다이 이젝팅 장치 document_id 1020140173592

[청구항 1] 다이싱 테이프에 부착된 다이보다 작은 상부 영역과 상부가 개방된 제1 챔버를 갖는 제1 이젝터 및 상기 제1 챔버 내에 배치되며 복수의 에어홀들을 갖는 제2 이젝터를 포함하는 이젝팅 유닛 상기 이젝팅 유닛이 수직 방향으로 삽입되는 개구와 상기 개구 주위에 구비되며 상기 다이싱 테이프를 흡착하기 위한 복수의 진공홀들을 갖는 후드 상기 후드 및 상기 이젝팅 유닛과 결합되며 상기 제2 이젝터가 상기 제1 이젝터보다 높게 상승되도록 상기 이젝팅 유닛을 상승시키는 구동부를 포함하는 본체; 및 상기 에어홀들과 상기 진공홀들 및 상기 제1 이젝터와 제2 이젝터 사이의 갭을 통해 상기 다이싱 테이프의 하부면에 음압을 제공하고 이어서 상기 에어홀들을 통해 상기 다이싱 테이프의 하부면에 양압을 제공하는 압력 조절부를 포함하는 것을 특징으로 하는 다이 이젝팅 장치 [청구항 2] 제1항에 있어서,상기제1 이젝터는, 상기 제1 챔버를 갖는 제1 이젝팅 부재와, 상기 제1 이젝팅 부재의 하부와 연결되며 상기 제1 챔버와 수직 방향으로 연통하는 관통홀이 형성된 제1 서포트 부재를 포함하며,상기 제2 이젝터는, 상기 에어홀들 및 상기 에어홀들과 연통하는 제2 챔버를 갖는 제2 이젝팅 부재와, 상기 제1 서포트 부재 아래에 배치되며 상기 제2 이젝팅 부재의 하부와 연결되는 제2 서포트 부재를 포함하되,상기 제2 이젝팅 부재는 상기 제1 이젝팅부재의제1챔버및상기제1서포트부재의관통홀내배치되는것을특징으로 하는다이 이젝팅 장치. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기제1 이젝팅 부재는 상부가 개방된 사각 튜브 형태를 갖고, 상기 제2 이젝팅 부재는 상부가 닫힌 사각 튜브 형태를 가지며, 상기 에어홀들은 상기 제2 이젝팅 부재의 닫힌상부형성된것을특징으로 하는다이 이젝팅 장치. [청구항 4] 제3항에 있어서,상기제1 및 제2 이젝팅 부재들은 상기 후드의 개구 내에 삽입되며, 상기 제1 및 제2 이젝팅 부재들의 외측면 모서리 부위들은 둥근 형태로모따처리되는것을특징으로 하는다이 이젝팅 장치. [청구항 5] 제2항에 있어서,상기제1 이젝팅 부재의 내측면 또는 상기 제2 이젝팅 부재의 외측면에는 상기 음압을 제공하기 위하여복수의진공슬롯들구비되는것을특징으로 하는다이 이젝팅 장치. [청구항 6] 제2항에 있어서,상기제1 이젝팅 부재의 외측면에는 상기 음압을 제공하기 위하여복수의진공슬롯들구비되는것을특징으로 하는다이 이젝팅 장치. [청구항 7] 제2항에 있어서,상기 제1 서포트 부재와 제2 서포트 부재는 각각 디스크 형태를 가지며, 상기 제1 서포트 부재와 제2 서포트 부재 사이에는탄성부재배치되는것을특징으로 하는다이 이젝팅 장치. [청구항 8] 제1항에 있어서,상기 에어홀들은 상기 이젝팅 유닛의 중심축을 기준으로상방외측형성되는것을특징으로 하는다이 이젝팅 장치. [청구항 9] 제1항에 있어서,상기 후드는,상기 개구와 진공홀들이 구비된 상부 패널; 및상기 상부 패널의 가장자리로부터 하방으로 연장하며 상기 본체와 결합되는 하우징을 포함하며,상기 진공홀들은 상기 상부 패널과 상기 하우징에 의해 한정되는 제3 챔버와 연통되며, 상기 이젝팅 유닛은상기후드내부배치되는것을특징으로 하는다이 이젝팅 장치. [청구항 10] 제9항에 있어서,상기 상부 패널의 상부면에는 상기 진공홀들 중 상기 개구와 인접하는 일부 진공홀들을 서로 연결하는적어도하나의진공채널구비된것을특징으로 하는다이 이젝팅 장치.