기판 적재운송기 및 이를 포함하는 이송시스템 document_id 1020150012228

[청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 적재부는 적재되는 기판의 배면과 접촉하는 배면접촉부와, 적재되는 기판의 밑면과 접촉하는 밑면접촉부를 포함하며, 상기 배면접촉부는 기판이 배면접촉부쪽으로 쏠리도록 기울어져 형성되고 상기 밑면접촉부 역시 전면에서후면형성되는것을특징으로 하는기판 적재운송기. [청구항 3] 제 2 항에 있어서,상기 적재부는 일정 간격으로 상기 밑면접촉부의 전면에서 후면까지 연장되어 관통형성되는 슬릿부와, 상기 슬릿부 사이에 위치하는중간접촉부포함하는것을특징으로 하는기판 적재운송기. [청구항 4] 제 1 항에 있어서,상기 이동부는 기판 적재운송기의 운송과정에서 전후로 배열되는 기판 적재운송기끼리의 결합고정을 위해 전면에 형성되는 돌부와, 후면에 형성되는 홈부를 포함하여, 앞쪽에 위치한 기판 적재운송기의 홈부에 뒤쪽에 위치한 기판 적재운송기의 돌부가 삽입되어결합고정되는것을특징으로 하는기판 적재운송기. [청구항 5] 제 4 항에 있어서,상기 이동부는 기판 적재운송기의 운송과정에서 적재된 기판을 묶는 로프가 걸려 고정되는 밴딩부을추가포함하는것을특징으로 하는기판 적재운송기. [청구항 6] 제 4 항에 있어서,상기 이동부는 기판 적재운송기가 이송시스템에 위치된 상태에서 이동부의 이동을 방지하고 견고하게 고정시킬 수 있도록 이송시스템의 고정수단이 체결결합되는고정부포함하는것을특징으로 하는기판 적재운송기. [청구항 8] 제 7 항에 있어서,상기 이송시스템은, 상기 로딩/언로딩부 앞에 상기 기판 적재운송기가 정확히 위치될 수 있도록 가이드하는 적재운송기 가이드부;를 추가로 포함하고, 상기 적재운송기 가이드부는, 상기 로딩/언로딩부가 정상 작동상태가 아니거나 진입하는 기판 적재운송기와 로딩/언로딩부 간 충돌 위험이 있는 경우 상기 기판 적재운송기의 진입을 차단하는진입차단기포함하는것을특징으로 하는이송시스템. [청구항 9] 제 8 항에 있어서,상기 적재운송기 가이드부는, 진입하는 기판 적재운송기의 측면과의 마찰을 최소화하는 마찰저감부와, 정위치된 기판 적재운송기의 고정을 위해 기판 적재운송기의 고정부에 체결 결합되는고정수단을추가포함하는것을특징으로 하는이송시스템. [청구항 10] 제 7 항에 있어서,상기 이송시스템은, 상기 로딩/언로딩부와 이송롤러의 동작을 제어하는 제어부;를 추가로 포함하며, 상기 로딩/언로딩부는, 로딩 또는 언로딩을 위해 상기 적재부와 이송롤러 사이에서 기판을 하나씩 회전이동시키는 회전이동부와, 로딩 또는 언로딩 과정에서 상기 적재부에 적재된 기판의 적재량이 변화함에 따른 거리변화에 따라 상기 회전이동부의 위치를 정확하게 조절하는간격조절부포함하는것을특징으로 하는이송시스템. [청구항 11] 제 10 항에 있어서,상기 간격조절부는, 상기 회전이동부의 전후방향 이동을 가이드하는 전후가이드부와, 상기 회전이동부의 상하방향 이동을 가이드하는 상하가이드부와, 상기 회전이동부를 전후방향으로 구동시키는 전후구동부와, 상기 회전이동부를 상하방향 구동시키는 상하구동부포함하는것을특징으로 하는이송시스템. [청구항 12] 제 10 항에 있어서,상기 회전이동부는, 로딩 또는 언로딩 대상이 되는 기판의 밑면을 지지하는 밑면지지부와, 상기 밑면지지부에 밑면이 지지된 기판의 전면을 지지하는 전면지지부와, 상기 밑면지지부와 전면지지부를 포함하는 회전이동부를 회전축을 중심으로 회전이동시키는회전모터포함하는것을특징으로 하는이송시스템. [청구항 13] 제 12 항에 있어서,상기 밑면지지부와 전면지지부는 일정 간격 이격된 복수 개로 형성되고, 상기 적재부는 복수 개의 상기 밑면지지부와 전면지지부가 간섭되지 않고 적재부를 지나갈 수 있도록 일정 간격으로 밑면접촉부의 전면에서 후면까지 연장되어 관통형성되는 슬릿부를 포함하고, 상기 이송롤러는 복수 개의 상기 전면지지부가 이송롤러와 간섭되지 않도록 전면지지부가 지나가는 일정 공간을 형성하는간섭방지슬릿포함하는것을특징으로 하는이송시스템. [청구항 14] 제 13 항에 있어서,상기 제어부는, 상기 회전이동부가 상기 이송롤러로 기판을 로딩시킨 직후 이송롤러에서 아직 기판이 이송되지 않은 상태에서도 상기 전면지지부를 상기 간섭방지슬릿을 통해 아래로 이동시켜 다시 기판 적재운송기쪽으로 회전이동시킴으로써,로딩또는언로딩공정 싸이클단축시키는것을특징으로 하는이송시스템. [청구항 15] 제 12 항에 있어서,상기 회전이동부는, 로딩을 위해 상기 적재부에 적재된 기판을 상기 밑면지지부쪽으로 당기는 흡착부 또는 언로딩을 위해 상기 밑면지지부에 지지된 기판을 적재부쪽으로 미는 밀착부를 포함하며, 상기 흡착부는 기판을 당기는 흡착량을 조절할 수있는것을특징으로 하는이송시스템. [청구항 16] 제 13 항에 있어서,상기 회전이동부는, 상기 흡착부를 통해 밑면지지부쪽으로 이동한 기판의 전면을 압박하여 움직이지 못하도록 하는 푸시부와, 상기 푸시부가 기판의 전면을 압박한 상태에서 회전이동부와 기판 사이의 거리를 측정하는 거리측정부를 포함하고, 상기 제어부는, 상기 거리측정부를 통해 측정된 회전이동부와 기판 사이의 거리를 바탕으로 2장 이상의 기판이 상기 밑면지지부쪽으로 이동되었는지여부판단하는것을특징으로 하는이송시스템. [청구항 17] 제 16 항에 있어서,상기 회전이동부는, 상기 거리측정부를 통해 측정된 회전이동부와 기판 사이의 거리를 바탕으로 기판이 회전이동부에 충돌이 예상되는 경우 돌출되어 기판을 보호하는 충돌방지부를추가포함하는것을특징으로 하는이송시스템. [청구항 18] 제 11 항에 있어서,상기 적재부는 적재되는 기판의 배면과 접촉하는 배면접촉부와, 적재되는 기판의 밑면과 접촉하는 밑면접촉부를 포함하며, 상기 배면접촉부는 기판이 배면접촉부쪽으로 쏠리도록 기울어져 형성되고 상기 밑면접촉부 역시 전면에서 후면으로 갈수록 기울어지게 형성되며, 상기 회전이동부의 전후방향 이동을 가이드하는 전후가이드부 역시 상기 밑면접촉부의 기울기와 동일한기울기형성되는것을특징으로 하는이송시스템. [청구항 19] 제 13 항에 있어서,상기 이송롤러는, 상기 간섭방지슬릿을 중심으로 간섭방지슬릿 좌우 양측과 전방에 각각 위치하는 주이송롤러와, 상기 주이송롤러를 회동시키는 회동모터와, 상기 간섭방지슬릿 사이에 기판의 원활한 이송을 위해 위치하는보조롤러포함하는것을특징으로 하는이송시스템. [청구항 20] 제 19 항에 있어서,상기 이송롤러는, 이송롤러 위를 이동하는 기판의 배열을 정렬시키는 기판어레이부를이송롤러의좌우각각포함하는것을특징으로 하는이송시스템. [청구항 21] 제 19 항에 있어서,상기 이송롤러는, 로딩 또는 언로딩을 위해 이송롤러 상을 이동하는 기판이 2매 이상인지 여부를 탐지하는 이매(2매)감지유닛을추가포함하는것을특징으로 하는이송시스템. [청구항 22] 제 21 항에 있어서,상기 이매(2매)감지유닛은, 상기 이송롤러를 지나는 기판이 2매 이상일 때 기판의 상면을 터치하는 감지롤러와, 상기 감지롤러의 상하이동에 연동하여 상하이동하는 롤러프레임과, 상기 롤러프레임에 일단이 연결되며 지렛대 원리로 회전축을 중심으로 타단이 상기 일단보다 더 크게 회동하게 되는 편심회동부와, 상기 편심회동부 타단의 움직인 거리를 측정,감지하는 리미트센서포함하는것을특징으로 하는이송시스템. [청구항 23] 제 14 항에 있어서,상기 회전이동부는 로딩 과정에서 기판이 상기 밑면지지부로부터 벗어나 이송롤러상에서 이송되는지를 탐지하거나 또는 언로딩 과정에서 기판이 상기 이송롤러로부터 상기 밑면지지부까지 이송되었는지를 탐지하는 제1탐지부를 포함하고, 상기 제어부는 상기 제1탐지부의 정보를 바탕으로 기판을 로딩시킨 직후 상기 전면지지부를 상기 간섭방지슬릿을 통해 아래로 이동시켜 다시 기판 적재운송기쪽으로회전이동시키는것을특징으로 하는이송시스템. [청구항 24] 제 23 항에 있어서,상기 이송롤러는 로딩 과정에서 기판이 이송롤러상에서 기판의 크기 이상만큼의 거리를 이송하였는지를 탐지하는 제2탐지부를 포함하고, 상기 제어부는 상기 제2탐지부의 정보를 바탕으로 기판이 이송롤러상에서 기판의 크기 이상만큼의 거리를 이송하지 않은 상태에서 다른 기판이 이송롤러상에 로딩되는 것을방지하는것을특징으로 하는이송시스템. [청구항 25] 제 10 항에 있어서,상기 이송시스템은, 언로딩 과정에서 상기 기판 적재운송기를 교체하는 과정 동안 기판이 임시로 적재될 수 있게 하는 버퍼;를추가포함하는것을특징으로 하는이송시스템. [청구항 26] 제 25 항에 있어서,상기 버퍼는 상기 기판 적재운송기와 로딩/언로딩부 사이에서 상기 기판 적재운송기를 교체시에만 버퍼판이 이동하여 기판 적재운송기를 교체하는 과정에서 적재부에 적재될 기판을 버퍼판에임시적재하는것을특징으로 하는이송시스템. [청구항 27] 제 26 항에 있어서,상기 버퍼는 상기 버퍼판에 회전롤러를 포함하여, 버퍼판에 적재되어 있던 기판이 교체된 기판 적재운송기로 이동하는 과정에서 기판과의마찰을최소화하는것을특징으로 하는이송시스템. [청구항 28] 제 22 항에 있어서,상기 이매(2매)감지유닛은, 상기 감지롤러의 위치를 기판의 두께에 맞춰 조정할 수 있게 하는 제2손잡이를 추가로 포함하여, 기판의 두께에 맞춰 기판 1장이 통과시에는 감지롤러가 기판의 상면과 접촉하지 않고, 2장 이상의 기판이 통과시에만 감지롤러가 기판 상면과 접촉되어, 2매 이상의 기판 감지와함께기판손상을최소화하는것을특징으로 하는이송시스템. [청구항 29] 제 15 항에 있어서,상기 제어부는, 로딩을 위해 상기 흡착부를 통해 적재부에 적재된 기판을 상기 밑면지지부쪽으로 당기는 과정에서 일정 부분 딸려와 적재부에 흐트러져 있는 기판에, 로딩을 위한 회전이동부의 회동과정에서 밑면지지부 내지 배면지지부가 간섭되어 기판이 손상되는 것을 방지하도록, 상기 흡착부를 통해 흡착하여 당겨온 기판을 밑면지지부 내지 배면지지부에 안착시킨 회전이동부를 먼저 일정 간격 후진시켜 적재부의 기판과의 간섭이 생기지 않게 한 다음 로딩을 위해 회동시키는 회전이동부위치제어모듈을추가포함하는것을특징으로 하는이송시스템. [청구항 30] 제 15 항에 있어서,상기 회전이동부는, 로딩을 위해 상기 흡착부를 통해 적재부에 적재된 기판을 상기 밑면지지부쪽으로 당기는 과정에서 일정 부분 딸려와 적재부에 흐트러져 있는 기판을 밀어 다시 정위치시키는기판정렬부를추가포함하는것을특징으로 하는이송시스템. [청구항 31] 제 30 항에 있어서,상기 회전이동부는, 상기 밑면지지부쪽으로 기판이 당겨오면 일단 회전이동부를 상향 이동시킨 다음 거리측정부를 이용하여 2매 이상의 기판이 밑면지지부로 이동되었는지를 판단하여, 2매 이상의 기판이 이동된 경우에 회전이동부를 반대로 빠르게 하향 이동시켜 기판의 밑면이 적재부와 충돌하면서 붙어 있던 기판이 분리되고, 다시 상기 기판정렬부를 이용하여 기판을 타격하면서 가압하거나 또는 블로워를 통해 고압의 공기를 분사하여 붙어 있던기판완전히분리시키는것을특징으로 하는이송시스템. [청구항 32] 제 15 항에 있어서,상기 회전이동부는, 상기 흡착부에 의해 당겨오거나 밀어지는 기판의 저면과 접촉되는 분리용롤러를 추가로 포함하고, 상기 분리용롤러는 상기 흡착부에 의해 적재부에서 기판이 당겨오는 과정에서는 분리용롤러가 회전하지 않으면서 반대로 적재부쪽으로 기판이 밀어지는 과정에서는 분리용롤러가 회전하도록 하는 원웨이베어링과, 분리용롤러가 기판의 무게에 따라 상하로 유동가능케하는탄성수단포함하는것을특징으로 하는이송시스템. [청구항 33] 제 16 항에 있어서,상기 거리측정부는, 레이저센서를 활용하여 기판의 좌우측에 각각 대응되는 양측 2곳에서 거리를 측정함으로써, 2장 이상의 기판이 상기 밑면지지부쪽으로 이동되었는지 여부를 정확히 판단하여 2장 이상의 기판이 로딩되는 것을방지하는것을특징으로 하는이송시스템. [청구항 34] 제 33 항에 있어서,상기 제어부는, 로딩을 위해 상기 흡착부를 통해 기판이 밑면지지부쪽으로 옮겨지면 상기 회전이동부를 일정 정도 상향 회동시킨 다음 다시 하향 회동시켜 상기 거리측정부 레이저센서와 기판이 이루는 각이 최적화되도록 하고, 상기 거리측정부는, 복수 개의 상기 밑면지지부에 각각 가장 근접한 위치에서 기판과의 거리를 측정, 제공하여, 제공된 데이터 비교를 통해 2장 이상의 기판이 상기 밑면지지부쪽으로 이동되었는지여부정확히판단하는것을특징으로 하는이송시스템. [청구항 35] 제 12 항에 있어서,상기 회전이동부는, 상기 밑면지지부의 타단에 기판의 배면을 지지하는 배면지지부를 추가로 포함하거나 또는 상기 밑면지지부에 기판의 저면이 삽입되는 별도의 홈부를추가형성하는것을특징으로 하는이송시스템.