문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 제1 개구는 상기 분사홀의 상기 분사판의 일부가 노출되도록 상기 분사홀보다 큰 크기로 형성되고,상기 제2 개구는 상기 제1 개구를 형성하는 상기 절연부의 일부가 노출되도록 상기 제1 개구보다 큰 크기형성되는원자층 증착장치용 가스공급장치.
[청구항 3]
제2항에 있어서,상기 분사홀과 상기 제1 개구 및 상기 제2 개구는 상기 기판의 회전 반경에 대해서 일정 각도로 교차하는 복수의 사선 상에 배치되며, 상기 복수의 사선은동일간격평행하게형성되는원자층 증착장치용 가스공급장치.
[청구항 4]
제3항에 있어서,상기 분사홀과 상기 제1 개구 및 상기 제2 개구는 상기 기판의 회전 반경 방향을 따라 동일 개수배치되는원자층 증착장치용 가스공급장치.
[청구항 5]
제1항에 있어서,상기 제1 개구와 상기 제2 개구는 상기 분사홀의 면적보다 큰 개구 면적형성된원자층 증착장치용 가스공급장치.
[청구항 6]
제1항에 있어서,상기 제1 개구와 상기 제2 개구는 원형 또는 다각형형성된원자층 증착장치용 가스공급장치.
[청구항 7]
제1항에 있어서,상기 절연부는 세라믹 재질 또는 비금속 재질형성되는원자층 증착장치용 가스공급장치.
[청구항 8]
제1항에 있어서,상기 분사판은 금속 재질형성되는원자층 증착장치용 가스공급장치.
[청구항 10]
제9항에 있어서,상기 제1 개구는 상기 분사홀의 상기 분사판의 일부가 노출되도록 상기 분사홀보다 큰 크기로 형성되고,상기 제2 개구는 상기 제1 개구를 형성하는 상기 절연부의 일부가 노출되도록 상기 제1 개구보다 큰 크기형성되는원자층 증착장치.
[청구항 11]
제10항에 있어서,상기 제1 개구와 상기 제2 개구 내부에서 플라즈마발생되는원자층 증착장치.
[청구항 12]
제10항에 있어서,상기 분사홀과 상기 제1 개구 및 상기 제2 개구는 상기 기판의 회전 반경에 대해서 일정 각도로 교차하는 복수의 사선 상에 배치되며, 상기 복수의 사선은동일간격평행하게형성되는원자층 증착장치.
[청구항 13]
제12항에 있어서,상기 분사홀과 상기 제1 개구 및 상기 제2 개구는 상기 기판의 회전 반경 방향을 따라 동일 개수배치되는원자층 증착장치.
[청구항 14]
제9항에 있어서,상기 제1 개구와 상기 제2 개구는 상기 분사홀의 면적보다 큰 개구 면적형성된원자층 증착장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
가스공급장치의 제1 개구와 제2 개구는 각각 어떤 구성 요소의 일부가 노출되도록 형성되며, 각 개구의 크기 관계는 어떠한가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation가스공급장치의 제1 개구와 제2 개구가 노출시키는 구성 요소와 두 개구 사이의 크기 관계를 파악해야 한다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 2를 통해 제1 개구는 분사판의 일부를 노출시키며 분사홀보다 크고, 제2 개구는 절연부의 일부를 노출시키며 제1 개구보다 크다는 정보를 추출한다.
- 상기 제1 개구는 상기 분사홀의 상기 분사판의 일부가 노출되도록 상기 분사홀보다 큰 크기로 형성되고,상기 제2 개구는 상기 제1 개구를 형성하는 상기 절연부의 일부가 노출되도록 상기 제1 개구보다 큰 크기형성되는
-
3근거 선택
evidence_selection제1 개구의 노출 대상(분사판), 제1 개구의 크기(분사홀보다 큼), 제2 개구의 노출 대상(절연부), 제2 개구의 크기(제1 개구보다 큼)에 관한 구절을 선택한다.
- 상기 제1 개구는 상기 분사홀의 상기 분사판의 일부가 노출되도록 상기 분사홀보다 큰 크기로 형성되고,상기 제2 개구는 상기 제1 개구를 형성하는 상기 절연부의 일부가 노출되도록 상기 제1 개구보다 큰 크기형성되는
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4논리 통합
logical_integration제1 개구는 분사판을 노출하며 분사홀보다 크고, 제2 개구는 절연부를 노출하며 제1 개구보다 큰 계층적 크기 관계를 가짐을 통합한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation제1 개구는 분사판의 일부가 노출되도록 분사홀보다 크게 형성되고, 제2 개구는 절연부의 일부가 노출되도록 제1 개구보다 크게 형성된다.
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6답변 생성
answer_generation질문에 명시된 두 가지 요소(노출 구성 요소, 크기 관계)를 포함하여 구조화된 답변을 생성한다.
최종 답변 (final_answer)
{
"제1_개구": {
"노출_구성_요소": "분사판의 일부",
"크기_관계": "분사홀보다 큰 크기"
},
"제2_개구": {
"노출_구성_요소": "절연부의 일부",
"크기_관계": "제1 개구보다 큰 크기"
}
}
핵심 해석 (core_interpretation)
가스공급장치에서 제1 개구와 제2 개구는 각각 분사판과 절연부의 일부를 노출시키며, 분사홀 < 제1 개구 < 제2 개구 순으로 크기가 점진적으로 커지는 계층적 구조를 가진다.