압전 액츄에이터 및 이의 구동 방법 document_id 1020150029138

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 압전체는분극 과정에서 인가되는 전압과 반대 극성의 전압이 인가되는 전극 패턴이 형성된 측면을 향해휘어지는것을특징으로 하는,압전 액츄에이터. [청구항 3] 제1항에 있어서,분극 과정에서 인가되는 전압과 동일 극성의 전압이 인가되는 전극 패턴이 형성된 측면은 수평 방향으로 연신되고,분극 과정에서 인가되는 전압과 반대 극성의 전압이 인가되는 전극 패턴이 형성된 측면은수평방향수축되는것을특징으로 하는,압전 액츄에이터. [청구항 4] 제1항에 있어서,상기 제1 측면 및 상기 제2 측면에 형성된 전극 패턴들 각각은상기 압전체의 표면에 배치된 표면 전극부와, 상기 표면 전극부와 연결되고 상기 압전체의 내부로 삽입된 내부 전극부를포함하는것을특징으로 하는,압전 액츄에이터. [청구항 5] 제4항에 있어서,상기 내부 전극부에 의해서상기압전체의압전활성영역확장된것을특징으로 하는,압전 액츄에이터. [청구항 6] 제4항에 있어서,상기 압전체는상기 내부 전극부가 삽입되도록 표면에서부터 내부를 향해 합입된홀들포함하는것을특징으로 하는,압전 액츄에이터. [청구항 7] 제1항에 있어서,상기 압전체는 압전 세라믹 또는 세라믹/폴리머복합체형성된것을특징으로 하는,압전 액츄에이터. [청구항 8] 제1항에 있어서,상기 압전체는제1 방향으로 연장된 복수개의 압전 세라믹 로드들이 상기 제1 방향과 반대인 제2 방향으로 서로 연결된구조의파이버컴포지트구조체인것을특징으로 하는,압전 액츄에이터. [청구항 9] 제7항에 있어서,상기 압전 세라믹 로드들 각각은복수개의 압전 세라믹들이 상기 제1 방향으로 나란히 배열되어 압전 세라믹들 사이에 배치된 연결 패턴에 의해연결된것을특징으로 하는,압전 액츄에이터. [청구항 10] 제9항에 있어서,상기 압전 세라믹들 중어느 하나의 압전 세라믹의 제1 측면에 한 쌍의 전극 패턴들이 배치되고,상기 어느 하나의 압전 세라믹의 제2 측면에 한쌍의전극패턴들배치된것을특징으로 하는,압전 액츄에이터. [청구항 11] 제1항에 있어서,상기 제1 측면 및 상기 제2 측면에 배치된 전극 패턴들 각각은상기 압전체 상에 직접 증착/식각, 레이저 플레이팅, 스크린 프린팅, 잉크젯 프린팅 또는 스퍼터링에 의해형성된것을특징으로 하는,압전 액츄에이터. [청구항 12] 제1항에 있어서,상기 제1 측면 및 상기 제2 측면에 배치된 전극 패턴들에는교류전압인가되는것을특징으로 하는,압전 액츄에이터.