문맥 (context)
[청구항 1]
적어도 하나의 유전성 물질에 마련된 적어도 하나의 개구부에 내장되며, 상기 유전성 물질의 최상면과 동일평면인 최상면을 가지는 적어도 하나의 구리 구조체; 및
상기 적어도 하나의 구리 구조체 최상면 위에 배치되는 것으로, 상기 적어도 하나의 구리 구조체의 가장자리와 수직으로 일치하는 가장자리를 가지는 그래핀 캡을 포함하는 배선 구조체
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 그래핀 캡 및 상기 구리 구조체의 최상면 사이에 금속함유 캡이 배치되며, 상기 금속함유 캡은 상기 그래핀 캡의 가장자리 및 상기 구리 구조체의 가장자리와 수직으로 일치하는 가장자리가지는배선 구조체.
[청구항 3]
제 1 항에 있어서,적어도 하나의 개구부에 내장된 적어도 하나의 u자형 확산 베리어(diffusion barrier) 물질을 더 포함하여 상기 구리 구조체의 가장자리 각각이 상기 유전성 물질분리되도록 하는배선 구조체.
[청구항 4]
제 3 항에 있어서,적어도 하나의 u자형 확산 베리어 물질은 제1 확산 베리어 물질 및 제2 확산 베리어 물질을 포함하며, 상기 제1 확산 베리어 물질은 금속 질화물(metal nitride)에서 선택되고, 상기 제2 확산 베리어 물질은 금속선택되는배선 구조체.
[청구항 5]
제 1 항에 있어서,유전성 물질이 상기 구리 구조체를 포함하는 상기 유전성 물질의 아래 배치되는바, 여기에서 상기 구리 구조체의 최하면은, 적어도 하나의 u자형 확산 베리어 물질의 수평 연결부에 의해 상기 다른 유전성 물질의 최상면분리되는배선 구조체.
[청구항 6]
제 5 항에 있어서,적어도 하나의 u자형 확산 베리어 물질은, 제1 확산 베리어 물질 및 제2 확산 베리어 물질을 포함하며, 상기 제1 확산 베리어 물질은 금속 질화물에서 선택되고, 상기 제2 확산 베리어 물질은 금속선택되는배선 구조체.
[청구항 7]
제 5 항에 있어서,유전성 물질 아래에, 적어도 하나의 반도체 물질을 포함하는 기판배치되는배선 구조체.
[청구항 8]
제 1 항에 있어서,상기 그래핀 캡은 단층 그래핀, 적은 층수의 그래핀, 많은 층수의 그래핀, 또는 무결정 및/또는 무질서한 탄소상들(carbon phases)로 혼합된 그래핀 층들의 임의의 조합포함하는배선 구조체.
[청구항 9]
유전성 물질 부분들 사이에 배치되며, 측벽면, 최상면 및 최하면을 가지는 구조체의 적어도 하나의 구리 구조체
상기 적어도 하나의 구리 구조체의 상기 최하면과 접촉하는 최상면을 가지며, 상기 적어도 하나의 구리 구조체의 측벽면과 수직으로 일치하는 가장자리를 가지는 적어도 하나의 확산 베리어 물질; 및
상기 적어도 하나의 구리 구조체의 최상면 위와, 상기 적어도 하나의 구리 구조체의 측벽면 위에 위치한 그래핀 캡을 포함하는 배선 구조체
[청구항 10]
제 9 항에 있어서,적어도 하나의 확산베리어 물질은 제1 확산 베리어 물질 및 제2 확산 베리어 물질을 포함하며, 상기 제1 확산 베리어 물질은 금속 질화물에서 선택되고 상기 제2 확산 베리어 물질은 금속선택되는배선 구조체.
[청구항 11]
제 9 항에 있어서,적어도 하나의 확산베리어 물질 아래에 배치되는 다른 유전성 물질더 포함하는배선 구조체.
[청구항 12]
제 11 항에 있어서,유전성 물질 아래에 배치되며, 적어도 하나의 반도체 물질을 포함하는 기판더 포함하는배선 구조체.
[청구항 13]
제 9 항에 있어서,상기 그래핀 캡은 단층 그래핀, 소수층 그래핀, 다수층 그래핀, 또는 무결정 및/또는 무질서한 탄소상들로 혼합된 그래핀 층들의 임의의 조합포함하는배선 구조체.
[청구항 14]
제 9 항에 있어서,상기 그래핀 캡및 상기 적어도 하나의 구리 구조체 사이에 배치되며, 상기 적어도 하나의 구리 구조체의 최상면 및 측벽면에 인접하여 존재하는 금속함유 캡더 포함하는배선 구조체.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
청구항 1항의 배선 구조체에서 그래핀 캡의 가장자리는 구리 구조체의 어느 부분과 수직으로 일치하도록 배치되는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation청구항 1항의 배선 구조체에서 그래핀 캡의 가장자리가 구리 구조체의 어느 부분과 수직으로 일치하는지 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 1항에서 그래핀 캡의 구성과 구리 구조체와의 관계를 설명하는 문구를 추출한다.
- 상기 적어도 하나의 구리 구조체 최상면 위에 배치되는 것으로, 상기 적어도 하나의 구리 구조체의 가장자리와 수직으로 일치하는 가장자리를 가지는 그래핀 캡
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3근거 선택
evidence_selection그래핀 캡의 가장자리와 수직으로 일치하는 대상이 명시된 구절을 선택한다.
- 상기 적어도 하나의 구리 구조체의 가장자리와 수직으로 일치하는 가장자리를 가지는 그래핀 캡
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4논리 통합
logical_integration추출된 문구를 통해 그래핀 캡의 가장자리가 구리 구조체의 '가장자리'와 수직으로 일치함을 확인한다.
- 상기 적어도 하나의 구리 구조체의 가장자리와 수직으로 일치하는 가장자리를 가지는 그래핀 캡
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 답변으로 그래핀 캡의 가장자리는 구리 구조체의 가장자리와 수직으로 일치한다.
- 상기 적어도 하나의 구리 구조체의 가장자리와 수직으로 일치하는 가장자리를 가지는 그래핀 캡
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
- 상기 적어도 하나의 구리 구조체의 가장자리
최종 답변 (final_answer)
구리 구조체의 가장자리
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 구리 구조체의 최상면 위에 배치되는 그래핀 캡의 가장자리를 구리 구조체의 가장자리와 수직으로 일치시켜 배치하는 배선 구조체에 관한 것이다.