연마 장치 및 연마 방법 document_id 1020150036588

[청구항 1] 연마 대상물의 피연마면과 연마 부재를 상대적으로 미끄럼 이동시켜 상기 피연마면을 연마하는 연마 장치이며, 상기 연마 대상물의 상기 피연마면의 이면을 가압함으로써, 상기 피연마면을 상기 연마 부재에 가압하는 가압부와, 상기 연마 대상물의 연마 중에, 상기 연마 대상물의 상기 피연마면의 잔막 프로파일을 추정하는 막 두께 측정부와, 상기 연마 대상물의 연마 중에, 상기 막 두께 측정부의 측정 결과에 따라, 상기 가압부에 의한 상기 피연마면의 이면에 대한 가압을 제어하는 제어부 를 구비하고, 상기 제어부는, 상기 연마 대상물의 연마 중의 상기 가압부에 의한 가압의 제어와 함께, 상기 피연마면의 상기 연마 부재에 대한 가압에 영향을 주는 상기 가압부의 주변부를 연마 중에 제어하는 것을 특징으로 하는, 연마 장치 [청구항 2] 제1항에 있어서,상기 주변부는, 상기 가압부의 근방에서 상기 연마 부재를 가압하는 리테이너 부재이며,상기 제어부는, 상기 가압부에 의한 상기 피연마면의 이면의 가압 제어와 함께, 상기 리테이너 부재에 의한상기연마부재의가압제어하는것을특징으로 하는,연마 장치. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 가압부는, 상기 연마 대상물의 상기 피연마면의 이면의 에지 영역을 가압하고,상기 리테이너 부재는, 상기 연마 대상물을 둘러싸는부재인것을특징으로 하는,연마 장치. [청구항 4] 제1항에 있어서,상기 연마 대상물의 상기 피연마면의 이면을 부분적으로 가압하는 복수의 상기 가압부를 구비하고,상기 주변부는, 인접하는 다른상기가압부인것을특징으로 하는,연마 장치. [청구항 5] 제1항에 있어서,상기 주변부는, 상기 가압부의 탄성체의 변형에 의한 상기 피연마면의 압력을 제어하는기구인것을특징으로 하는,연마 장치. [청구항 6] 제1항에 있어서,상기 주변부는, 상기 가압부의 탄성체의 변형을 제어하는기구인것을특징으로 하는,연마 장치. [청구항 7] 제2항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제어부는, 상기 피연마면의 막 두께 프로파일이 상기 피연마면의 전체면에 있어서 균일 또는 원하는 형상이 되도록,상기주변부의가압제어하는것을특징으로 하는,연마 장치. [청구항 8] 제2항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제어부는, 상기 피연마면의 막 두께 프로파일이, 상기 가압부에 의해 이면을 직접 가압하는 상기 피연마면의 영역 내에 있어서, 균일 또는 원하는 형상이 되도록,상기주변부의가압제어하는것을특징으로 하는,연마 장치. [청구항 9] 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,상기 주변부의 제어에 대하여 제어 한계값이 설정되어 있으며,상기 제어부는, 상기 제어 한계값의 범위 내에서제어행하는것을특징으로 하는,연마 장치. [청구항 10] 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,상기 가압부는, 원 형상의 압력실 및 그 주위를 둘러싸는복수의원환형상의압력실형성되는것을특징으로 하는연마 장치.