문맥 (context)
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 승강구동부는, 승강구동축과, 상기 승강구동축을 따라 상하로 승강구동되는 승강구동브라켓과, 상기 승강구동브라켓에 체결되며 상기 쉴드튜브내에서 상기 씰링부에 연결되는 씨일플랜지구비하는것을특징으로 하는유기금속화학기상증착장치.
[청구항 3]
제 2 항에 있어서,상기 씨일플랜지는상기쉴드튜브결합되는것을특징으로 하는유기금속화학기상증착장치.
[청구항 4]
제 1 항에 있어서,상기 이송챔버는, 상기 기판수용챔버와 연통하는 이송개구를 갖는 이송챔버 본체와, 상기 이송챔버 내에 배치되며 기판이 안착된 서셉터가 저장되는 카세트와, 상기 서셉터를 이송하는이송로봇구비하는것을특징으로 하는유기금속화학기상증착장치.
[청구항 5]
제 1 항에 있어서,상기 이송챔버는 상기 기판수용챔버에 형성된 이송개구와 연통되는 이송개구를 가지며, 상기 이송챔버의 상기 이송개구를 개폐하는슬릿밸브더욱구비하는것을특징으로 하는유기금속화학기상증착장치.
[청구항 6]
제 1 항에 있어서,상기 기판수용챔버에 설치되며 상기 이송개구를 개폐하고 내부에 냉각매체가 유동하는 냉각유로를 갖는냉각셔터더욱구비하는것을특징으로 하는유기금속화학기상증착장치.
[청구항 7]
제 1 항에 있어서,상기 히터블럭에는 중앙에 형성되며 상부를 향하여 돌출되는 히터블럭돌기가 형성되고, 상기 서셉터는 상기 히터블럭돌기가 삽입되는서셉터중앙홈형성되는것을특징으로 하는유기금속화학기상증착장치.
[청구항 8]
제 2 항에 있어서,상기 씨일플랜지와 상기 승강구동브라켓의 사이에는, 상기 승강구동브라켓에 체결되는 텐션블럭과, 상기 텐션블럭을 상기 씨일플랜지에 고정하는 텐션볼트와, 상기 텐션블럭과 상기 씨일플랜지 사이에 배치되어 인장력을 가하는 텐션스프링을 구비하여 상기 씰링부가상기바닥플랜지부밀봉되도록하는것을특징으로 하는유기금속화학기상증착장치.
[청구항 9]
제 2 항에 있어서,상기 씨일플랜지에는 상기 바닥플랜지부에 맞닿는 부분에복수배치되는것을특징으로 하는유기금속화학기상증착장치.
[청구항 10]
제 2 항에 있어서,상기 샤프트의 끝단을 씰링부에 체결하는 레벨링 플랜지와, 상기 레벨링 플랜지를 가압하는 레벨링 볼트를 구비하여, 상기 샤프트의 교체후에 상기 레벨링 볼트를 조절하여 상기 샤프트가 지지하는히터블럭의수평도조절하는것을특징으로 하는유기금속화학기상증착장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
유기금속화학기상증착장치의 승강구동부 구성 요소 중, 씨일플랜지와 승강구동브라켓 사이에서 텐션스프링을 통해 인장력을 가함으로써 씰링부가 바닥플랜지부에 밀봉되도록 하는 구성은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation승강구동부 구성 요소 중 씨일플랜지와 승강구동브라켓 사이에서 텐션스프링을 통해 인장력을 가하여 씰링부를 밀봉하는 구성을 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 8에서 씨일플랜지와 승강구동브라켓 사이의 구성 요소들을 확인한다.
- 상기 씨일플랜지와 상기 승강구동브라켓의 사이에는, 상기 승강구동브라켓에 체결되는 텐션블럭과, 상기 텐션블럭을 상기 씨일플랜지에 고정하는 텐션볼트와, 상기 텐션블럭과 상기 씨일플랜지 사이에 배치되어 인장력을 가하는 텐션스프링을 구비하여 상기 씰링부가상기바닥플랜지부밀봉되도록하는것을특징으로 하는유기금속화학기상증착장치
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3근거 선택
evidence_selection텐션스프링이 포함되어 인장력을 가하고 씰링부를 밀봉하도록 하는 구체적인 구성들을 선택한다.
- 상기 텐션블럭과 상기 씨일플랜지 사이에 배치되어 인장력을 가하는 텐션스프링을 구비하여 상기 씰링부가상기바닥플랜지부밀봉되도록하는것
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4논리 통합
logical_integration텐션스프링이 작동하기 위해 필요한 텐션블럭과 텐션볼트가 포함된 전체 구성을 통합한다.
- 상기 승강구동브라켓에 체결되는 텐션블럭과, 상기 텐션블럭을 상기 씨일플랜지에 고정하는 텐션볼트와, 상기 텐션블럭과 상기 씨일플랜지 사이에 배치되어 인장력을 가하는 텐션스프링
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에서 요구하는 인장력을 가하여 밀봉을 수행하는 구성은 텐션블럭, 텐션볼트, 텐션스프링의 조합임을 도출한다.
- 상기 텐션블럭과 상기 씨일플랜지 사이에 배치되어 인장력을 가하는 텐션스프링을 구비하여 상기 씰링부가상기바닥플랜지부밀봉되도록하는것
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6답변 생성
answer_generation추출된 구성 요소들을 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
- 상기 승강구동브라켓에 체결되는 텐션블럭과, 상기 텐션블럭을 상기 씨일플랜지에 고정하는 텐션볼트와, 상기 텐션블럭과 상기 씨일플랜지 사이에 배치되어 인장력을 가하는 텐션스프링
최종 답변 (final_answer)
상기 승강구동브라켓에 체결되는 텐션블럭과, 상기 텐션블럭을 상기 씨일플랜지에 고정하는 텐션볼트와, 상기 텐션블럭과 상기 씨일플랜지 사이에 배치되어 인장력을 가하는 텐션스프링
핵심 해석 (core_interpretation)
텐션블럭, 텐션볼트 및 텐션스프링을 이용하여 씨일플랜지와 승강구동브라켓 사이에 인장력을 가함으로써 씰링부의 밀봉 성능을 확보하는 기술이다.