문맥 (context)
[청구항 1]
기판을 연마하는 연마 유닛과,
상기 연마 유닛에 의해 연마 처리된 기판을 세정 및 건조하는 세정 유닛과,
상기 연마 유닛 및 상기 세정 유닛 내에서 기판의 반송을 행하는 반송 유닛과,
상기 기판마다 상기 연마 유닛, 상기 세정 유닛 및 상기 반송 유닛에 있어서의 체재 시간을 계측하는 계측부와,
상기 계측부에 의해 계측된 체재 시간과 상기 연마 유닛, 상기 세정 유닛 및 상기 반송 유닛에 대해 개별로 설정된 설정 시간을 비교하여, 상기 체재 시간이 상기 설정 시간을 초과하면 에러가 발생하고 있다고 판정하는 판정부를 구비한 것을 특징으로 하는, 기판 처리 장치
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 연마 유닛에 기판을 전달함과 함께 상기 세정 유닛에 의해 세정 및 건조 처리된 기판을 수취하는 로드/언로드 유닛을 더 구비하고,상기 반송 유닛은, 상기 연마 유닛, 상기 세정 유닛 및 상기 로드/언로드 유닛 내에서기판의반송행하는것을특징으로 하는,기판 처리 장치.
[청구항 3]
제1항 또는 제2항에 있어서,정부에 의해 에러가 발생하고 있다고 판정되면, 표시 인터페이스 상에 상기 기판 처리 장치를 본뜬 화상을 표시함과 함께, 상기 기판 처리 장치를 본뜬 화상 상에 상기 에러의 대상으로 된 기판이 체재하고 있는 유닛을 특정하는 화상을 표시하는에러 처리부더구비하는것을특징으로 하는,기판 처리 장치.
[청구항 4]
제3항에 있어서,상기 에러 처리부는, 상기 판정부에 의해 에러가 발생하고 있다고 판정되면, 상기 기판 처리 장치를 본뜬 화상에 포함되는 복수의 유닛 중으로부터 상기 체재 시간이 상기 설정 시간을 초과하는 원인으로 된 유닛을 특정하고, 상기 특정된 유닛을 다른 유닛과 식별 가능하게표시하는것을특징으로 하는,기판 처리 장치.
[청구항 5]
제3항에 있어서,상기 에러 처리부는, 상기 판정부에 의해 에러가 발생하고 있다고 판정되면, 상기 표시 인터페이스 상에 상기 에러의 대상으로 된기판의반송루트표시하는것을특징으로 하는,기판 처리 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
기판 처리 장치에서 판정부가 에러를 판정하기 위해 계측부로부터 전달받은 데이터와 비교하는 기준은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation판정부가 에러를 판정하기 위해 계측부로부터 받은 데이터(체재 시간)와 비교하는 기준이 무엇인지 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 1에서 판정부가 계측된 체재 시간과 비교하는 대상인 '설정 시간'을 추출한다.
- 상기 계측부에 의해 계측된 체재 시간과 상기 연마 유닛, 상기 세정 유닛 및 상기 반송 유닛에 대해 개별로 설정된 설정 시간을 비교하여
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3근거 선택
evidence_selection비교의 기준이 되는 구절인 '개별로 설정된 설정 시간'을 선택한다.
- 상기 연마 유닛, 상기 세정 유닛 및 상기 반송 유닛에 대해 개별로 설정된 설정 시간
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4논리 통합
logical_integration판정부는 계측된 체재 시간이 설정 시간을 초과하는지를 확인하여 에러를 판정하므로, 비교 기준은 설정 시간이다.
- 상기 체재 시간이 상기 설정 시간을 초과하면 에러가 발생하고 있다고 판정하는
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 답변으로 '연마 유닛, 세정 유닛 및 반송 유닛에 대해 개별로 설정된 설정 시간'을 도출한다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
상기 연마 유닛, 상기 세정 유닛 및 상기 반송 유닛에 대해 개별로 설정된 설정 시간
핵심 해석 (core_interpretation)
기판 처리 장치에서 각 유닛별로 설정된 기준 시간(설정 시간)과 실제 체재 시간을 비교함으로써, 체재 시간 초과 시 에러를 판정하는 기술적 메커니즘을 나타낸다.