로드 포트 및 ＥＦＥＭ document_id 1020150009151

[청구항 1] 웨이퍼 반송실에 인접하여 설치되고, 당해 웨이퍼 반송실과 웨이퍼 수납 용기 사이에서의 웨이퍼의 출납을 행하기 위한 로드 포트이며, 상기 웨이퍼 반송실의 벽면의 일부를 구성하고, 당해 웨이퍼 반송실 내를 개방하기 위한 개구가 형성된 판상부와, 상기 개구를 개폐하기 위한 도어부와, 내부 공간을 개폐 가능하게 하는 덮개부를 상기 도어부에 대향시키도록 웨이퍼 수납 용기를 적재하여 상기 판상부를 향해 진퇴 가능하게 하는 적재대와, 상기 개구의 주연을 따라 상기 판상부의 상기 적재대측에 설치된 탄성재를 구비하고, 상기 적재대를 상기 판상부를 향해 이동시킴으로써, 상기 웨이퍼 수납 용기에 있어서의 상기 덮개부의 주위에 상기 탄성재가 탄성 접촉하도록 구성한 것을 특징으로 하는, 로드 포트 [청구항 2] 제1항에 있어서,상기 웨이퍼 수납 용기에 설치된 가스 공급 밸브를 통해 당해 웨이퍼 수납 용기 내에 가스를 공급하기 위한가스공급수단구비하는것을특징으로 하는,로드 포트. [청구항 3] 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 웨이퍼 수납 용기에 있어서 상기 덮개부의 주위에 설치된 플랜지부에 결합 가능한 결합편과, 당해 결합편을 상기 플랜지부에 결합시킨 상태에서 상기 판상부측에 인입하는인입수단구비하는것을특징으로 하는,로드 포트. [청구항 4] 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 개구의 주연을 따라 상기 판상부의 상기 도어부측에 설치된 탄성재를 더 구비하고 있고, 상기 도어부에 의해 상기 개구를 폐쇄함으로써, 상기 도어부측에 설치된 탄성재와 도어부가 탄성 접촉하도록구성한것을특징으로 하는,로드 포트. [청구항 5] 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 탄성재가o링인것을특징으로 하는,로드 포트. [청구항 6] 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 탄성재가 판상으로형성되어있는것을특징으로 하는,로드 포트. [청구항 7] 제4항에 있어서,상기 적재대측에 설치된 탄성재와 상기 도어부측에 설치된탄성재가일체구성되어있는것을특징으로 하는,로드 포트. [청구항 9] 제8항에 있어서,상기 웨이퍼 반송실의 내부에 상방으로부터 하방을 향하는기류형성하고있는것을특징으로 하는,efem.