문맥 (context)
[청구항 1]
박막을 형성해야 하는 하지기판을 지지하는 도포스테이지와,
상기 도포스테이지에 지지된 하지기판에 대향하여, 복수의 노즐구멍으로부터 상기 하지기판을 향하여 박막재료의 액체방울을 토출하는 노즐유닛과,
박막재료를 축적하는 리저버탱크와,
상기 리저버탱크로부터 상기 노즐유닛으로 상기 박막재료를 공급하는 공급계와,
상기 리저버탱크 를 가열하는 제1 열원과,
상기 리저버탱크의 온도를 측정하는 제1 온도센서와,
상기 공급계의 적어도 1개소를 가열하는 제2 열원과,
상기 공급계의 적어도 1개소의 온도를 측정하는 제2 온도센서와,
상기 제1 온도센서 및 상기 제2 온도센서의 측정 결과에 근거하여, 상기 리저버탱크 내의 박막재료의 온도와, 상기 공급계를 흐르는 박막재료의 온도가, 온도의 목표범위 내에 들어가도록 상기 제1 열원 및 상기 제2 열원을 제어하는 온도제어장치를 가지며,
상기 도포스테이지와 상기 노즐유닛의 일방을 타방에 대하여 이동시킴으로써, 상기 노즐구멍으로부터 토출된 박막재료의 액체방울의 착탄지점을, 상기 도포스테이지에 지지된 기판의 표면 내에서 이동시키는 이동기구와,
상기 노즐유닛 및 상기 이동기구를 제어하는 토출제어장치를 더 가지고,
상기 토출제어장치는,
상기 기판에 형성해야 하는 박막의 패턴을 정의한 패턴정의데이터, 상기 제2 열원에 의한 가열에 의하여 상기 노즐유닛의 상기 노즐구멍의 피치가 정격피치로부터 변동된 후의 실제피치를 기억하고 있으며, 상기 패턴정의데이터에 근거하여, 상기 노즐구멍의 배열방향으로, 상기 실제피치에 근거하여 배열되는 픽셀에 의하여 구성되는 래스터포맷의 토출제어용 화상데이터를 생성하고, 상기 토출제어용 화상데이터에 근거하여, 상기 노즐유닛 및 상기 이동기구를 제어하는 기판제조장치
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 온도제어장치는, 상기 리저버탱크 내의 박막재료의 온도와, 상기 공급계 내를 흐르는 박막재료의 온도가 동일해지도록, 상기 제1 열원 및 상기 제2 열원제어하는기판제조장치.
[청구항 3]
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 노즐구멍으로부터 토출되지 않았던 박막재료를, 상기 노즐유닛으로부터 상기 리저버탱크로 회수하는 회수계를 더 가지고,상기 제2 열원은, 상기 회수계의 적어도 1개소를 가열하고,상기 제2 온도센서는, 상기 회수계의 적어도 1개소의 온도를 측정하며,상기 온도제어장치는, 상기 회수계를 흐르는 박막재료의 온도가, 상기 온도의 목표범위 내에 들어가도록 상기 제2 열원제어하는기판제조장치.
[청구항 4]
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 노즐유닛은 복수의 노즐헤드를 포함하고, 상기 노즐헤드의 각각은, 복수의 노즐구멍과, 상기 복수의 노즐구멍을 연결하는 공통수송로를 포함하며,상기 공급계는,공급용 유입구에 유입된 박막재료를 분기시켜, 복수의 공급용 유출구로부터 박막재료를 송출하는 매니폴드와,상기 매니폴드의 상기 공급용 유출구로부터 상기 복수의 노즐헤드의 상기 공통수송로까지 박막재료를 수송하는 공급수송로를 포함하고,상기 제2 온도센서 중 하나는, 상기 매니폴드의 온도를 측정하고,상기 제2 열원 중 하나는, 상기 매니폴드를 가열하며,상기 온도제어장치는, 상기 매니폴드 내를 흐르는 박막재료가 상기 온도의 목표범위 내에 들어가도록, 상기 제2 열원제어하는기판제조장치.
[청구항 5]
제 4 항에 있어서,상기 공급수송로는, 내부를 흐르는 박막재료를 외기로부터 단열하는 단열구조가지는기판제조장치.
[청구항 6]
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 제1 열원 및 상기 제2 열원을, 상기 도포스테이지가 배치된 공간으로부터 격리하는 격리부재더 가지는기판제조장치.
[청구항 8]
제 1 항에 있어서,오퍼레이터가 상기 토출제어장치에 지령을 부여하기 위한 입력장치를 더 가지고,상기 토출제어장치는, 상기 입력장치로부터 입력된 온도정보에 근거하여, 상기 노즐구멍의 정격피치가 변동된 후의 상기 실제피치산출하는기판제조장치.
[청구항 9]
제 1 항에 있어서,기판의 표면에 형성된 복수의 얼라이먼트마크를 촬상하는 촬상장치를 더 가지고,상기 토출제어장치는, 상기 촬상장치의 촬상결과에 근거하여, 상기 기판의 면내방향의 신축량을 산출하여, 산출된 신축량에 따라, 상기 토출제어용 화상데이터생성하는기판제조장치.
[청구항 10]
제 9 항에 있어서,상기 기판을 지지하고, 상기 기판의 표면에 수직인 축을 회전중심으로 하여 회전하는 얼라이먼트스테이지와,상기 기판의 회전방향의 자세를 유지한 상태로, 상기 얼라이먼트스테이지로부터 상기 도포스테이지까지, 상기 기판을 반송하는 반송 장치를 더 가지고,상기 토출제어장치는, 상기 촬상장치의 촬상결과에 근거하여, 상기 얼라이먼트스테이지를 회전시킴으로써, 상기 기판의 회전방향의 위치맞춤을 행하고, 상기 반송장치를 제어하여, 회전방향의 위치맞춤이 완료된 상기 기판을, 상기 얼라이먼트스테이지로부터 상기 도포스테이지반송하는기판제조장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
기판제조장치의 토출제어장치가 토출제어용 화상데이터를 생성할 때, 노즐구멍의 실제피치 변동 외에 고려하는 추가적인 정보는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation토출제어장치가 화상데이터를 생성할 때, 노즐구멍의 실제피치 변동 외에 추가로 고려하는 정보를 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 1에서 화상데이터 생성 시 패턴정의데이터와 실제피치를 사용함을 확인하고, 청구항 9에서 화상데이터 생성과 관련된 추가 정보를 추출한다.
- 상기 패턴정의데이터에 근거하여, 상기 노즐구멍의 배열방향으로, 상기 실제피치에 근거하여 배열되는 픽셀에 의하여 구성되는 래스터포맷의 토출제어용 화상데이터를 생성
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3근거 선택
evidence_selection청구항 9에서 촬상장치의 촬상결과에 근거하여 산출된 기판의 면내방향 신축량이 화상데이터 생성에 사용됨을 확인한다.
- 상기 촬상장치의 촬상결과에 근거하여, 상기 기판의 면내방향의 신축량을 산출하여, 산출된 신축량에 따라, 상기 토출제어용 화상데이터생성
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4논리 통합
logical_integration화상데이터는 패턴정의데이터와 실제피치를 기반으로 생성되지만, 청구항 9에 따르면 기판의 면내방향 신축량 또한 화상데이터 생성에 영향을 미치는 추가 정보임을 알 수 있다.
- 상기 촬상장치의 촬상결과에 근거하여, 상기 기판의 면내방향의 신축량을 산출하여, 산출된 신축량에 따라, 상기 토출제어용 화상데이터생성
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에서 요구하는 '추가적인 정보'는 기판의 면내방향 신축량이다.
- 상기 기판의 면내방향의 신축량을 산출하여, 산출된 신축량에 따라, 상기 토출제어용 화상데이터생성
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 질문에 대한 답변을 작성한다.
- 상기 기판의 면내방향의 신축량
최종 답변 (final_answer)
기판의 면내방향의 신축량이다.
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 노즐구멍의 실제 피치 변동뿐만 아니라, 촬상장치를 통해 산출된 기판의 면내방향 신축량을 화상데이터 생성에 반영함으로써 정밀한 박막 패턴 형성을 가능하게 하는 기술을 포함한다.