커브드 이미지 센서, 그 제조방법 및 이를 구비한 전자장치 document_id 1020140180216

[청구항 1] 지지기판; 상기 지지기판 상에 형성된 본딩패턴 상기 지지기판 상부에서 상기 본딩패턴에 접하고 만곡된 광 입사면을 갖는 센서기판; 및 상기 지지기판 상에 형성되어 센서기판의 가장자리를 둘러싸는 고정패턴 을 포함하는 커브드 이미지 센서 [청구항 2] 제1항에 있어서,상기 센서기판, 상기 지지기판 및 상기 고정패턴에 의한 밀폐된 공동을 더 포함하고, 상기 밀폐된 공동은 외부보다 낮은 압력갖는커브드 이미지 센서. [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 센서기판은 디바이스 웨이퍼를 포함하고, 상기 지지기판은 캐리어 웨이퍼포함하는커브드 이미지 센서. [청구항 4] 제1항에 있어서,상기 본딩패턴은 상기 센서기판의센터에 접하는커브드 이미지 센서. [청구항 5] 제1항에 있어서,상기 본딩패턴은 상기 센서기판의 면적 대비 10% 내지 20% 범위 면적갖는커브드 이미지 센서. [청구항 6] 제1항에 있어서,상기 본딩패턴의 가로세로비는 상기 센서기판의 가로세로비동일한커브드 이미지 센서. [청구항 7] 제1항에 있어서,상기 고정패턴은 적어도 상기 센서기판의 가장자리측벽에 접하는커브드 이미지 센서. [청구항 8] 제1항에 있어서,상기 센서기판은 경사진 측벽갖는커브드 이미지 센서. [청구항 9] 제1항에 있어서,상기 고정패턴은 도넛형태갖는커브드 이미지 센서. [청구항 10] 제1항에 있어서,상기 고정패턴은 열경화성을 갖는 물질포함하는커브드 이미지 센서. [청구항 11] 지지기판; 상기 지지기판 상에 형성된 로직회로층 상기 로직회로층 상에 형성된 본딩패턴 상기 지지기판 상부에서 상기 본딩패턴에 접하고 만곡된 광 입사면을 갖는 센서기판 상기 로직회로층 상에 형성되어 상기 센서기판의 가장자리를 둘러싸는 고정패턴; 및 상기 고정패턴을 관통하여 상기 센서기판과 상기 로직회로층을 전기적으로 연결하는 복수의 커넥터 를 포함하는 커브드 이미지 센서 [청구항 12] 제11항에 있어서,상기 로직회로층을 포함한 지지기판, 상기 센서기판 및 상기 고정패턴에 의한 밀폐된 공동을 더 포함하고, 상기 밀폐된 공동은 외부보다 낮은 압력갖는커브드 이미지 센서. [청구항 13] 제11항에 있어서,상기 센서기판은 디바이스 웨이퍼를 포함하고, 상기 지지기판은 캐리어 웨이퍼포함하는커브드 이미지 센서. [청구항 14] 제11항에 있어서,상기 본딩패턴은 상기 센서기판의센터에 접하는커브드 이미지 센서. [청구항 15] 제11항에 있어서,상기 고정패턴은 적어도 상기 센서기판의 가장자리측벽에 접하는커브드 이미지 센서. [청구항 16] 제11항에 있어서,상기 고정패턴은 열경화성을 갖는 물질포함하는커브드 이미지 센서. [청구항 25] 광학 시스템; 상기 광학 시스템으로부터 광을 수신하는 커브드 이미지 센서; 및 상기 커브드 이미지 센서로부터 출력된 신호에 대해 신호 처리 동작을 수행하는 신호 처리부를 포함하고, 상기 커브드 이미지 센서는, 지지기판; 상기 지지기판 상에 형성된 본딩패턴 상기 지지기판 상부에서 상기 본딩패턴에 접하고 만곡된 광 입사면을 갖는 센서기판; 및 상기 지지기판 상에 형성되어 센서기판의 가장자리를 둘러싸는 고정패턴 을 포함하는 전자장치 [청구항 26] 제25항에 있어서,상기 지지기판 상에 형성되어 상기 본딩패턴 및 상기 고정패턴에 접하는 로직회로층; 및상기 고정패턴을 관통하여 상기 센서기판과 상기 로직회로층을 전기적으로 연결하는 복수의 커넥터더 포함하는전자장치.