 1 내지 청구항 16 중 어느 한 항에 있어서,정부가, 상기 검사 화상의 상기 어긋남을 보정한 후, 상기 참조 화상과 상기 검사 화상의 차에 의거하여 상기 복수의 토출구의 각각에 있어서의 토출 동작의 양부판정하는,기판 처리 장치. [청구항 19] 복수의 토출구로부터의 액체의 토출 동작을 검사하는 토출 검사 장치로서, 미리 정해진 광 존재면을 따라서 광을 출사함으로써, 복수의 토출구로부터 토출되는 액체인 복수의 비상체가 상기 광 존재면을 통과할 때 상기 복수의 비상체에 광을 조사하는 광출사부와, 상기 광 존재면을 통과하는 상기 복수의 비상체를 촬상함으로써, 상기 복수의 비상체 상에 나타나는 복수의 휘점을 포함하는 검사 화상을 취득하는 촬상부와, 상기 복수의 토출구로부터 액체를 정상적으로 토출한 상태로 상기 광출사부로부터 광을 출사하면서 상기 촬상부에 의해 취득된 화상인 참조 화상을 기억하는 참조 화상 기억부와, 상기 참조 화상과 상기 검사 화상의 차에 의거하여 상기 복수의 토출구에 있어서의 토출 동작의 양부를 판정하는 판정부를 구비하는, 토출 검사 장치 [청구항 20] 청구항 19에 있어서,상기 복수의 토출구가, 각각이 토출구 배열 방향으로 직선형으로 배열된 토출구의 집합인 복수의 토출구열을 포함하고,상기 복수의 토출구열이, 상기 토출구 배열 방향에 대해 경사진 방향있는,토출 검사 장치. [청구항 21] 청구항 20에 있어서,정부가, 상기 검사 화상에 있어서의 하나의 휘점과, 상기 참조 화상에 있어서 상기 하나의 휘점에 대응하는 휘점 사이의 거리가, 소정의 거리보다도 큰 경우, 상기 하나의 휘점에 대응하는 토출구에 있어서 경사 토출이 발생판정하는,토출 검사 장치. [청구항 22] 청구항 21에 있어서,상기촬상부에 있어서의 촬상 방향이, 상기 복수의 비상체의 소정의 토출 방향에 수직인 평면에 대해경사져있는,토출 검사 장치. [청구항 23] 청구항 19에 있어서,정부가, 상기 검사 화상에 있어서의 하나의 휘점과, 상기 참조 화상에 있어서 상기 하나의 휘점에 대응하는 휘점 사이의 거리가, 소정의 거리보다도 큰 경우, 상기 하나의 휘점에 대응하는 토출구에 있어서 경사 토출이 발생판정하는,토출 검사 장치. [청구항 24] 청구항 23에 있어서,상기촬상부에 있어서의 촬상 방향이, 상기 복수의 비상체의 소정의 토출 방향에 수직인 평면에 대해경사져있는,토출 검사 장치. [청구항 25] 청구항 19에 있어서,상기촬상부에 있어서의 촬상 방향이, 상기 복수의 비상체의 소정의 토출 방향에 수직인 평면에 대해경사져있는,토출 검사 장치. [청구항 26] 청구항 19 내지 청구항 25 중 어느 한 항에 있어서,상기 광 존재면이, 상기 복수의 비상체의 소정의 토출 방향에 수직인 평면에 대해경사져있는,토출 검사 장치. [청구항 27] 기판 처리 장치로서, 기판을 유지하는 기판 유지부와, 복수의 토출구로부터 상기 기판을 향해 액체를 토출하여 상기 기판에 소정의 처리를 행하는 토출 헤드와, 상기 토출 헤드의 상기 복수의 토출구로부터의 액체의 토출 동작을 검사하는 토출 검사 장치를 구비하고, 상기 토출 검사 장치가, 미리 정해진 광 존재면을 따라서 광을 출사함으로써, 복수의 토출구로부터 토출되는 액체인 복수의 비상체가 상기 광 존재면을 통과할 때 상기 복수의 비상체에 광을 조사하는 광출사부와, 상기 광 존재면을 통과하는 상기 복수의 비상체를 촬상함으로써, 상기 복수의 비상체 상에 나타나는 복수의 휘점을 포함하는 검사 화상을 취득하는 촬상부와, 상기 복수의 토출구로부터 액체를 정상적으로 토출한 상태로 상기 광출사부로부터 광을 출사하면서 상기 촬상부에 의해 취득된 화상인 참조 화상을 기억하는 참조 화상 기억부와, 상기 참조 화상과 상기 검사 화상의 차에 의거하여 상기 복수의 토출구에 있어서의 토출 동작의 양부를 판정하는 판정부를 구비하는, 기판 처리 장치 [청구항 28] 기판 처리 장치로서, 기판을 유지하는 기판 유지부와, 상기 기판을 향해 액체를 토출하여 상기 기판에 소정의 처리를 행하는 토출부와, 상기 토출부로부터의 액체의 토출 동작을 검사하는 토출 검사 장치를 구비하고, 상기 토출 검사 장치가, 미리 정해진 광 존재면을 따라서 광을 출사함으로써, 상기 토출부로부터 토출되는 액체가 상기 광 존재면을 통과할 때 상기 액체에 광을 조사하는 광출사부와, 상기 광 존재면을 통과하는 상기 액체를 촬상함으로써, 상기 액체 상에 나타나는 복수의 휘점이 분포하는 휘점 분포 영역을 포함하는 검사 화상을 취득하는 촬상부와, 상기 검사 화상에 의거하여 상기 토출부에 있어서의 토출 동작의 양부를 판정하는 판정부를 구비하는, 기판 처리 장치 [청구항 29] 청구항 28에 있어서,상기 검사 화상 상에 있어서 정상 토출 판정 프레임을 설정하는 판정 프레임 설정부를 더 구비하고,상기 판정부가, 상기 정상 토출 판정 프레임 내에 있어서의 상기 휘점 분포 영역의 윤곽의 존부 정보를 취득하고, 상기 존부 정보에 의거하여 상기 토출부에 있어서의 토출 동작의 양부판정하는,기판 처리 장치. [청구항 30] 청구항 29에 있어서,상기 토출부가, 상기 액체에 기체를 충돌시켜 생성한 상기 액체의 액적을 분사하는 이류체노즐인,기판 처리 장치. [청구항 31] 청구항 30에 있어서,상기 액체 토출구가 원환형 또한 슬릿형이며,상기 휘점 분포 영역환형인,기판 처리 장치. [청구항 32] 청구항 31에 있어서,상기촬상부에 있어서의 촬상 방향이, 상기 액체의 토출 방향에 수직인 평면에 대해경사져있는,기판 처리 장치. [청구항 33] 청구항 29에 있어서,상기 토출부가 토출구로부터 액체를 기둥형으로 토출하고,상기 휘점 분포 영역이 타원형인,기판 처리 장치. [청구항 34] 청구항 33에 있어서,상기촬상부에 있어서의 촬상 방향이, 상기 액체의 토출 방향에 수직인 평면에 대해경사져있는,기판 처리 장치. [청구항 35] 청구항 28에 있어서,상기 토출부가, 상기 액체에 기체를 충돌시켜 생성한 상기 액체의 액적을 분사하는 이류체노즐인,기판 처리 장치. [청구항 36] 청구항 35에 있어서,상기 액체 토출구가 원환형 또한 슬릿형이며,상기 휘점 분포 영역환형인,기판 처리 장치. [청구항 37] 청구항 36에 있어서,상기촬상부에 있어서의 촬상 방향이, 상기 액체의 토출 방향에 수직인 평면에 대해경사져있는,기판 처리 장치. [청구항 38] 청구항 28에 있어서,상기 토출부가 토출구로부터 액체를 기둥형으로 토출하고,상기 휘점 분포 영역이 타원형인,기판 처리 장치. [청구항 39] 청구항 38에 있어서,상기촬상부에 있어서의 촬상 방향이, 상기 액체의 토출 방향에 수직인 평면에 대해경사져있는,기판 처리 장치. [청구항 40] 청구항 28에 있어서,상기촬상부에 있어서의 촬상 방향이, 상기 액체의 토출 방향에 수직인 평면에 대해경사져있는,기판 처리 장치. [청구항 41] 청구항 28 내지 청구항 40 중 어느 한 항에 있어서,상기 광 존재면이, 상기 액체의 토출 방향에 수직인 평면에 대해경사져있는,기판 처리 장치.