문맥 (context)
[청구항 10]
복수의 스텝에 의해 피처리체를 처리하는 플라즈마 프로세스에서 스텝마다 설정 온도를 바꾸는 것이 가능한 플라즈마 처리 장치의 제어 장치로서,
상기 플라즈마 처리 장치의 처리 용기 내에 피처리체를 반입하는 반입 공정 또는 피처리체를 반출하는 반출 공정 중 적어도 하나를 행하는 반송 제어부와,
상기 복수의 스텝으로 이루어지는 플라즈마 프로세스를 실행하는 프로세스 실행부와,
상기 실행된 플라즈마 프로세스의 종료 타이밍에 따라서 다음 프로세스의 설정 온도로 제어하는 제 1 온도 제어, 또는 상기 반입 공정 혹은 상기 반출 공정에 병행해서 상기 다음 프로세스의 설정 온도로 제어하는 제 2 온도 제어 중 적어도 하나를 행하는 온도 제어부
를 구비하는 것을 특징으로 하는 제어 장치
[청구항 11]
처리 용기와,
상기 처리 용기 내에 가스를 공급하는 가스 공급원과,
플라즈마를 생성하기 위한 파워를 공급하여, 가스로부터 플라즈마를 생성하는 플라즈마원과,
상기 처리 용기 내에 마련된 탑재대, 상부 전극, 데포짓 실드 또는 상기 처리 용기 중 적어도 하나의 온도를 제어하는 온도 제어부와,
상기 플라즈마 처리 장치의 처리 용기 내에 피처리체를 반입하는 반입 공정 또는 피처리체를 반출하는 반출 공정 중 적어도 하나를 행하는 반송 제어부와,
상기 생성된 플라즈마에 의해 상기 복수의 스텝으로 이루어지는 플라즈마 프로세스를 실행하는 프로세스 실행부
를 구비하고,
상기 온도 제어부는,
상기 실행된 플라즈마 프로세스의 종료 타이밍에 따라서 다음 프로세스의 설정 온도로 제어하는 제 1 온도 제어, 또는 상기 반입 공정 혹은 상기 반출 공정에 병행해서 상기 다음 프로세스의 설정 온도로 제어하는 제 2 온도 제어 중 적어도 하나를 행하는
것을 특징으로 하는 플라즈마 처리 장치
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
플라즈마 처리 장치의 온도 제어부가 다음 프로세스의 설정 온도로 제어하는 두 가지 방식은 각각 어떠한 조건이나 상황에서 수행되는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation온도 제어부가 다음 프로세스의 설정 온도로 제어하는 두 가지 방식(제 1 온도 제어, 제 2 온도 제어)의 수행 조건 및 상황을 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항에서 제 1 온도 제어와 제 2 온도 제어에 대한 정의를 추출한다.
- 상기 실행된 플라즈마 프로세스의 종료 타이밍에 따라서 다음 프로세스의 설정 온도로 제어하는 제 1 온도 제어, 또는 상기 반입 공정 혹은 상기 반출 공정에 병행해서 상기 다음 프로세스의 설정 온도로 제어하는 제 2 온도 제어
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3근거 선택
evidence_selection제 1 온도 제어의 조건인 '플라즈마 프로세스의 종료 타이밍'과 제 2 온도 제어의 조건인 '반입 공정 혹은 반출 공정'을 선택한다.
- 상기 실행된 플라즈마 프로세스의 종료 타이밍에 따라서 다음 프로세스의 설정 온도로 제어하는 제 1 온도 제어, 또는 상기 반입 공정 혹은 상기 반출 공정에 병행해서 상기 다음 프로세스의 설정 온도로 제어하는 제 2 온도 제어
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4논리 통합
logical_integration제 1 방식은 프로세스 종료 시점에 수행되고, 제 2 방식은 반입 또는 반출 공정과 병행하여 수행됨을 연결한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 따라 두 방식의 수행 조건과 상황을 정리하여 답변을 구성한다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
온도 제어부가 다음 프로세스의 설정 온도로 제어하는 두 가지 방식의 수행 조건은 다음과 같다. 첫째, 제 1 온도 제어는 실행된 플라즈마 프로세스의 종료 타이밍에 따라 수행된다. 둘째, 제 2 온도 제어는 피처리체의 반입 공정 또는 반출 공정에 병행하여 수행된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
플라즈마 프로세스의 종료 시점 또는 반입/반출 공정 중에 다음 프로세스를 위한 온도 제어를 수행함으로써 공정 효율을 높이는 온도 제어 기술에 관한 것이다.