기판 홀더용의 기판 착탈부, 이것을 구비한 습식 기판 처리 장치, 기판 처리 장치 및 기판 반송 방법 document_id 1020150057814

[청구항 1] 복수의 기판 홀더를 수용하고, 각 기판 홀더가 각각 수평 자세로 서로 연직 방향으로 정렬되도록 구성된 스토커와, 상기 스토커 사이에서 상기 기판 홀더의 출납을 행하는 제1 기판 홀더 반송 기구와, 이 제1 기판 홀더 반송 기구를 연직 방향으로 승강시키는 승강 기구와, 상기 제1 기판 홀더 반송 기구와의 사이에서 상기 기판 홀더의 전달을 행하는 제2 기판 홀더 반송 기구와, 이 제2 기판 홀더 반송 기구에 보유 지지된 기판 홀더에 대하여 상기 기판의 착탈을 행하는 기판 착탈 기구를 구비하는, 기판 착탈부 [청구항 2] 제1항에 있어서,상기 복수의 기판 홀더를 수용하는 복수의 기판 홀더 수용부를 갖고, 이 기판 홀더 수용부는 높이가 서로 같은 적어도 3개소의 홀더 수용부구비하고 있는,기판 착탈부. [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 기판 홀더는 직선상의 제1 부분과, 이 제1 부분에 대하여 대략 직각으로 연장되는 동시에 선단부가 훅 형상으로 절곡된 2개의 제2 부분으로 이루어지고, 이 2개의 제2 부분 사이에 상기 기판을 보유 지지하는 것이며, 상기 홀더 수용부는 상기 제1 부분의 양단부 및 상기 제2 부분의 선단부수용하는,기판 착탈부. [청구항 4] 제1항에 있어서,상기 제1 기판 홀더 반송 기구는, 상기 기판 홀더를 상기 제1 부분 및 제2 부분의 내측으로부터 3개소에서 보유 지지함과 함께, 상기 승강 기구에 의해 연직 방향을 따라 이동가능한,기판 착탈부. [청구항 5] 제1항에 있어서,상기 기판 착탈 기구는 베이스 부재와, 이 베이스 부재를 직선 방향으로 이동 가능하게 지지하는 리니어 가이드와, 이 리니어 가이드를 따라 상기 베이스를 이동시키는 액추에이터와, 상기 베이스 상에 배치되어서 기판을 수평 자세로 보유 지지하는 기판 가이드구비하는,기판 착탈부. [청구항 6] 제3항에 있어서,상기 제2 기판 홀더 반송 기구는, 상기 2개의 제2 부분을 외측으로부터 보유 지지하는 클램퍼와, 기판을 상기 제2 부분의 선단부 방향으로 누르기 위한 로터리 액추에이터구비하는,기판 착탈부. [청구항 7] 제1항에 있어서,상기 제2 기판 홀더 반송 기구는, 상기 기판 홀더를 보유 지지하는 척을2세트구비하는것을특징으로 하는,습식 기판 처리 장치. [청구항 8] 제1항에 있어서,상기 승강 기구는 연직 방향으로 연장되는 리니어 가이드와, 상기 제1 기판 홀더 반송 기구에 결합된 볼 나사와, 이 볼 나사에 나사 결합해서 연직 방향으로 연장되는 나사축과, 이 나사축을 타이밍 벨트를 개재해서 회전시키는 전동 모터구비한,기판 착탈부. [청구항 9] 제1항에 있어서,상기 기판 착탈 기구 및 제2 기판 홀더 반송 기구의 하방에, 상기 스토커구비하는,기판 착탈부. [청구항 10] 기판을 보유 지지하는 기판 홀더와, 상기 기판 홀더를 수용해서 처리를 행하는 처리조와, 상기 기판 홀더를 상기 처리조로 반송하는 반송기와, 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 기재된 기판 착탈부를 구비하는, 습식 기판 처리 장치 [청구항 11] 제10항에 있어서,상기 제2 기판 홀더 반송 기구를 연직 방향으로 승강시키는 제2 승강 기구를 더 구비하고,상기 제2 승강 기구는 상기 기판을 보유 지지한 상기 기판 홀더를 상기 반송기에 전달하도록구성된것을특징으로 하는,습식 기판 처리 장치. [청구항 12] 제10항에 있어서,상기 제2 기판 홀더 반송 기구는, 상기 기판 홀더를 보유 지지하는 척을2세트구비하는것을특징으로 하는,습식 기판 처리 장치. [청구항 15] 제14항에 있어서,상기 반송부가 기판면의 법선 방향이 수평 방향을 향하고 또한 반송 방향에 대하여 직각 방향을 향한 상태에서 상기 기판을 반송할 때, 상기 보유 지지부는 상기 처리조의 측방에서상기기판을보유지지하도록구성되는,기판 처리 장치. [청구항 16] 제15항에 있어서,상기 처리조의 측방에 설치된 액 수용부를 갖고,상기 반송부가 기판면의 법선 방향이 수평 방향을 향하고 또한 반송 방향에 대하여 직각 방향을 향한 상태에서 상기 기판을 반송할 때, 상기 보유 지지부는, 상기 액 수용부의 상방에서상기기판을보유지지하도록구성되는,기판 처리 장치. [청구항 17] 제15항에 있어서,기판면의 법선 방향이 수평 방향을 향하고 또한 반송 방향에 대하여 직각 방향을 향한 상태에서 보유 지지된 상기 기판과 상기 처리조 사이를 분위기 분리하기 위한 에어 커튼을 형성하는 제1 기체 분출부갖는,기판 처리 장치. [청구항 18] 제14항 내지 제17항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기판이 상기 처리조의 상방에 위치할 때에, 상기 기판의 양측 면내 방향을 따라서 기체를 분사하기 위한 제2 기체 분출부갖는,기판 처리 장치. [청구항 19] 제14항 내지 제18항 중 어느 한 항에 있어서,상기 반송기는 상기 보유 지지부를 수평 방향이며 또한 상기 반송 방향과 직각인 방향의 축 주위로 선회시키는 제1 구동 기구와, 상기 보유 지지부를 상기 반송 방향의 축 주위로 선회시키는 제2 구동 기구갖는,기판 처리 장치. [청구항 20] 제14항에 있어서,상기 반송기는, 상기 보유 지지부를 연직 방향의 축 주위로 선회시키는 제3 구동 기구갖는,기판 처리 장치. [청구항 23] 제22항에 있어서,상기 처리조의 측방에 설치된 액 수용부를 갖고,상기 반송부가 상기 기판을 반송할 때, 상기 보유 지지부는 상기 액 수용부의 상방에서상기기판을보유지지하도록구성되는,기판 처리 장치. [청구항 24] 제22항에 있어서,상기 반송부가 상기 기판을 반송할 때에 상기 기판과 상기 처리조 사이를 분위기 분리하는 에어 커튼을 형성하는 제1 기체 분출부갖는,기판 처리 장치. [청구항 25] 제22항에 있어서,상기 기판이 상기 처리조의 상방에 위치할 때에, 상기 기판의 양측 면내 방향을 따라서 기체를 분사하는 제2 기체 분출부갖는,기판 처리 장치. [청구항 26] 제22항 내지 제25항 중 어느 한 항에 있어서,상기 보유 지지부는 기판면의 법선 방향이 반송 방향에 대하여 직각 방향을 향한 상태에서 상기 기판을 보유 지지하도록 구성되고,상기 반송부는 기판면의 법선 방향이 반송 방향에 대하여 직각 방향을 향한 상태에서,상기기판반송하도록구성되는,기판 처리 장치. [청구항 27] 제26항에 있어서,상기 보유 지지부는 기판면의 법선 방향이 수평 방향을 향한 상태에서상기기판을보유지지하도록구성되는,기판 처리 장치. [청구항 28] 제26항에 있어서,상기 반송기는 상기 보유 지지부를 수평 방향이며 또한 상기 반송 방향과 직각인 방향의 축 주위로 선회시키는 제1 구동 기구와, 상기 보유 지지부를 상기 반송 방향의 축 주위로 선회시키는 제2 구동 기구갖는,기판 처리 장치. [청구항 29] 제26항에 있어서,상기 반송기는 상기 보유 지지부를 연직 방향의 축 주위로 선회시키는 제3 구동 기구갖는,기판 처리 장치.