문맥 (context)
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 제 1 실링 부재는 상기 서셉터 상에제거가능하게배치되는,반응 챔버.
[청구항 3]
제 1 항에 있어서,상기 제 2 실링 부재는 상기 상부 영역과 상기 하부 영역 사이에제거가능하게배치되는,반응 챔버.
[청구항 4]
제 1 항에 있어서,셉터의 주변과 상기 제 1 실링 부재 사이의 갭을더 포함하는,반응 챔버.
[청구항 5]
제 4 항에 있어서,상기 반응 챔버가 프로세싱 온도에 있을 때 상기 갭감소되는,반응 챔버.
[청구항 6]
제 1 항에 있어서,상기 제 1 실링 부재는 상기 서셉터와 수직이동하는,반응 챔버.
[청구항 7]
제 1 항에 있어서,상기 상부 영역에서 샤워헤드를 더 포함하고, 상기 제 2 실링 부재는 상기 샤워헤드와 상기 제 1 실링 부재 사이고정되는,반응 챔버.
[청구항 8]
제 1 항에 있어서,셉터가 프로세싱 위치에 있을 때 프로세싱 가스가 상기 제 1 실링 부재와 상기 제 2 실링 부재 사이이동하는,반응 챔버.
[청구항 9]
제 1 항에 있어서,상기 제 1 실링 부재 및 상기 제 2 실링 부재는 석영구성되는,반응 챔버.
[청구항 10]
제 1 항에 있어서,상기 실링 부재는 상기 서셉터 상에 셀프센터링되는,반응 챔버.
[청구항 11]
제 1 항에 있어서,상기 제 1 실링 부재는, 상방으로 연장되는 적어도 하나의 돌기더 포함하는,반응 챔버.
[청구항 12]
제 11 항에 있어서,상기 제 2 실링 부재는, 하방으로 연장되는 적어도 하나의 돌기더 포함하는,반응 챔버.
[청구항 13]
제 12 항에 있어서,셉터가 프로세싱 위치에 있을 때, 상기 제 1 실링 부재의 적어도 하나의 돌기 및 상기 제 2 실링 부재의 적어도 하나의 돌기스팅되는,반응 챔버.
[청구항 14]
제 13 항에 있어서,상기 제 1 실링 부재와 상기 제 2 실링 부재 사이에 구불구불한 경로정의되는,반응 챔버.
[청구항 15]
제 12 항에 있어서,상기 제 1 실링 부재의 적어도 하나의 돌기 및 상기 제 2 실링 부재의 적어도 하나의 돌기는 각각 3개의 돌기들더 포함하는,반응 챔버.
[청구항 16]
제 1 항에 있어서,상기 제 2 실링 부재는 유연하고 상기 서셉터가 프로세싱 위치에 있을 때 상기 제 1 실링 부재가 상기 제 2 실링 부재편향시키는,반응 챔버.
[청구항 17]
제 16 항에 있어서,상기 제 2 실링 부재는 상기 하부 영역 내에서 상기 반응 챔버고정되는,반응 챔버.
[청구항 18]
제 16 항에 있어서,상기 제 2 실링 부재는, 복수의 노치들더 포함하는,반응 챔버.
[청구항 19]
제 16 항에 있어서,상기 제 2 실링 부재는, 복수의 방사상으로 정열된 슬릿들더 포함하는,반응 챔버.
[청구항 20]
제 19 항에 있어서,상기 제 2 실링 부재는, 방사상으로 정렬된 슬릿들이 서로 오프셋되게 배치된 2개의 제 2 실링 부재들더 포함하는,반응 챔버.
[청구항 22]
제 21 항에 있어서,상기 제 1 실링 부재는 상방으로 연장되는 적어도 하나의 돌기를 더 포함하고 상기 제 2 실링 부재는 하방으로 연장되는 적어도 하나의 돌기더 포함하는,반응 챔버 격리 디바이스.
[청구항 23]
제 22 항에 있어서,셉터가 프로세싱 위치에 있을 때, 상기 제 1 실링 부재의 적어도 하나의 돌기 및 상기 제 2 실링 부재의 적어도 하나의 돌기스팅되는,반응 챔버 격리 디바이스.
[청구항 24]
제 23 항에 있어서,상기 제 1 실링 부재와 상기 제 2 실링 부재 사이에 구불구불한 경로정의되는,반응 챔버 격리 디바이스.
[청구항 25]
제 21 항에 있어서,상기 제 2 실링 부재는 유연하고 상기 서셉터가 프로세싱 위치에 있을 때 상기 제 1 실링 부재가 상기 제 2 실링 부재편향시키는,반응 챔버 격리 디바이스.
지시문 (instruction)
주어진 특허 청구항을 읽고 구성요소의 기능과 역할을 분석하여 질문에 답하라. 문맥에 제시된 표현을 중심으로 답하라.
질문 (question)
서셉터가 프로세싱 위치에 있을 때, 제 1 실링 부재와 제 2 실링 부재의 돌기들이 스팅(seating)됨에 따라 두 실링 부재 사이에 형성되는 경로는 어떠한 형태인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation서셉터가 프로세싱 위치에 있을 때, 제 1 실링 부재와 제 2 실링 부재의 돌기들이 스팅됨에 따라 두 부재 사이에 형성되는 경로의 형태를 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 13에서 서셉터가 프로세싱 위치에 있을 때 두 실링 부재의 돌기들이 스팅된다는 점을 확인하고, 청구항 14에서 그 사이의 경로 형태를 확인한다.
- 셉터가 프로세싱 위치에 있을 때, 상기 제 1 실링 부재의 적어도 하나의 돌기 및 상기 제 2 실링 부재의 적어도 하나의 돌기 스팅되는, 상기 제 1 실링 부재와 상기 제 2 실링 부재 사이에 구불구불한 경로 정의되는
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3근거 선택
evidence_selection질문 조건(프로세싱 위치, 돌기 스팅)과 직접적으로 연결된 청구항 14의 구절을 선택한다.
- 상기 제 1 실링 부재와 상기 제 2 실링 부재 사이에 구불구불한 경로 정의되는
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4논리 통합
logical_integration서셉터가 프로세싱 위치에 있고 돌기들이 스팅되면, 청구항 14에 따라 두 실링 부재 사이에는 구불구불한 경로가 정의된다.
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5결론 도출
conclusion_formulation두 실링 부재 사이에 형성되는 경로는 '구불구불한 경로'이다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 질문에 대한 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
구불구불한 경로
핵심 해석 (core_interpretation)
제 1 실링 부재와 제 2 실링 부재의 돌기들이 서로 맞물려 스팅됨으로써 두 부재 사이에 구불구불한 경로를 형성하는 기술적 특징을 나타낸다.