문맥 (context)
[청구항 3]
청구항 1 또는 2에 있어서,상기 안착부는,상면에 기판이 안착되는 복수의 안착플레이트와,상부는 상기 복수의 안착플레이트에 각각 연결되며, 하향연장되는 봉부재와,상기 봉부재의 하부에 설치되며, 상기 봉부재 및 상기 안착플레이트를 구동시켜 상기 안착플레이트에 안착된 기판을 상기 지지부의 상면으로 전달하기 위한 전달모터가 포함되는 것을 특징으로 하는 정렬장치구비된기판 접착장치.
[청구항 4]
청구항 3에 있어서,상기 제어부는,상기 카메라에 의해 촬영된 상기 기판과 또 다른 기판이 상기 안착부와 상기 지지부에 안착된 위치가 정상위치가 아닌 경우, 상기 봉부재를 좌우로 회전 또는 상기 안착플레이트를 이동시켜 상기 기판과 또 다른 기판의 위치를 보정하는 것을 특징으로 하는 정렬장치구비된기판 접착장치.
[청구항 5]
청구항 1 또는 2에 있어서,상기 승하강모듈은,상면에 상기 지지부가 형성되는 헤드와,상기 헤드의 하부에 형성되는 샤프트와,상기 샤프트를 승하강시키기 위한 승하강모터가 포함되는 것을 특징으로 하는 정렬장치구비된기판 접착장치.
[청구항 6]
청구항 5에 있어서,상기 헤드와 상기 압착부의 내부에는,상기 기판과 또 다른 기판의 압착시 열을 제공하기 위한 열선이 더 포함되는 것을 특징으로 하는 정렬장치구비된기판 접착장치.
[청구항 7]
청구항 5에 있어서,상기 안착부의 상부에는,상기 헤드와 상기 안착부의 평행을 조절하기 위한 조정부가 더 포함되는 것을 특징으로 하는 정렬장치구비된기판 접착장치.
[청구항 8]
청구항 1에 있어서,상기 감지부재는,상기 카메라의 렌즈와 수평하게 배치되며,내부에는 상기 기판과 또 다른 기판의 테두리를 감지하도록 상기 카메라 렌즈의 촬영각을 굴절하기 위한 프리즘부재가 구비되는 것을 특징으로 하는 정렬장치구비된기판 접착장치.
[청구항 9]
청구항 2에 있어서,상기 감지부재는,상기 연장봉의 단부에 수직하게 횡방향으로 연결되며, 내부의 일측에는 상기 카메라 렌즈의 촬영각을 횡방향으로 반사하기 위한 반사판 구비되고, 내부의 타측에는 상기 반사판을 통해 반사된 상기 카메라 렌즈의 촬영각이 상기 기판과 또 다른 기판의 테두리를 감지하도록 굴절시키는 프리즘부재가 구비되는 것을 특징으로 하는 정렬장치구비된기판 접착장치.
[청구항 10]
청구항 1에 있어서,상기 카메라를 이용하여 외부에서 상기 감지부재를 감지하기 위해 상기 진공챔버의 측벽에 형성되는 관통공과,상기 관통공에 설치되는 감시창이 더 포함되는 것을 특징으로 하는 정렬장치구비된기판 접착장치.
[청구항 11]
청구항 2에 있어서,상기 카메라를 이용하여 외부에서 상기 연장봉을 통해 상기 감지부재를 감지하기 위해 상기 아암의 상부에 형성되는 관통공과,상기 관통공에 설치되는 감시창이 더 포함되는 것을 특징으로 하는 정렬장치구비된기판 접착장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
기판과 또 다른 기판이 안착된 위치가 정상위치가 아닐 때, 제어부가 기판의 위치를 보정하기 위해 수행하는 구체적인 동작은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation기판의 안착 위치가 정상위치가 아닐 때 제어부가 수행하는 구체적인 보정 동작을 추출해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 4에서 기판의 안착 위치가 정상위치가 아닌 경우에 대한 제어부의 동작을 기술하고 있다.
- 상기 제어부는,상기 카메라에 의해 촬영된 상기 기판과 또 다른 기판이 상기 안착부와 상기 지지부에 안착된 위치가 정상위치가 아닌 경우, 상기 봉부재를 좌우로 회전 또는 상기 안착플레이트를 이동시켜 상기 기판과 또 다른 기판의 위치를 보정하는 것을 특징으로 하는 정렬장치구비된기판 접착장치
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3근거 선택
evidence_selection제어부의 구체적인 동작인 '봉부재를 좌우로 회전' 또는 '안착플레이트를 이동'하는 구절을 선택한다.
- 상기 기판과 또 다른 기판이 상기 안착부와 상기 지지부에 안착된 위치가 정상위치가 아닌 경우, 상기 봉부재를 좌우로 회전 또는 상기 안착플레이트를 이동시켜 상기 기판과 또 다른 기판의 위치를 보정
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4논리 통합
logical_integration기판 위치가 비정상일 때 제어부가 봉부재 회전이나 안착플레이트 이동을 통해 위치를 보정한다는 인과관계를 확인한다.
- 상기 기판과 또 다른 기판이 상기 안착부와 상기 지지부에 안착된 위치가 정상위치가 아닌 경우, 상기 봉부재를 좌우로 회전 또는 상기 안착플레이트를 이동시켜 상기 기판과 또 다른 기판의 위치를 보정
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 답변으로 제어부가 수행하는 두 가지 동작을 정리한다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 구절을 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
상기 봉부재를 좌우로 회전 또는 상기 안착플레이트를 이동시켜 상기 기판과 또 다른 기판의 위치를 보정한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
카메라를 통해 기판의 안착 위치가 정상인지 확인하고, 비정상일 경우 봉부재의 회전이나 안착플레이트의 이동을 통해 기판의 위치를 정렬하는 기술이다.