문맥 (context)
[청구항 1]
센터 패드;
상기 센터 패드를 둘러싸도록 구성되며, 적어도 일면에 인출로를 구비하는 에지 패드; 및
상기 인출로를 통과하여, 상기 센터 패드 및 내부 회로를 전기적으로 연결시키는 연결 배선을 포함하는 얼라인먼트 검사 장치
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 센터 패드는 제 1 전압 전달 패드와 전기적으로 연결되고, 상기 에지 패드는 제 2 전압 전달 패드와 전기적연결되는얼라인먼트 검사 장치.
[청구항 3]
제 2 항에 있어서,상기제 1 및 제 2 전달 패드는 동일한 전압공급되는얼라인먼트 검사 장치.
[청구항 4]
제 2 항에 있어서,상기제 1 및 제 2 전달 패드는 서로 상이한 전압공급되는얼라인먼트 검사 장치.
[청구항 5]
제 1 항에 있어서,상기 센터 패드는 상기 연결 배선을 통하여, 제 1 전압 전달 패드와 연결된 제 1 esd 회로부와 연결되고, 상기 에지 패드는 제 2 전압 전달 패드와 연결된 제 2 esd 회로부와 추가의 연결 배선을 통해 전기적연결되는얼라인먼트 검사 장치.
[청구항 7]
제 1 항에 있어서,상기 인출로의 폭은 상기 센터 패드의 폭보다 크게 형성되어, 상기 인출로를 통해상기센터패드및연결배선삽입되도록구성되는얼라인먼트 검사 장치.
[청구항 8]
제 1 항에 있어서,상기 에지 패드는 복수 개의 인출로를 구비하여, 상기 에지 패드는 복수 개의 단위 에지 패드로 구분되며, 상기 단위 에지 패드 및 상기 센터 패드 각각에 서로 다른전압공급되도록구성되는얼라인먼트 검사 장치.
[청구항 9]
제 1 항에 있어서,상기 센터 패드 및 에지 패드 사이에 층간 절연막더 구비되는얼라인먼트 검사 장치.
[청구항 10]
제 9 항에 있어서,상기 센터 패드, 에지 패드 및 상기 연결 배선은 상기 층간 절연막 상부 표면각각 위치하는얼라인먼트 검사 장치.
[청구항 12]
제 11 항에 있어서,상기제 1 및 제 2 내부 회로부는 소정의 전압을 인가받는 전압 전달 패드들인반도체 집적 회로 장치.
[청구항 13]
제 11 항에 있어서,상기 제 1 내부 회로부 및 제 2 내부 회로부는 상기 센터 패드 및 에지 패드 각각에동일전압제공하도록구성되는반도체 집적 회로 장치.
[청구항 14]
제 11 항에 있어서,상기 제 1 내부 회로부 및 제 2 내부 회로부는 상기 센터 패드 및 에지 패드 각각에 서로 상이한전압제공하도록구성되는반도체 집적 회로 장치.
[청구항 15]
제 11 항에 있어서,상기제 1 및 제 2 내부 회로부는 전압 전달 패드와 연결된 esd 회로부각각 포함하는반도체 집적 회로 장치.
[청구항 16]
제 11 항에 있어서,상기 인출로의 폭은 상기 제 1 연결 배선의 폭설계되는반도체 집적 회로 장치.
[청구항 17]
제 11 항에 있어서,상기 인출로의 폭은 상기 센터 패드의 폭보다 크게 형성되어, 상기 인출로를 통해상기센터패드및연결배선삽입되도록구성되는반도체 집적 회로 장치.
[청구항 18]
제 11 항에 있어서,상기 에지 패드는 복수 개의 인출로를 구비하여, 상기 에지 패드는 복수 개의 단위 에지 패드로 구분되며, 상기 단위 에지 패드 및 상기 센터 패드 각각에 서로 다른전압공급되도록구성되는반도체 집적 회로 장치.
[청구항 19]
제 11 항에 있어서,상기 상기 센터 패드, 에지 패드 및 상기 제 1 및 제 2 연결 배선은 층간 절연막 상부 표면위치되는반도체 집적 회로 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
얼라인먼트 검사 장치에서 센터 패드와 에지 패드에 각각 연결된 제 1 및 제 2 ESD 회로부가 전압 전달 패드와 어떻게 연결되는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation얼라인먼트 검사 장치 내의 센터 패드 및 에지 패드와 제 1, 제 2 ESD 회로부, 그리고 전압 전달 패드 간의 연결 관계를 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 5를 통해 센터 패드는 연결 배선을 통해 제 1 ESD 회로부와 연결되고, 에지 패드는 추가의 연결 배선을 통해 제 2 ESD 회로부와 연결됨을 추출한다.
- 상기 센터 패드는 상기 연결 배선을 통하여, 제 1 전압 전달 패드와 연결된 제 1 esd 회로부와 연결되고, 상기 에지 패드는 제 2 전압 전달 패드와 연결된 제 2 esd 회로부와 추가의 연결 배선을 통해 전기적연결되는
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3근거 선택
evidence_selection센터 패드-연결 배선-제 1 ESD 회로부-제 1 전압 전달 패드 및 에지 패드-추가의 연결 배선-제 2 ESD 회로부-제 2 전압 전달 패드의 연결 구조를 뒷받침하는 구절을 선택한다.
- 상기 센터 패드는 상기 연결 배선을 통하여, 제 1 전압 전달 패드와 연결된 제 1 esd 회로부와 연결되고, 상기 에지 패드는 제 2 전압 전달 패드와 연결된 제 2 esd 회로부와 추가의 연결 배선을 통해 전기적연결되는
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4논리 통합
logical_integration센터 패드는 연결 배선을 매개로 제 1 전압 전달 패드에 연결된 제 1 ESD 회로부와 연결되며, 에지 패드는 추가의 연결 배선을 매개로 제 2 전압 전달 패드에 연결된 제 2 ESD 회로부와 연결된다.
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 따라 각 패드와 ESD 회로부, 전압 전달 패드 간의 연결 경로를 정리하여 결론을 도출한다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 센터 패드와 에지 패드의 각각의 연결 방식을 서술형으로 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
얼라인먼트 검사 장치에서 센터 패드는 연결 배선을 통하여 제 1 전압 전달 패드와 연결된 제 1 ESD 회로부와 연결되며, 에지 패드는 추가의 연결 배선을 통해 제 2 전압 전달 패드와 연결된 제 2 ESD 회로부와 전기적으로 연결된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
센터 패드와 에지 패드가 각각의 전압 전달 패드 및 ESD 회로부와 연결 배선을 통해 전기적으로 연결되어 전압을 전달받는 구조를 나타낸다.