문맥 (context)
[청구항 2]
청구항 1에 있어서,상기 로드락 챔버는 평면 형상이 적어도 세 면 이상을 가지는 다각 형상으로 형성되고, 상기 세 면 이상 중 한 면에 상기 프론트엔드 모듈이 결합되며, 다른 두 면에 제1 및 제2 트랜스퍼 챔버각각 결합된웨이퍼 이송 장치.
[청구항 3]
청구항 2에 있어서,상기 로드락 챔버의 평면 형상은 삼각형상인웨이퍼 이송 장치.
[청구항 4]
청구항 2에 있어서,상기 로드락 챔버의 평면 형상은 사각형상인웨이퍼 이송 장치.
[청구항 5]
청구항 2에 있어서,상기 로드락 챔버와 프론트엔드 모듈 사이에 결합된 도어 밸브더 포함하는웨이퍼 이송 장치.
[청구항 6]
청구항 2에 있어서,상기 로드락 챔버와 제1 및 제2 트랜스퍼 챔버 사이에 결합된 제1 및 제2 슬릿 밸브더 포함하는웨이퍼 이송 장치.
[청구항 9]
청구항 1에 있어서,상기제1 및 제2 슬랏부는 수직방향배치된웨이퍼 이송 장치.
[청구항 10]
청구항 1에 있어서,상기제1 및 제2 슬랏부는 수평방향배치된웨이퍼 이송 장치.
[청구항 11]
청구항 1에 있어서,웨이퍼 로딩을 위한 가열장치 및 웨이퍼 언로딩을 위한 냉각장치 중 어느 하나 이상이 상기 제1 및 제2 슬랏부 중 어느 하나 이상구비된웨이퍼 이송 장치.
[청구항 12]
청구항 11에 있어서,상기 로드락 챔버에는 상기 제1 및 제2 슬랏부의 냉각을 위한 냉각 유로구비된웨이퍼 이송장치.
[청구항 13]
청구항 1에 있어서,상기제1 및 제2 트랜스퍼 챔버에는 각각 상기 다수의 제1 및 제2 프로세스 챔버로 이송되는 웨이퍼를 가열하기 위한 가열기설치된웨이퍼 이송 장치.
[청구항 14]
청구항 13에 있어서,상기 가열기는 할로겐램프인웨이퍼 이송 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
로드락 챔버의 평면 형상이 삼각형인 경우, 해당 로드락 챔버의 각 면에는 어떤 구성 요소들이 결합되는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation로드락 챔버의 평면 형상이 삼각형일 때, 각 면에 결합되는 구성 요소들을 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 2에서 로드락 챔버의 한 면에는 프론트엔드 모듈이, 다른 두 면에는 제1 및 제2 트랜스퍼 챔버가 결합됨을 확인한다.
- 상기 세 면 이상 중 한 면에 상기 프론트엔드 모듈이 결합되며, 다른 두 면에 제1 및 제2 트랜스퍼 챔버각각 결합된
-
3근거 선택
evidence_selection삼각형 형상에 대한 조건(청구항 3)과 구성 요소 결합에 대한 조건(청구항 2)을 선택한다.
- 상기 세 면 이상 중 한 면에 상기 프론트엔드 모듈이 결합되며, 다른 두 면에 제1 및 제2 트랜스퍼 챔버각각 결합된
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4논리 통합
logical_integration삼각형은 세 개의 면을 가지므로, 청구항 2의 '한 면'과 '다른 두 면'의 조건이 삼각형의 세 면에 각각 적용된다.
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5결론 도출
conclusion_formulation한 면에는 프론트엔드 모듈이, 나머지 두 면에는 제1 트랜스퍼 챔버와 제2 트랜스퍼 챔버가 각각 결합된다.
- 상기 세 면 이상 중 한 면에 상기 프론트엔드 모듈이 결합되며, 다른 두 면에 제1 및 제2 트랜스퍼 챔버각각 결합된
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6답변 생성
answer_generation질문에 따라 결합되는 구성 요소들을 리스트 형식으로 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
프론트엔드 모듈, 제1 트랜스퍼 챔버, 제2 트랜스퍼 챔버
핵심 해석 (core_interpretation)
로드락 챔버의 다각 형상에 따라 프론트엔드 모듈과 제1, 제2 트랜스퍼 챔버를 각각의 면에 배치하여 구성하는 기술적 특징을 나타낸다.