기상성장장치 document_id 1020147034229

[청구항 1] 챔버 본체(chamber 本體)와 챔버 뚜껑으로 상하로 분할될 수 있는 챔버(chamber) 내에 설치된 기판 상에 원료가스를 공급하여 상기 기판 상에 박막(薄膜)을 성장시키는 기상성장장치(氣相成長裝置)로서, 원판 모양으로 이루어지고 상기 챔버 본체측에 착탈(着脫)될 수 있도록 설치되어 상기 기판을 지지하는 서셉터(susceptor)와, 상기 서셉터에 있어서의 기판 지지부(基板 支持部) 이외의 부위를 덮도록 상기 서셉터 상에 재치(載置)되는 서셉터 커버(susceptor cover)와, 상기 서셉터와의 사이에 소정의 간격을 두고 대향(對向)하도록 배치되어 상기 원료가스의 유로(流路)를 형성하는 천장판(天障板)과, 상기 챔버가 분할되었을 때에 형성되는 상기 챔버 본체의 상방공간에, 상기 서셉터, 상기 서셉터 커버, 상기 천장판 중에서 적어도 1개를 일시적으로 임시재치(temporarily placing)하는 임시재치장치(temporarily placing apparatus)를 구비하는 것을 특징으로 하는 기상성장장치 [청구항 2] 제1항에 있어서,상기 임시재치장치는, 상기 챔버 본체의 상방공간에 출입할 수 있는 단수 또는 복수의 임시재치암(temporarily placing arm)을 구비하고, 상기 임시재치암은, 그 선단에 상기 서셉터, 상기 서셉터 커버, 상기 천장판 중에서 적어도 1개를 일시적으로 임시로 재치하는임시재치부구비하여이루어지는것을특징으로 하는기상성장장치. [청구항 3] 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 임시재치장치는, 상기 천장판을 임시로 재치하는 천장판 임시재치부와, 상기 서셉터 커버가 재치된 서셉터 또는 상기 서셉터 커버를 임시로 재치하는서셉터임시재치부구비하는것을특징으로 하는기상성장장치. [청구항 4] 제3항에 있어서,상기 임시재치부는 상단 지지부(上段 支持部)와 하단 지지부(下段 支持部)의 상하 2단으로 이루어지고, 상기 상단 지지부가 상기 천장판 임시재치부이며, 상기 하단 지지부가 상기 서셉터임시재치부인것을특징으로 하는기상성장장치. [청구항 5] 제1항 내지 제4항 중 어느 하나의 항에 있어서,상기 임시재치장치는, 임시로 재치된 상기 서셉터, 상기 서셉터 커버 또는 상기 천장판의 중심을 상기 챔버 본체의 중심으로 일치시키는중심맞춤기구구비하고있는것을특징으로 하는기상성장장치. [청구항 6] 제5항에 있어서,상기 중심맞춤기구는, 임시로 재치된 상기 서셉터, 상기 서셉터 커버 또는 상기 천장판의 외주부에 있어서 적어도 3군데에 접촉되어 상기 서셉터, 상기 서셉터 커버 또는 상기 천장판을 중심방향으로 미세하게 이동시키는 센터링편(centering片구비하여이루어지는것을특징으로 하는기상성장장치. [청구항 7] 제6항에 있어서,상기 센터링편은, 압축공기에 의하여 돌출될 수있는것을특징으로 하는기상성장장치. [청구항 8] 제1항 내지 제7항 중 어느 하나의 항에 있어서,셉터, 상기 서셉터 커버, 상기 천장판 중에서 적어도 1개를 상기 챔버의 내외로 반송하는 반송암(搬送arm)과,상기 천장판을 승강시킬 수 있도록 지지함과 아울러 상기 원료가스를 공급하는 노즐부(nozzle部)와,상기 서셉터 커버가 재치된 서셉터 또는 상기 서셉터 커버를 하방으로부터 밀어올려서 승강시킬 수 있도록 지지하는 푸시업 승강기구(push-up 昇降機構)와,상기 반송암, 상기 노즐부, 상기 푸시업 승강기구 및 상기 임시재치장치의 동작을 제어하는 제어부(制御部구비하는것을특징으로 하는기상성장장치. [청구항 9] 제8항에 있어서,셉터의 외주부에는 복수의 관통구멍이 형성되어 있고,상기 푸시업 승강기구는,상기 챔버 본체의 외주부에 승강할 수 있도록 세워서 설치된 복수의 푸시업 막대(push-up stick)와,상기 각 푸시업 막대의 상단면(上端面)을, 평상 시에는 상기 챔버측에 설치된 상태의 상기 서셉터보다 하방에 위치시키고, 동작 시에는 상기 챔버측에 설치된 상태의 상기 서셉터에 재치된 상기 서셉터 커버보다 상방으로 상승시키는 승강수단(昇降手段)과,상기 서셉터를 회전시켜서 상기 각 관통구멍의 위치와 상기 푸시업 막대의 상단면과의 상대위치를 제어함으로써 상기 서셉터를 밀어올릴 것인지, 상기 서셉터 커버를 밀어올릴 것인지를 선택하는기능구비하는것을특징으로 하는기상성장장치. [청구항 10] 제1항 내지 제9항 중 어느 하나의 항에 있어서,상기 제어부는,상기 서셉터, 상기 서셉터 커버, 상기 천장판 중에서 적어도 1개를 상기 반송암에 의하여 반송하여 상기 임시재치장치로 인도하여 지지시키는 공정과,상기 노즐부에 의하여 상기 천장판을 상승시키는 공정과,상기 푸시업 승강기구에 의하여 상기 서셉터 및/또는 상기 서셉터 커버를 상승시키는 공정과,상기 노즐부 및/또는 상기 푸시업 승강기구에 의하여 지지된 부재를 상기 반송암으로 인도하여 반송하는 공정과,상기 천장판을 지지한 상태의 상기 임시재치장치로부터 상기 노즐부로 상기 천장판을 반송하는 공정과,상기 서셉터와 상기 서셉터 커버를 지지한 상태의 상기 임시재치장치로부터 상기 푸시업 승강기구로 상기 서셉터 및/또는 상기 서셉터 커버를 반송하는 공정을실현시키는프로그램구비하여이루어지는것을특징으로 하는기상성장장치. [청구항 11] 제8항 내지 제10항 중 어느 하나의 항에 있어서,상기 반송암은, 상기 천장판을 지지하는 상단부(上段部)와, 상기 서셉터 및 상기 서셉터 커버를 지지하거나 또는 상기 서셉터 커버를 지지하는 하단부(下段部)를 구비하고 있고,상기 상단부에 의하여 지지하는 부재와 상기 하단부에 의하여 지지하는 부재가 서로 접촉되지 않도록 지지할 수있는것을특징으로 하는기상성장장치.