마이크로 히터 및 마이크로 센서 document_id 1020150086766

[청구항 1] 다수의 포어가 상하방향으로 형성된 다공층과 상기 다공층의 상부에 위치하는 베리어층으로 이루어진 기판 상기 베리어층 상에 형성되는 히터전극을 포함하며, 상기 포어의 상부는 상기 베리어층에 의해 막히고, 상기 베리어층은 상기 다공층을 형성할 때 형성되며, 상기 히터전극을 지지하는 부분을 제외한 영역에서, 상기 기판의 상면에서 하면까지 모두 제거되어 형성되는 에어갭이 구비된 것을 특징으로 하는 마이크로 히터 [청구항 2] 제 1항에 있어서,상기 히터전극은 리퀴드 포토레지스트를 이용하여형성되는것을특징으로 하는마이크로 히터. [청구항 3] 제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 기판은 알루미늄을 양극산화처리 한 후 알루미늄만을 제거하여형성되는것을특징으로 하는마이크로 히터. [청구항 4] 제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 베리어층의 일부가 제거되어 상기 다공층의 포어가 상하방향으로 관통되는 것을포함하는것을특징으로 하는마이크로 히터. [청구항 5] 제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 히터전극은 백금이며, 상기 기판과 상기 히터전극 사이에는탄탈룸산화물층배치되는것을특징으로 하는마이크로 히터. [청구항 7] 제1항에 있어서,상기 에어갭은 불연속으로다수개형성되는것을특징으로 하는마이크로 히터. [청구항 8] 다수의 포어가 상하방향으로 형성된 다공층과 상기 다공층의 상부에 위치하는 베리어층으로 이루어진 기판 상기 기판 상에 형성되는 센서전극 상기 기판 상에 형성되는 히터전극을 포함하며, 상기 센서전극과 상기 히터전극 중 적어도 하나는 상기 베리어층 상에 형성되며, 상기 포어의 상부는 상기 베리어층에 의해 막히고, 상기 베리어층은 상기 다공층을 형성할 때 형성되며, 상기 히터전극 및 상시 센서 전극을 지지하는 부분을 제외한 영역에서, 상기 기판의 상면에서 하면까지 모두 제거되어 형성되는 에어갭이 구비된 것을 특징으로 하는 마이크로 센서 [청구항 9] 제 8항에 있어서,상기 베리어층 상에 형성되는 상기 센서전극 또는 상기 히터전극은 리퀴드 포토레지스트를 이용하여형성되는것을특징으로 하는마이크로 센서. [청구항 10] 제 8항 또는 제 9항에 있어서,상기 기판은 알루미늄을 양극산화처리 한 후 알루미늄만을 제거하여형성되는것을특징으로 하는마이크로 센서. [청구항 11] 제 8항 또는 제 9항에 있어서,상기 베리어층의 일부가 제거되어 상기 다공층의 포어가 상하방향으로 관통되는 것을포함하는것을특징으로 하는마이크로 센서. [청구항 12] 제 8항 또는 제 9항에 있어서,상기 히터전극과 상기 센서전극 중 적어도 하나는 백금이며, 상기 기판과 백금으로 형성되는 전극 사이에는탄탈룸산화물층배치되는것을특징으로 하는마이크로 센서. [청구항 14] 제8항에 있어서,상기 에어갭은 불연속으로다수개형성되는것을특징으로 하는마이크로 센서. [청구항 15] 다수개의 포어가 형성된 다공층 기판 상기 기판 상에 형성되는 히터전극을 포함하며, 상기 히터전극 하부에 배치되는 상기 포어의 상부는 베리어층에 의해 막히고, 상기 베리어층은 상기 포어를 형성할 때 형성되며, 상기 히터전극을 지지하는 부분을 제외한 영역에서, 상기 기판의 상면에서 하면까지 모두 제거되어 형성되는 에어갭이 구비된 것을 특징으로 하는 마이크로 히터 [청구항 17] 제 15항에 있어서,상기 히터전극 하부에 배치되는상기포어의하부개방되는것을특징으로 하는마이크로 히터. [청구항 18] 알루미늄을 양극산화처리 한 후 알루미늄만을 제거하여, 다수의 포어가 상하방향으로 형성된 다공층과 상기 다공층의 상부에 위치하는 베리어층으로 이루어진 다공층 기판 상기 다공층 기판의 베리어층 상에 형성되며, 센서배선과 상기 센서배선에 연결되는 센서전극패드를 포함하는 센서전극 상기 다공층 기판의 베리어층 상에 형성되며, 상기 센서전극패드보다 상기 센서배선에 근접하게 배치되는 히터배선과 상기 히터배선에 연결되는 히터전극패드를 포함하는 히터전극 및, 상기 센서전극 및 히터전극을 지지하는 부분을 제외한 영역에서, 상기 다공층 기판의 상면에서 하면까지 모두 제거되어 형성되는 에어갭을 포함하며, 상기 포어의 상부는 상기 베리어층에 의해 막히는 것을 특징으로 하는 마이크로 센서 [청구항 19] 알루미늄을 양극산화처리 한 후 알루미늄만을 제거하여, 다수의 포어가 상하방향으로 형성된 다공층과 상기 다공층의 상부에 위치하는 베리어층으로 이루어진 다공층 기판 상기 다공층 기판의 베리어층 상에 형성되며, 제1센서배선과 상기 제1센서배선에 연결되는 제1센서전극패드를 포함하는 제1센서전극 상기 제1센서전극과 이격되어 상기 다공층 기판의 베리어층 상에 형성되며, 제2센서배선과 상기 제2센서배선에 연결되는 제2센서전극패드를 포함하는 제2센서전극 상기 다공층 기판의 베리어층 상에 형성되며, 상기 제1, 2센서전극의 적어도 일부를 그 외측에서 감싸면서 형성되는 히터배선과, 상기 히터배선의 양단에 각각 연결되는 연결되는 제1, 2히터전극패드를 포함하는 히터전극 상기 제1센서전극, 상기 제2센서전극 및 상기 히터전극 사이 영역에서 상기 다공층 기판의 상면에서 하면까지 모두 제거되어 불연속적으로 다수개 형성되는 에어갭을 포함하며, 상기 포어의 상부는 상기 베리어층에 의해 막히는 것을 특징으로 하는 마이크로 센서 [청구항 20] 일단이 뚫리고 타단이 막혀있는 포어가 다수 개 형성되어 있는 다공층으로 이루어진 다공층 기판 상기 다공층 기판에서 상기 포어가 막힌 쪽에 형성되며, 센서배선과 상기 센서배선에 연결되는 센서전극패드를 포함하는 센서전극 상기 다공층 기판에서 상기 포어가 막힌 쪽에 형성되며, 상기 센서전극패드보다 상기 센서배선에 근접하게 배치되는 히터배선과 상기 히터배선에 연결되는 히터전극패드를 포함하는 히터전극 및, 상기 센서전극 및 히터전극을 지지하는 부분을 제외한 영역에서, 상기 다공층 기판의 상면에서 하면까지 모두 제거되어 형성되는 에어갭을 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 센서