문맥 (context)
[청구항 1]
마이크로파를 플라즈마원으로 하는 플라즈마 처리 장치에 구비되고, 원판형이며, 상기 마이크로파를 전파하는 플라즈마 처리 장치용 유전체창으로서,
상기 플라즈마 처리 장치용 유전체창 중, 상기 플라즈마 처리 장치에 구비되었을 때에 플라즈마를 생성하는 측의 하면에는, 개구가 상기 하면측이 되고, 상기 플라즈마 처리 장치용 유전체창의 판두께 방향의 내방측을 향하여 움푹 패인 오목부가 마련되어 있고,
상기 오목부는, 상기 플라즈마 처리 장치용 유전체창의 판두께 방향에 수직인 방향으로 연장되는 저면과, 상기 저면의 둘레 가장자리로부터 상기 오목부의 개구측을 향하여 상기 플라즈마 처리 장치용 유전체창의 판두께 방향으로 연장되는 측면과, 상기 측면의 개구측의 둘레 가장자리로부터 상기 오목부의 개구측을 향하여 상기 플라즈마 처리 장치용 유전체창의 판두께 방향에 대하여 경사져 연장되는 경사면으로 구성되는 것인 플라즈마 처리 장치용 유전체창
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 오목부는 복수마련되어 있는 것인플라즈마 처리 장치용 유전체창.
[청구항 3]
제2항에 있어서,복수의 상기 오목부는 동심원형마련되어 있는 것인플라즈마 처리 장치용 유전체창.
[청구항 4]
제2항 또는 제3항에 있어서,마련된 복수의 상기 오목부는, 상기 플라즈마 처리 장치용 유전체창을 판두께 방향에서 본 경우에, 상기 플라즈마 처리 장치용 유전체창의 중심을 중심으로 하여 회전 대칭성갖는 것인플라즈마 처리 장치용 유전체창.
[청구항 5]
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 오목부를 포함하고, 상기 플라즈마 처리 장치용 유전체창의 판두께 방향으로 연장되는 면으로 상기 플라즈마 처리 장치용 유전체창을 절단한 경우의 단면에 있어서, 상기 하면과 상기 경사면이 이루는 각도는 40°내지인 것인플라즈마 처리 장치용 유전체창.
[청구항 6]
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 경사면은 곡면포함하는 것인플라즈마 처리 장치용 유전체창.
[청구항 7]
마이크로파를 플라즈마원으로 하는 플라즈마 처리 장치로서,
원판형이며, 상기 마이크로파를 전파하는 플라즈마 처리 장치용 유전체창을 구비하고,
상기 플라즈마 처리 장치용 유전체창 중, 상기 플라즈마 처리 장치에 구비되었을 때에 플라즈마를 생성하는 측의 하면에는, 개구가 상기 하면측이 되고, 상기 플라즈마 처리 장치용 유전체창의 판두께 방향의 내방측을 향하여 움푹 패인 오목부가 마련되어 있고,
상기 오목부는, 상기 플라즈마 처리 장치용 유전체창의 판두께 방향에 수직인 방향으로 연장되는 저면과, 상기 저면의 둘레 가장자리로부터 상기 오목부의 개구측을 향하여 상기 플라즈마 처리 장치용 유전체창의 판두께 방향으로 연장되는 측면과, 상기 측면의 개구측의 둘레 가장자리로부터 상기 오목부의 개구측을 향하여 상기 플라즈마 처리 장치용 유전체창의 판두께 방향에 대하여 경사져 연장되는 경사면으로 구성되는 것인 플라즈마 처리 장치
[청구항 8]
제7항에 있어서,원판형이며, 판두께 방향으로 관통하는 복수의 슬롯이 마련되어 있고, 상기 플라즈마 처리 장치용 유전체창의 상방측에 배치되어, 상기 마이크로파를 상기 플라즈마 처리 장치용 유전체창을 향하여 방사하는 슬롯 안테나판구비하는플라즈마 처리 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
플라즈마 처리 장치용 유전체창의 오목부는 어떠한 구성 요소들로 이루어져 있으며, 각 구성 요소는 판두께 방향에 대해 각각 어떻게 연장되는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation유전체창의 오목부를 구성하는 요소들과 각 요소가 판두께 방향에 대해 어떻게 연장되는지 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 1에서 오목부의 구성 요소인 저면, 측면, 경사면과 각각의 연장 방향에 대한 정보를 추출한다.
- 상기 오목부는, 상기 플라즈마 처리 장치용 유전체창의 판두께 방향에 수직인 방향으로 연장되는 저면과, 상기 저면의 둘레 가장자리로부터 상기 오목부의 개구측을 향하여 상기 플라즈마 처리 장치용 유전체창의 판두께 방향으로 연장되는 측면과, 상기 측면의 개구측의 둘레 가장자리로부터 상기 오목부의 개구측을 향하여 상기 플라즈마 처리 장치용 유전체창의 판두께 방향에 대하여 경사져 연장되는 경사면으로 구성되는 것
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3근거 선택
evidence_selection오목부의 구성 요소와 연장 방향이 명시된 청구항 1의 구절을 선택한다.
- 상기 오목부는, 상기 플라즈마 처리 장치용 유전체창의 판두께 방향에 수직인 방향으로 연장되는 저면과, 상기 저면의 둘레 가장자리로부터 상기 오목부의 개구측을 향하여 상기 플라즈마 처리 장치용 유전체창의 판두께 방향으로 연장되는 측면과, 상기 측면의 개구측의 둘레 가장자리로부터 상기 오목부의 개구측을 향하여 상기 플라즈마 처리 장치용 유전체창의 판두께 방향에 대하여 경사져 연장되는 경사면으로 구성되는 것
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4논리 통합
logical_integration추출된 정보를 바탕으로 저면(판두께 방향에 수직), 측면(판두께 방향), 경사면(판두께 방향에 대하여 경사)으로 정리한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 답변하기 위해 오목부의 세 가지 구성 요소와 각각의 연장 방향을 결합하여 결론을 도출한다.
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6답변 생성
answer_generation리스트 형식으로 구성 요소와 연장 방향을 명확하게 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
- 저면: 플라즈마 처리 장치용 유전체창의 판두께 방향에 수직인 방향으로 연장됨
- 측면: 저면의 둘레 가장자리로부터 오목부의 개구측을 향하여 플라즈마 처리 장치용 유전체창의 판두께 방향으로 연장됨
- 경사면: 측면의 개구측 둘레 가장자리로부터 오목부의 개구측을 향하여 플라즈마 처리 장치용 유전체창의 판두께 방향에 대하여 경사져 연장됨
핵심 해석 (core_interpretation)
플라즈마 처리 장치용 유전체창의 오목부는 판두께 방향에 대해 수직인 저면, 판두께 방향으로 연장되는 측면, 그리고 판두께 방향에 대해 경사지게 연장되는 경사면의 세 가지 요소로 구성된다.